第七讲真空检漏

1、第七讲：真空检漏简介: 1概漏的基本概念真空检漏就是检测真的过程。的漏气部位及其大小漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等原因引起真中气体升高的现象。一、概述1概漏的基本概念真空检漏就是检测真的漏气部位及其大小的过程。漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等象。引起真中气体升高的现

2、通过漏孔(或间隙)的漏气和材质的渗气密性是表征真气。器壁防止气体渗透的性能，它最小可检漏率是指某种检漏能够检测出的漏率的最小值。最佳灵敏度是指检漏仪器或检漏讲，最佳灵敏度又称作仪器灵敏度。在最佳条件下所能检测出的最小漏率。对于检漏仪器来检漏灵敏度是指在具体条件下，某种检漏效灵敏度。所能检测出的最小漏率。检漏灵敏度又称作有反应时间，即从检漏消除时间，即从检漏间。开始实施(如开始喷吹示漏气体)到指示(如仪表)做出反应的时间。停止(如停止喷吹且开始抽出示漏气体)到指示的指示消失的时漏率，即时间内流过漏孔( 2漏孔、漏率及其真空技术中所指的漏孔，由于间隙)的气体量。微小、形状复杂、形式多样(如图 1

3、所示)，无法用几何表示其大小。所以一般用等效流导或漏气速率(简称为漏率)表示漏孔的大小。用漏率表示漏孔大小时，如果不加特殊说明，则是指在漏孔为 1.01×105Pa，出口压力低于 1.33×103Pa，温度为 296 士 3K 的标准条件下的空气的气体量。温度低于 248K时间内流过漏孔的×立方米秒，记为 Pam3s。为了方便，有时用漏率的PaLs。是×升秒，记为3最大容许漏率漏气是绝对的，不漏气是相对的在真空检漏技术中所指的“漏”是和最大容许漏率的概在一起的。真念对于动态真，只要其平衡能够达到所要求的真空度，这时即使着漏孔，也可以认为该系统的漏率是容许

4、的，该情况下系统的漏率称为最大容许漏率。动态真许漏率qLmax 应满足的最大容qLmax1/10PwS(1)式中 Pw系统工作S系统的有效抽速对于静态真，要求在一定时间内，其维持在容许的以下，这时即使着漏孔，同样叮以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率称为最大容许漏率。如果要求在时间 t 内,容积为 V 的系统的由 p 升至 pt，则其最大容许漏率 qLmax 应满足qLmax(pt-p)V/t(2)各种真空的最大容许漏率可参考表 1 确定。4漏孔的气流特性气体流经漏孔的过程是很复杂的，可能包含有粘滞流、过渡流及流三种状态。主导状态与漏孔的几何、气体的种类、漏孔两端的及环境温度有关。设

5、环境温度T=296K，p2=1.01×105Pa，出口p1p2，漏孔长 L，直径 d 的均匀圆截面导管型漏孔，其对空气的漏率及可视状态见表 2。5检漏检漏的分类很多，根据被检件所处的状态可分为充压检漏法、真空检漏法及其它检漏法。充压检漏法：在被检件入一定的示漏物质，如果被检件上有漏孔，示漏物质便从漏孔漏出，用一定的或仪器在被检件外部检测出从漏孔漏出的示漏物质，从而判定漏孔的存在、位置及漏率的大小，此即充压检漏法。真空检漏法：被检件和检漏器的敏感元件处于真空状态，在被检件的外部施加示漏物质，如果有漏孔，示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元件的空间，由敏感元件检测出示漏物质，从而可以判

6、定漏孔的、位置利漏率的大小，这就是真空检漏法。其它检漏法：被检件既不充压也不抽真空，或其外部受压等归入其它检漏法。背压法就是其中主要之一。所谓“背压检漏法”是利用背压室先将示漏气体由漏孔充入被检件，然后在真空状态下使示漏气体再从被检件中漏出以某种(或检漏仪)检测漏出的示漏气体，判定被检件的总漏率的。二、检漏仪器用于检漏的仪器有氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器、气敏半导体检漏仪及用于质谱分析的各种质谱计。这里主要结构及国产检漏仪器的技术性能。1氦质谱检漏仪氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器的工作原理、氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能点。是真空检漏技术中

