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文档简介

1、1 目的：通过AOI光学检查机对外层板蚀刻后板面进行检验，为外检的批量检查，品质鉴定提供工作指引。2 适用范围：外检课检验作业。3检验工具：100X 、3X 、10X放大镜、AOI机。4检验方法：分为目视与AOI扫描两种方式。4.2干膜首件专人、专机扫描机检测，扫描参数定义好后须经当站技术以上人员同意后才可调整。检测要求：量产前首件扫描1PNL，过程中每72PNL抽测2PNL，扫描1PNL，核对1PN；样品与小于72PNL的小量产可按要求检验。5不良板分析图： 5.1残铜、凸出：残铜 残铜AD/5凸出凸出BD/5残铜LD 注：相邻线2.5MM内不允许有两处残铜或凸出缺口 5.2焊盘缺损：孔中心

2、 A2MIL 注：1.缺口小于焊盘的十分之一 2.中心孔到缺口区需保留2MIL 5.3线路缺口、针孔：线宽AW/5BW/5LW 注：一条线长2.5MM内不允许有两处缺口或针孔5.4不合格品：内外层蚀刻板经检验有不良缺陷已超出检验范围即判定为不合格，且将不良缺陷在板面用表示开路，表示缺口/针孔，表示短路/残铜， 表示固定的缺陷。6判定标准：详见下表。外层组检验标准：实物图片缺陷图片解说明使用工具作业方法异常处理缺陷说明 (图1)断线（膜碎） (图2)缺口 (图3) 线细 (图4)脏点 (图5)脱膜 (图6)铜渣 (图7) 蚀刻不净修刀10倍镜50倍镜AOI机VRS机1. 单元内任何形式的开路均不

3、允许(图1)23. 不影响设计线宽的20%,任何方向的长度要5mil(图2)4.线路减少不得大于原设计线宽的-20%(图3)5. a.任何脏点不允许造成短路。 b.脏点造成残铜，面积不可超过5mm2(图4)6.脱膜不允许影响设计线宽的±20%(图5)7.残铜面积不允许超过5mm2或造成线路桥接和铜面粗糙(图6)8. 任何因蚀刻不净造成短路都不允许(图7)9. 干膜板刮伤造成短路不允许。 (图8)10. 残铜面积不允许超过5mm2或造成短路不允许。(图19)11. 成型区内无底铜刮伤造成断线等问题不允许。(图10)12. 人为刮撞伤造成线路弯曲或断线不允许。(图11)重工报废实物图片缺

4、陷图片解说明使用工具作业方法异常处理缺陷说明 (图8)干膜板刮伤 (图9) 有底铜刮伤 (图10)无底铜刮伤 (图11) 刮撞伤 (图12)孔偏 (图13)残缺 修刀10倍镜50倍镜AOI机VRS机13.孔偏破边不超过焊盘的1/4，且不允许造成断脖子。14.满足最小线距要求,不影响原线宽的20%。15.a.任何金手指、焊盘不允许有缺损现象。b.铜面缺损不允许超过5mm2。三、说明：1.在前制程中造成的不良问题(如短路、残铜、凸出等),在客户允许的修补的范围内进行修补，使产品在完全良好的状态下流入下制程。 2.修补短路时用刀片随着线路边缘的两边切开，再用刀片刮开，修补时所造成的线路凸出或缺口不得影响原线宽的±20%,如客户有特殊要求时,即按照客

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