OPTORUN镀膜机离子源的维护保养说明

1、OPTORUN离子源的维护 保养说明1 .离子源的维护和Grid的分解和组装方法长时间运转彳爰，石英杯内会被镀上一层的导电性膜，因此会引起输出功率下降，此时请进行打砂处理或使用洗净液（请使用不影响SiO2的洗净液）等除去膜层。石英杯的清扫周期通常是50100、时。（根据使用状况更改维护的周期）。 注意：请注意石英杯很容易损坏。在对石英杯进行打砂时，请使用粒度# 1000Al粒子，并保持0.10.2MPa的低压力，离石英杯30cm上进行打砂作业。1. 1绝缘子的清洁长时间使用后，GridAss资B分的绝缘子会被镀上一层的导电性膜，此会 引起Grid的短路，不能正常发挥作用。并会出现 ACC电流值

2、过大或Beamfe流 上不去的现象，此时需清洁或交换绝缘子。由于绝缘子的清洁难度很大，建 议您交换新品。注意：确认各Grid问，2000VdC寸须20MQ以上。维护和交换时期各Grid问绝缘子的状态呈恶化趋势时，用打砂纸清洁其外表部。Grid维护周期为每50100、时确认其外观 翩缘，如有异常请及时清扫或交换。如厚度有磨损，其磨损厚度为-0.02mmW,请交换新品。（例如：t=1.0mm勺绝缘子当变为t=0.98mm寸，请交换新品。） 注意：请注意绝缘子很容易碎裂。1. 2Grid的清洁长时间使用后，各Grid的被镀上一层的导电性膜，特别是 DecelGrid1层很容 易被剥离，请在不对着Gr

3、id的情况下用吸尘器除去的剥落的膜。ACCGrid和 SCRGrid青用测试仪点检，表面被绝缘时请及时清洗。注意：Grid的分解和组装方法请参考添附资料。1）浓度25%的洗净液（BR-55）里浸泡510、时。（作为代替品25%白NaOHK溶液也可使用，但是洗净效果略差。）或者使用超声波洗净机，能得到同样的洗净效果。注意：BR-55ffiNaOH为危险物品，使用时请小心。用超声波洗净机时请注意Grid由于振动所引起的破损。2）边用热水清洗边用清洁布擦洗Grid表面，约洗1网钟以上，NaOHffl赃物等将 被洗净。3）用干燥机干燥。4）利用Grid固定夹具（参考照片1,2）,并使用#3001 勺砂

4、纸摩擦Grid表面直到表 面的赃物和变色消失为止。注意：不要使Grid变形。照片1Grid固定夹具（凸侧）照片2Grid固定夹具（凹侧）5）再用热水清洗并用清洁布擦洗Grid表面，约洗2网钟以上，洗净附着的NaOH 和赃物等。6）用AirGun吹散Grid上的水分。注意：使用AirGun时注意使用不含油的清洁空气。压力在 0.050.1Mp之问 以防Grid变形。7）用干燥机干燥后，维护清洗结束。注意：作业中须谨慎，以防止Grid的变形和破损。本清洗仅对酸化膜（SiO2、Ta2O5）t效，因使用状态不同，也会出现 洗不净的场合。2 中和器的维护方法（ 1）放电室（陶瓷放电室、陶瓷盘）的清扫长时

5、间运转后， 放电室内会被镀上导电性膜， 因此会引起放射电流下降需较高RF俞出，此时用打砂的方式去除膜层。但要注意不要损伤陶瓷放电室和陶瓷盘的接触面，以免漏气。打砂时请注意用胶带等进行保护。注意：有关分解，组装请参考添附资料。请注意不要破坏放电室上绕着的线圈的形状， 转动放电室然后再取下。（2） RFNfc集器（Collector）的清扫长时间运转后， collector 表面被氧化或形成其它绝缘膜，因此会引起发射电流下降, 并且启动困难，此时用打砂的方式去除膜层。注意：不要使收集器（Collector） 变形。组装时要尽量减少陶瓷放电室和collector 之间的缝隙。（3） Keeper和中