7、灵敏度最高，用得最普遍的检漏仪器。、灵敏度高的特的质谱分析计。单级磁偏仪器灵敏度为 lO-910-12Pam3s，广氦质谱检漏仪是磁偏泛地用于各种真及零部件的检漏。串联磁偏仪器与单级磁偏仪器相比较，本底噪声显著减小其灵敏度可达 10-1410-15Pam3s，适用于超高真、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点适用于大漏率、真空卫生较差的的检漏，其灵敏度可达 10-12Pam3s。(1)工作原理与结构氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成

8、。真单级磁偏氦质谱检漏仪现以 HZJl 型仪器为例氦质谱检漏仪，其结构如图 2 所示。极组成离子源；由外加均匀磁场、挡板及出口缝单级磁偏在质谱室内有：由灯丝、离化室、离子隙组成分析器；由抑制栅、收集极及高阻组成收集器；第一级放大静电计管和极电离规。质谱室的工作原理如图 3 所示。在离化室 N 内，气体电离成正离子，在电场作用下离子聚焦。并在电压作用下以一极 S1 的缝隙进入分析器。在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子将按圆定的速度经过形轨迹运动，其偏转半径可按式（5）计算。可见，当 B 和U 为定值时，不同比 me-1 的离子束的偏转半径R 不同。仪器的B 和R 是电压U 使氦离子束图中(m

9、e-1)2恰好通过出口缝隙 S2，到达收集器 D，形成离固定的，调节子流并由放大器放大。使其由输出表和音响指示反映出来；而不同于氦比的离子束(me-1)1(me-1)3因其偏转半径与仪器的R 值不同无法通过出口缝隙 S2，所以被分离出来。(me-1)2=4，即 He+的比，除He+之外，C 卅很少，可忽略。氦质谱检漏仪串联磁偏图 4 示出了900 缩转串联式磁偏氦质谱检漏仪的质谱室。由于两次分析，减少了非氦离子到达收集器的机率。并且，如在两个分析器的中间，即图中的中间缝隙 S2 与邻近的挡板间设置电场，使离子在进入第二个分析器前再次被。那些与氦离子动量相同的非氦离子，虽然可以通过第一个分析器，

10、但是，经第二次进入第二个分析器后，由于其动量与氦离子的不同而被分离出来。由于二次分离，仪器本底及本底噪声显著地减小，提高了仪器灵敏度。逆流氦质谱检漏仪逆流氦质谱检漏仪的结构特点如图 5 所示。该类仪器是根据油扩散泵或泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。例如，多级油扩散泵对氦气的压缩比为 102；对空气中其它成分的压缩比为 lO4106。检漏时，通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的氦气，仍有部分返流到质谱室中去，并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流氦顷质谱检漏仪的工作原理。(2)性能试验灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、极限真空度及仪器漏仪的主要性能指标。灵敏度及其校准处抽速是评价

11、氦质谱检氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的最小可检漏率。记为 qL.min，即在仪器处于最佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的最小漏孔漏率。所谓“最佳工作条件”是指仪器参数调整到最佳值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏” 是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于 3s。所谓“最小可检”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声，一般指在 2min 内输出仪表的最大波动量。漏率灵敏度如图 6 所示。图中虚线框内部分为配气系统即为标

12、准漏孔 5 进气端提供为 pHe 的纯氦气。辅助泵 6 的任务是预抽。用干燥瓶 4 和针阀 2 调节仪器工作。如果仪器本底为 I0，本底噪声为 In，标准漏孔对空气的标称漏率为 qL o，当其进气器讯号为 I，则仪器灵敏度为式（6）。为 pHe 时的仪如果检漏时用辅助系统抽气(即对示漏氦气有分流)。或用累积法检漏时，给出仪器最小可检氦浓度(即浓度灵敏度)。记为 min，能较方便地估计检漏效果。浓度灵敏度校准系统中应用一流量计测出图 6 的通过针阀 2 进入仪器的空气流率 qL.o，则仪器浓度灵敏度成为式（7）。反应时间、清除时间及其测定反应时间是指仪器节流阀完全开启，本底讯号为零(或补偿到零)

