激光干涉仪操作规程_第1页
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1、第 4 页 共 4 页激光干涉仪操作规程一、 操作步骤1.系统的相互连接·将 PC10计算机系统与ML10 激光干涉仪用通讯电缆连接。·如果需要，将 PC10计算机系统与EC10 环境补偿单元用通讯电缆连接。·将PC10、ML10、EC10分别接上电源线，再接到电源插板上。·通过稳压电源，将总电源线接到220V接地电源上。2.激光的预热 闭合激光干涉仪开关，使激光预热大约1520分钟，等激光指示灯出现绿色后，表明激光已稳定。3.测量软件的启动打开计算机，在“C”提示符下依次键入：·CD/RENISHAW (RETURN)·RCS (R

2、ETURN)·a (RETURN)·b (RETURN) 完成以上步骤后，测量软件已被启动。4.光学镜的安装·将反射镜用夹紧块、安装杆、磁性表座固定在机床运动部件上。·将反射镜和分光镜组合组成干涉镜；将干涉镜用夹紧块、安装杆、磁性表座固定在机床不可运动部件或其它固定部件上。5.激光调整·调整激光，使其与测量方向一致。调整时，首先用粗光束调，然后用细光束调，保证信号强度达到测量精度要求并恒定（由计算机上信号强度指示确定）。·调整透射光线和折射光线重合。6.目标值设定 根据测量要求，设定目标值，目标值的设定应尽可能的覆盖整个行程范围。7.

3、数据采集·按目标值设定要求编制数控测量程序，在每个测量点必须有足够的延时设定（由机床操作人员完成）。·设定数据采集参数，主要包括；线性/圆周、测量次数、单向/双向、测量信息等。·按“ALI+D”进行数据采集。·数据采集完后，按“ESC”终止采集过程。8.数据分析 选择“数据分析”菜单，按相关标准要求进行数据分析，分别给出双向定位精度、重复性、反向偏差等精度指标。9.计算机系统的退出 按以下步骤退出系统：·按“ALT+X”退回到“主菜单·按“x”退出本软件·按“CD” 退出子目录·关机10. 测量完成后的工作

4、3;关闭ML10。·关闭EC10。·关闭电源插板开关。·拆掉所有电源线及电缆线。·拆掉光学镜、夹紧块、安装杆、磁性表座。·按附件表所列项目清点所有附件，并放入附件箱。二、 注意事项1.搬运仪器附件箱时，应轻拉轻放，防止振坏激光干涉仪或其它附件。 2.三角架在使用时，应将各紧固螺钉固紧，防止意外事故的发生。 3.激光干涉仪在使用时，应用两松紧带固紧。 4.安装光学镜时，要小心谨慎，防止摔坏或碰坏光学镜，特别禁止“悬空”安装光学镜。 5.严禁用手触摸光学镜镜面，保持镜面干净。 6.必须确保电源线有地线，并且地线必须在电源线供电端接地，否则，会有触电（电击伤）的危险。 7.眼睛不能对准输出光束直视，否则会伤害眼睛。 8.在测量现场操作人员不得随意离开，以防意外事件的可能发生。若有事确需离开，应有其它计量人员在现场看护仪器。 9.测量完后，应将电源线、连接电缆、电源插板及电缆线等擦拭干净。 10

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