6、和器主体的清扫长时间运转后，keeper表面形成绝缘膜，因此会使动作不安定。请使用 测试仪确认附资料1离子源Grid的分解和组装方法派请参照添附图纸进行作业。分解 1 拆下 GridMountAssy.GridMount Assy.作业内容迂后点从离子源主体上拆下 GridMountAssy.分解2拆下 QuartzChamberQuartzChamberMountRing作业内容一、/1迂后点先拆下六角螺钉，然后拆卜石英杯QuartzChambe和MountRing。请注意石英杯很容易碎裂。分解3拆下 GridAssy.1作业内容注意点拆下六角螺钉和六角螺母后再将GridMountPlat所

7、下。分解4拆下 GridAssy.2GridRetainerPlate六角螺钉（M4XL6）作业内容汪思点拆下六角螺钉彳麦，再拆下GridAssy.和GridRetainerPlate.分解5| Grid的分解六角螺母（M4）六龟螺母（M3）和六角螺钉（拧松GridAssy.的六角螺母后，分解 Grid。拆下ACCGrid的 ACCConnector。汪思点请注意Grid很容易变形。分解6Grid的说明GRID Nb校正孔 校正孔 GridNo.SOOO :ScreenGridAOOO :AccGrid DOOO :DecelGrid （。为制造番号）To只有1个地方方向不同1个所向W力违口来

8、、，、.、 , t_- 汪思点Grid如上所示注有标记。组装时请注意。作业内容组装1Grid的组装1六角螺ITJJM4- *L20)Insul ator2作业内容迂后点将Grid组装夹具水平放置，装上六角螺钉和Insulator2。组装2Grid的组装2DecelConnector作业内容一、/1迂后点DecelConnecto如图放置。对准Grid组装夹具和DecelConnector）孑L。组装3Grid的组装3对准孔的方向不同DecelGrid_1 .作业内容一、/1迂后点DecelGrid的凸面向卜，对准孔的位置。（髡散GRID的场合）4又束Grid的凸向向上放置。组装4Grid的组装

9、4ShieldInsulatorGridInsulato门(t=1.0)作业内容迂后点ShieldInsulato和 GridInsulato门如图放置。请注思GridInsulator的厚度有 两种（t=1.0、1.2）。组装5Grid的组装5六角螺钉（M3XL5）和六角螺母（M3）AccConnectorAccGrid（根据组装夹具的孔决定方向）作业内容一、/1迂后点将AccGrid如图安装，注意对准孔的位置。（根据组装夹具的孔决定 AccConnector的方向，然后冉女装。组装夹具的孔和AccConnector 孔要对准。组装6Grid的组装6ShieldInsulatorGridIn

10、sulator2(t=1.2)作业内容一、/1迂后点将Shieldinsulator和 GridInsulator2如图放置。注意 GridInsulato由勺厚度有 2种(t=1.0,1.2)组装7 Grid的组装7六角螺母（M4）平型垫圈（4）和波形垫圈（4）Insulatorl作业内容注意点Insulatorl,平型垫圈（4）和波形垫圈（4）如图放置、暂时用六角螺母固定。组装9 Grid的组装9对准钉将对准钉插入Grid的对准孔。若对准钉不能向下插入，说明对准钉穿过后，旋转对准钉,Grid安装错误，请再度确认。确认各对准钉并不是强行才能旋转。组装10 Grid的组装10_8J作业内容注意

11、点如图所示拧上六角螺母，完成之后拔去对准钉拆下组装夹 具。确认各Grid之间的ShieldInsulato评口 GridInsulator没有重叠。组装 11GridRetainerPlate勺安装GRID ASSY六角螺钉（M4XL6） ScreenConnector平型垫圈（4GridRetainerPlate作业内容注意点如图所示将 ScreenConnector口 GridAssy.,GridRetainerPlateH八口。组装 12 GridMountPlate 的安装AccTouchFlakeelConnectorGridMount Plateonny.装在 GridMountP

12、lateuchF圈（1QuartzChamberMount Ring作业内容|组装 QuartzChambe 和 MountRing。组装14导通施缘测试DecelGrid 力ccGrid:绝缘ouchFlake AccGrid进行导Sc，e1nGd DecelGrid:绝缘DecelGrid GridMountPlate:绝缘ScreenGridG，ridRe，nerplate绝缘Grid 6creenGrid绝缘汪思点上记测试，如有异常时，请再 次确认。添附资料2中和器分解湿装方法派请参照添附图纸进行分解 ？组装作业。分解1Keeper的分解KeeperNut（2pcs）Keeper作业内