13、时，由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到最大值的(1-e-1)倍(即 O.63)所需要的时间，记为 R。清除时间是指输出仪表讯号到最大值后，停止送氦，其讯号下降到最大值的e-1 倍(即O.37)所需要的时间，记为C。反应时间和清除时间的测定装置如图 7 所示。工作真空、极限真空及处抽速质谱室极限真空，尤其是工作真空及处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器2卤素检漏仪处抽速。用含有卤素(氟、氯、溴、碘)的气体为示漏气体的检漏仪器称为卤素检漏仪。该类仪器分两类：其一为传感器(即探头)与被检件相连接的称为固定式(也称内探头式)卤素检漏仪；

14、其二为传感器(即吸枪)在被检件外部搜索的称为便携式(也称外探头式)卤素检漏仪。示漏气体有氟里昂、氯仿、碘仿、四氯化碳等，其中氯里昂 12 最好。卤素检漏仪灵敏度可达 3.2×lO-9Pam3s。(1)工作原理与结构在 800900oC 温度下会发生正离子发射，当遇到卤素气体时，这种发射会急剧增加。这就是所谓的“卤素效应”，利用此效应制成的卤素检漏仪的结构示意图如图 8 所示。传感器是个二极管，加热丝、阴极(外筒)、阳极(内筒)均用制成。阳极被加热丝加热后发射正离子，被阴极接收的离子流由检流计(或放大器)指示出来，且有音响指示。电气部分由加热电源、直流电源、离子流放大器、输出显示及便携

15、式的吸气装置电源等组成。(2)性能测试灵敏度、反应时间及恢复时间是卤素检漏仪的主要性能参数。其测试与氦质谱检漏仪的相同，这里不再赘述。但是，卤素检漏仪的指示与卤素气体的浓度有关：一般，低浓度的指示是线性的，中等浓度的是非线性的，而当浓度很高时仪器出现饱和或现象。所以在进行性能测试或检漏时，进入传感器的卤素气体的浓度不宜高于百万分之一。固定式卤素检漏仪传感器应和 lO-110oPa敏度的下降。便携式卤素检漏仪的传感器基本上是在大气压下工作的，靠吸气装置吸入气体，使卤素气体流经传感器。3高频火花检漏器高频火花检漏器是个高频高压对地放电器件，可以用于真空检漏。(1)工作原理与结构图 9 示出一种电容

16、，电感串联谐振式高频火花检漏器的原理图。接通 K，当接触器 CD 闭合时， 电流流经 L1、CD，电流很大，L1 产生足够大的电磁力吸引 CD 断开，于是形成 L1、C、L2 的回路。由于阻抗增加，电流减小导致电磁力下降。从而使 CD 重新闭合。如此反复，在 L2 上施加高频脉冲电压，因此高压线圈 L3 便感应出高频高压脉冲电压。而 L3 的一端对地放电产生高频火花击穿现象。这就是高频火花检漏器的工作原理。范围内工作过高或过低都会导致仪器灵(2)真的检漏将高频火花检漏器的放电簧 F 沿着已抽空的系统外表面慢慢移动，没有漏孔时放电火花杂乱分散状态，当遇到漏孔时火花束集中成一条细束，且指向系统上亮

17、点(漏孔内空气电离的结果)，该亮点就是漏孔的位置。的检漏率远远大于(3)金属真各种气体和蒸汽的辉光放电颜色如表 3。选用表中示漏物质施加在金属真的可疑处，用高频火花检漏器激发系统上质规盲管内的气体，使之放电，观察放电颜色的变化便可实的工作为 5×10-1102Pa，检漏灵敏度为 10-3Pam3s。表 3 各种气体和蒸汽的辉光放电颜色现检漏。这种气体放电颜色蒸气放电颜色空气玫瑰红水银蓝绿氮气金红水天蓝氧气淡黄真空油脂淡蓝（有荧光）氢气浅红淡蓝乙醚淡蓝灰氦气紫红蓝氖气鲜红苯蓝三、检漏技术1.各种检漏的概况真空检漏就是用适当的，迅速漏气、确定漏率是否在容许的范围之内，找出漏孔的位置、测定

