白光干涉表面结构测量仪的优化设计与应用_图文

1、 第 2期 王生怀等 : 白光干涉表面结构测量仪的优化设计与应用 27 2 周明才 ,白金鹏 ,谢勇君 ,等 . MEMS 动态测试系统及其数据处理 . 光学技术 , 2004, 30 ( 4 : 398 - 402. 3 SI NCLA IR M ichaele B , DE BOER Maarten P, CORW I N A lex D. Long2 working2distance incoherent2light interference m icro 2scope. App lied Op tics, 2005, 44 ( 36 : 7714 - 7721. 4 薛晨阳 ,孔繁华

2、,张文栋 , 等 . 利用白光干涉原理测量 MEMS深槽 结构 . 传感技术学报 , 2006, 19 ( 5 : 1516 - 1519. 5 SCHM IT Joanna, HAR I HARAN Parames waran. I mp roved polari2 zation M irau interference m icroscope. Op tical Engineering, 2007, 46 (7 : 1 - 3. 6 JOB I N Marc, FOSCH I A Raphael . I mp roving the resolution of interfer2 ence m

3、 icroscopes . Measurement, 2008, 41 ( 8 : 896 - 903. 7 孙杰 ,刘铁根 ,张以谟 , 等 . 白光干涉零光程差位置四步测量法及 其精度分析 . 天津大学学报 , 2004, 37 ( 4 : 363 - 367. 8 杨天博 ,郭宏 , 李达成 . 白光扫描干涉测量算法综述 . 光学技术 , 2006, 32 ( 1 : 115 - 118. 别测量 , 平均值分别为 11263 m , 31328 m , 测量误差分别为 01003 m , - 01002 m. 5 结束语 9 张红霞 ,张以谟 , 井文才 , 等 . 偏振耦合测试仪中白

4、光干涉包络的 提取 . 光电子 激光 , 2007, 18 ( 4 : 450 - 453. 10 郭彤 ,胡春光 ,胡晓东 ,等 . 频闪干涉仪在微机电系统动态表征中 参考 L innik显微干涉结构 , 研制了显微干涉仪 , 基于该干 涉仪研制了一种白光干涉表面结构测量仪 。通过实验分析了 显微干涉仪关键设计参数中的光源带宽 、 物镜数值孔径 、 孔径 光阑大小对垂直扫描白光显微干涉测量中干涉条纹光强分布 的影响 ,为垂直扫描白光干涉表面结构测量仪的优化设计提供 参考依据 。提出了白光干涉测量条纹自动搜索定位方法 , 能有 效提高测量效率 。所搭建的表面结构测量仪具有纳米级的垂 直分辨率

5、,可用于表面粗糙度 、 台阶 、 膜厚等表面结构的测量 。 通过测量标准样板 ,验证了显微干涉测量系统的精度 。 参考文献 : 1 PETER de Groot, LESL IE Deck. Surface p rofiling by analysis of white2 light interferogram s in the spatial frequency domain. Mod. Op t . , 1995, 42 ( 2 , 389 - 401. 的应用 . 纳米技术与精密工程 , 2004, 2 ( 4 : 294 - 298. 11 戴蓉 ,谢铁邦 ,常素萍 . 垂直扫描白光干

6、涉表面三维形貌测量系 统 . 光学技术 , 2006, 32 ( 4 : 545 - 548. 12 王生怀 ,杨旭东 ,谢铁邦 . 双衍射光栅位移传感器原理及应用 . 计 量技术 , 2008 ( 6 : 7 - 10. 13 王伯雄 ,陈非凡 ,董瑛 . 微纳米测量技术 . 北京 : 清华大学出版社 , 2006: 107 - 115. 14 KI NO G S, CH I M S SC. M irau correlation m icro 2 scope. App l . Op t . , 1990, 29 ( 26 : 3775 - 3783. 15 HARASAKI Akiko, S

7、CHM IT Joanna, JAMES C. W yant, Offset of co2 herent envelope position due to phase change on reflection, App l . Op t . , 2001, 40 ( 13 , 2102 - 2106. 作者简介 : 王生怀 ( 1979 , 博士研究生 , 主要从事精密测量技术及仪 器、 表面形貌测量技术与评定方法的研究 。 E2 mail: shwangkb163. com tors B , 1999, 61: 163 - 169 (上接第 14 页 3 个电导峰 ; 元件对混合气体的响应曲

8、线与对单 N Y Q , et al . A pattern recognition method for electronic 组分乙醇气体响应曲线的形状相似 。 ( 2 采用 Levenberg2 M ar2 5 FU J, L I G, Q I noses based on an olfactory neural network. Sensors and Actuators B , quardt算法建立的含 5 个隐含层节点的 BP 网络 , 输入电导 温 2007, 125: 489 - 497. 度曲线数据进行训练 , 能识别乙醇和醋酸混合气体的种类和浓 6 TAUR I NO A

9、M , D ISTANTE C, SIC I LI ANO P, et al . Quantitative and 度 ,精度和准确度较高 。 ( 3 在单个气敏元件条件下 , 采用周期 qualitative analysis of VOCs m ixtures by means of a m icrosensors array 变温检测与人工神经网络方法 , 是识别混合气体的种类和浓度 and different evaluation methods . Sensors and Actuators B: Chem ical, 的有效方法之一 。 2003, 93: 117 - 125. 参

10、考文献 : 7 YAGC I O , MERCAN D E, C IGIZOGLU H K, et al . A rtificial intelli2 1 R ITABAN D , KASHWAN K R, BHUYAN M , et al . Electronic nose gence methods in breakwater damage ratio estim ation. Ocean Engineer2 based tea quality standardization. Neural Networks, 2003, 16 ( 5 - 6 : ing, 2005, 32 ( 17 2

11、 18 : 2088 - 2106. 847 - 853. 8 GULBAG A , TEMURTAS F, TASALTI N C, et al . A study on radial basis 2 WLODEK S, COLBOW K, CONSADOR I F. Signal2shape analysis of a function neural network size reduction for quantitative identification of thermally cycle tin 2 oxide gas sensor . Sensors and Actuators

12、B , 1991 individual gas concentrations in their gas m ixtures . Sensors and Actua2 ( 3 : 63 - 68. tors B: Chem ical, 2007, 124: 383 - 392. 3 WALTER E C, Favier F, PENNER R M. Palladium mesowire arrays for 9 GULBAG A , TEMURTAS F. A study on transient and steady state sen2 fast hydrogen sensors and h

13、ydrogen2actuated switches . Anal . Chem , sor data for identification of individual gas concentrations in their gas 2002, 74: 1546 - 1553. m ixtures . Sensors and Actuators B: Chem ical, 2007, 121: 590 - 599. 4 KOHLER H, ROBER J, L I N K N , et al . New app lications of tin oxide gas 作者简介 : 陈环 ( 1957 ,硕士 , 副教授 , 主要从事敏感元件和电子电路 sensors: I, Molecular identification by cycle variation of the w