13、容迂后点拆下 KeeperNu怵口 Keeper。分解2拆下Shroud六角螺钉（M3XL5）、平型垫圈各4个作业内容迂后点先拆下六角螺钉（M3L5）,然后再分解 MountFlang/口InsulatorPlata分解3InsulatorPlate的分解和清洗六角螺钉（M3XL84个）作业内容迂后点先拆下六角螺钉，然后再分解MountFlang/口 InsulatorPlata如皿$山21。尸匕1附有赃物，请用打砂纸去除。InsulatorPlate很容易碎裂。分解4Collector的分解和清洁螺母（M4） Collector作业内容一、/1迂后点拆下六角螺母彳麦，分解Collector。

14、如Collector附有赃物，请用打砂纸去除。Collector很容易变形。分解5DischargeChambe分解和清洗DischargeChamber作业内容一、/1迂后点如DischargeChamber有赃物，请用打砂纸去除。DischargeChambeTI 容易碎*。组装1确认内部端子KeeperRFGNDRFCollector作业内容一、/1迂后点确认内部的端子部（Keeper,RFGND,RF,CollectoO ,各螺钉， 各螺母是否有松弛。组装 2 Collector,DischargeChambe的安装CollectorDischargeChamberCo螺母（M4）作业

15、内容一、/1迂后点用螺母（M4）固定 Collector,DischargeChamberCoil容易变形。组装3InsulatorPlate勺组装Mount FlangeInsulatorPlate注意平整度作业内容一、/1迂后点用六角螺钉（M 3 XL 8 ）组装 MountFlangeF口 InsulatorPlateInsulatorPlate谷易碎裂，注思 *InsulatorPlate无前后之分，可任意选择安装方向。不要用力过度或拧得太紧。组装4Shroud的安装ShroudA角螺钉（M3XL5）、平型垫圈各4个作业内容迂后点安装Shroud组装5KeeperPlate勺安装Kee

16、perNutKeeper作业内容一、/1迂后点安装 KeeperPlata组装6导通和绝缘测试KeeperLeadRFLeadRFLead _KeeperLead绝缘 KeeperLead -CollectorLead:绝缘Keeper冲和器主体：绝ZCollectorLead _RFLead:绝缘SjKeeperLead-KeeperPlate 导通RfLead邛和器主体：导通CollectorLead_a邺容组装完成后，使用测试仪做导通和绝缘测试。一、/1迂后点测试中如有异常，请再度确 认。添附资料3故障处理No.项目原因处理方法1即使Source安钮，也不能启动。被设定成Interloc

17、k。确认真空度的InterlockCable勺连接情况。2Sourc（钮Orti后，RFNPowe不能切换成0W。RF电源 AX-300 W 的表示呈 Analog Manual,（若 显示RS23应属正常）。重新打开控制器的电源。3Sources钮On之后，RFNPowe不能从0W上升到1100WA （即持续为0W）RF电源AX-300 W的Alarm点灯。安Resets钮彳爰解除Alarm。4中和器不能启动。中和器的罩子没有拆下。柝下中和器的罩子。GasLin破有被打开。可开 GasLine气体流量低（不满5SCCMI）。提高气体流量（大约78SCCM）。反射大。调整射频电源（Matchi

18、ngBox）确认RFCoi是否短路。Keepe被弄脏。清洗KeeperCollecto被弄脏。清洗 Collector。Lead线的导通？绝缘不良。用测试仪确认导通哪稣电源的保险丝被切断。更换保险丝。5控制器上有中和器正启动着，实际上其并没有放 电。Collecto短路。用测试仪确认彳爰，分解修理。6RFPowe的反射大，无法匹配。离子源罩子没有取下。取下离子源罩子。射频电源（MatchingBox）!勺电源OFF。可开射频电源（MatchingBox）!勺电源。RFCoi和GND之间短路。用测试仪确认彳爰，修理。RFFeedthroughGND 之间短路。用测试仪确认彳爰，修理。No.项目原因处理方法7离子源不能启动。GasLin段有打开。打开 GasLineGa端量低（O2: 40SCC怫满）（Ar: 20SCCM增大Ga疏量（O2: 5060SCC-右）（Ar: 2530SCCM&右）Puls毅定电压过低（500Vl