18、漏率大小，以便进行修补。充压检漏法、真空检漏法和其它检漏法的条件、现象、所用5、和表 6。及其灵敏度分别示4、表图 4充压检漏法表 5 真空检漏法检漏工作条件现 象最小可检漏率(Pam3s)备 注水压法漏水人眼10-3100-4压降法充 3×105Pa 空气下降计1×10-3听音法同上咝咝声人耳5×lO-3可用听诊嚣超声法同上超声波超声波检测器1×10-3气泡法同上水中气泡人眼10-510-6同上水中气泡人眼10-924h 积累同上肥皂液发生皂泡人眼1×10-5氮气检漏法充 3×105Pa 氨气溴代麝香草酚兰试带变色人眼10-7观测

19、20s同上溴酚兰试纸变色人眼10-1124h 积累充2.5×105Pa 氨气复合涂料显色人眼10-81.5 小时积累卤素检漏仪吸嘴法充卤素气体检漏仪读数变化伴有音响卤素检漏仪10-610-10可与空气混合充入放射性同位素气体法充放射性气体计数器信号变化闪烁计数器1×10-7氦质谱检漏仪吸嘴法充氦气检漏仪读数变化伴有音响氦质谱检涌仪10-810-10气敏半导体检漏仪法充气敏气体检漏仪读数变化气敏半导体检漏仪氩气深红甲醇蓝表 6 其它检漏法检漏工作条件现 象灵敏度Pam3s备 注荧光法荧光材料，荧光材料发光紫外线光源10-910-11放射性同位素背压法放射性气体，背压抽真空计数

20、器输出信号背压室，闪烁计数器10-12背压数小时电子管慢性漏气的测定法背压室充氩气，电子管可为电离规仪表读数变化背压室，测量电路10-910-11背压数小时检漏工作Pa现 象最小可检漏率Pam3s静态升压法抽真空后封闭上升真空计10-510-6放电管法放电颜色改变放电管10-310-4高频火花检漏器法10310-1亮点，放电颜色改变高频火花检漏器10-310-4真空计法热传导真空计法10310-1施用示漏物质真空计读数变化热偶或电阻真空计10-6电离真空计法10-210-6电离真空计10-9差动热传导真空计法10310-1热传导真空计差动组合10-7差动电离真空计法10-210-6电离真空计差

21、动组合10-10有吸附阱的热传导真空计法10310-3液氮冷却活性炭阱，热传导计10-7有吸附阱的电离真空计法10-210-6液氮冷却硅胶阱，极电离计10-1110-13氢钯法7×10110-5氢气通过钯管进入真空规，读数变化钯管，电离计10-710-11离子泵检漏法10-510-7示漏物质使离子流变化离子泵10-910-12卤素检漏仪内探头法1010-1输出仪表读数变化卤素检漏仪10-710-9氯质谱检漏仪法10-2输出仪表读数及声响频率变化氦质谱检漏仪10-1210-14质谱计法射频质谱计法10-210-4施用示漏物质输出仪表读数变化射频质谱计10-610-11回旋质谱计法10-

22、310-7回旋质谱计10-710-12四极滤10-110-4四极滤10-1010-11一些的灵敏度和检测漏率公式及注意事项列表 7。各种示漏气体的值示8。真空计检漏法中示漏气体的灵敏度置换系数 和最小可读Pa 分别列9 和表 10。的 R= -0.5，氦气和氢气的 R= 0.5。在用离子泵法检漏时，氧气和V-试件容积 dp -增量 dt -时间n -气泡形成速率 个mind -气泡直径、a -示漏气体和空气的粘滞系数 M，Ma-示漏气体和空气的质量 p、pa-示漏气体和大气G-常数S、Sa-系统对示漏气体和空气的抽速 qL、 qL，a-漏孔对示漏气体和空气的漏率 C v -气体的热容 T -环

23、境温度 T1-T2 -规管温差 K、K a -规管对示漏气体和空气的灵敏度常数 Ie-发射电流 N -热传导真空计的读数变化 I -电离真空计的读数变化pa -真空计最小可qL,min -灵敏度 pAr -背压Ar 气Ma -氢气KAr -电子管读空气的变化量质量对氢气的电离规灵敏度常数 I10、I20 -时间 t 间隔所对应的离子流 t -背压时间表 8 各种示漏气体的（C/M）值气体(C/M),J/(kg1/2.K)(C/M)-(C/M)a,J/(kg1/2.K)氦质谱检漏仪背压法背压室充氦气抽真空仪表读数及声响频率变化背压室，氦质谱检漏仪表 9 灵敏度置换系数 表 10 最小可读pa1.

24、33×10-1Pa2氦质谱检漏仪法利用氦质谱检漏仪进行检漏的有：喷吹法、氦罩法、检漏盒法、吸枪法、充压法、背压法、累积法、选择性抽气法、检漏台法、逆流检漏法和标准漏孔比较法。各种的、步骤工作Pa1.33×10-1Pa单一电阻计差动电阻计单一电离计差动电离计104×10-25×10-3-14×10-21×10-3-10-11×10-31×10-32×10-31×10-410-21×10-31×10-32×10-41×10-510-31×10-31&

25、#215;10-32×10-51×10-6气体单一电阻计差动电阻计单一电离计差动电离计乙烷1.02.010.011.0乙醚0.71.75.46.4-3.54.5氯仿-3.54.50.31.31.02.0四氯化碳0.051.01.02.0苯0.11.00.31.3氢0.40-0.40煤油0.2500.2501.01.00.31.3氩0.523×103-65氧0.92×103-6空气1.00×1030四氯化碳0.553×10347水2.01×103701.45×103180乙醇1.68×103189乙醚1.9

26、3×103354氢1.42×104464及漏率见表 11。在检漏过程中应注意调节仪器工作和氦峰，注意经常校准仪器灵敏度，注意降低仪器本底和本底噪声，以便保证氦质谱检漏仪检漏法的灵敏度。表 11 氦质谱仪捡漏法3. 检漏(1) 检漏的选择及对检漏的选择的要求比较理想的检漏应满足下列要求：合适的检漏灵敏度在具体的检漏条件下，所选择反应时间和清除时间短的检漏灵敏度，通常高于最大容许漏率 12 个数量级。不仅能找出漏孔的位置，而且还能测定漏率找出漏孔位置的有喷吹法和吸枪法。喷吹法适用于可抽空的被检件。高频火花检漏器法、真空计法、固定式卤素仪法和氦质谱仪法归于喷吹法。吸枪法适用于不抽

27、空、放气量大、复杂管道等被检件。气泡法、荧光法，氨检漏法及吸枪式检漏仪法可归于吸枪法。测定漏率的是测量示漏物质的漏率变化或浓度变化量。根据条件可采用适当的。品质优良的示漏物质示漏物质具有在空气中含量少，灵敏度高，不腐蚀、不污染被检件、抽气系统及检漏仪表， 无毒、阻燃和防爆。性好、检漏范围宽结构简单、操作维修方便，成本低由于上述要求有些是相互的，若想采用法都能满足是不合实际的。所以只要根据具体情况能够满足其主要要求的检漏就是较为适宜的。实践证明，检漏的素质、工作经验也是选择检漏的重要依据之一。(2)对检漏的要求对检漏的要求如下：具有高度的责任心和认真的工作态度；具有丰富的检漏实践经验；具有一定的

28、机械结构、物理、化学、材料及焊接等方面的知识；了解被检件结构及其运行工艺，熟悉所用检漏掌握所用示漏物质的检漏特性。或仪器的原理及性能；例如，氦气轻，采用喷吹法检漏时，应遵守从上至下和从近至远的原则(即先从被检件序至下部和从靠近检漏仪顺序至远离的部位)；采用吸枪法检漏时，应遵守从下至上和从近至远的原则。但是，卤素气体重，除遵守从近至远的原则外，在喷吹法和吸枪法中，应分别遵守从下至上和从上至下的原则。检漏满足上述要求，就能解释和解决检漏工作中出现的形形的现象，较好地完成判别漏气、找出漏孔及测定漏率的检漏任务。四、标准漏孔标准漏孔是在一定条件下向真（即漏率）的气体种类、温度、内部提供已知气体流量的元

29、件。一般要明确这个气流量等条件。如果不特别指明，则指温度为 296±3K、为 1.01×105Pa、出口1.常用的标准漏孔低于 1.33×103Pa 的干燥空气（其温度低于 248K）的漏率。几种常用标准漏孔的结构如图 10 所示。毛细管型标准漏孔（图中 a）是用局部拉细的成的，漏率为 10-810-7Pam3/s。毛细金属压扁型标准漏孔（图中 b）通常是用无氧铜或可伐管压制而成，漏率为 10-810-6Pam3/s。铂丝型标准漏孔（图中 c）是利用与铂丝的不匹配制成的。当铂丝直径为0.10.5mm；长度为 510mm 时，漏率约为 10-7Pam3/s。当温度改

30、变时，其漏率变化。若296K 的漏率为 qL、296，则温度 T 时的漏率为式（8）。式中 f（T）的曲线如图 11 所示。薄膜渗氦型标准漏孔（图中 d）是利用石英薄膜球泡的渗氦速率制成的，其漏率一般为10-510-9Pam3/s。由于温度对漏率的影响很大，使用时应当注意。如果温度 T1 时漏孔漏率为 qL、T1，使用温度T2 时的漏率应为式（9）。式中，E-氦在石英中的渗透激活能；R- 常数。2.标准漏孔的校准气体标准漏孔的常用校准有升压法和氦质谱检漏仪比较法。（1）升压法升压法校准系统示意图如图 12 所示。经预抽并烘烤容积 V 后，标准漏孔进气端p11.33×103Pa，而 V

31、 达到极限真空。当为 1.01×105Pa 的校准气体（例如 N2 气）经标准漏孔流进容积 V，并在V 中p2后，关闭阀门 S2时间和环境温度 T，测出对应 t 时间的升压 p2 则标准漏孔的漏率为式（10）。（2）氦质谱检漏仪的比较法氦质谱检漏仪比较法校准系统如图 13 所示。在检漏仪工作条件不变的前提下，先后测出已知漏孔 L1 和待校漏孔L2 的进气氦压和讯号，则待校标准漏孔的漏率为式（11）。式中，qL，01-已知标准漏孔 L1 的漏率；p1，p2-分别为L1、L2 漏孔进气端氦压；I1，I2-分别为 L1，L2 漏孔的输出讯号；I0-检漏仪本底。国产检漏仪器的主要参数见表 1

32、2 和表 13。表 12 国产氦质谱检漏仪主要参数厂家型号灵敏度Pam3/s工作真空度Pa偏转半径mm偏转角扩散泵的冷动方式液氮耗量L/s功耗W重量kg外形mm×mm×mm备注成都仪器厂HZJ-16.7×10-103×10-240180o风冷不要1000200620×660×1230ZLS-2110-131×10-34090o风冷0.251500110938×600×650ZLS-226.7×10-133×10-4090o风 0.211600×660×12303冷0

33、0ZLS-2310-131×10-212180o风冷1100080950×600×57010-11Pam3/s不用液氮ZLS-2410-11,10-1210-212180o风冷ZLS-24 A10-131×10-212180o风冷1120650×600×1090测试自动转换ZLS-24 C2×10-11,10-122000150870×725×1090两套辅助抽气系统ZLS-25 A2×10-9吸枪法仪器ZLS-262×10-12180o分子泵可顺流、逆流检漏科学院北器厂TL-11&#

34、215;10-93×10-240180o风冷不要1200250620×660×1229ZHP-4A6.7×10-141×10-3602×90o水冷扩散泵串联， 差动抽气ZHP-10顺流2.7×10-12逆流 10-17×10-32090o风冷0.041500600×530×920可顺流、逆流检漏ZHP-10 B×10-107×10-22090o风冷不要1500570×410×860逆流检漏仪ZHP-203×10-122090o风冷570×600×1030可顺流、逆流检漏ZHP-305×10-1120