半导体风险管理培训资料精

1、>发展趋势>工厂布局>工艺流程>无尘室>行业风险>风险管理及核保>损失案例>再保解决方案© General Reinsurance AG2© General Reinsurance AG>元件更小（0.13013-0.09009-0.65065 -0.0450045 -0.0320032）>晶圆（wafer）更大（4” -6” -8” -12”）>创新周期更短>无尘室（clean room）面积更大且价值更高>生产厂商更少但生产规模更大>更多的扩展条款/ 新建半导体厂的设计及施工时间更短&g

2、t;现有工厂的利损风险（LoP）/ 在建工程的预期利损风险（ALoP）很高© General Reinsurance AG特殊芯片制造商A厂每月生产5000片晶圆ABB厂每月生产6000片晶圆厂每月生产C厂每月生产40000片晶圆片晶圆© General Reinsurance AG特殊芯片制造商A 每月生产5000个晶片ABB 每月生产6000个晶片每月生产C每月生产40000个晶片个晶片所有测试都在C厂进行© General Reinsurance AG特殊芯片制造商A厂每月生产5000片晶圆ABB厂每月生产6000片晶圆厂每月生产C厂每月生产40000片晶圆

3、片晶圆所有测试都在C厂进行C厂作为最终测试区域厂作为最终测试区域变得至关重要© General Reinsurance AG>各厂间的相互依存关系将更加错综复杂>产品周期将日益缩短>重置价值将日益增加>重置所需时间变得更加关键>产品质量要求严格、供货时间缺乏弹性产品质量要求严格供货时间缺乏弹性>发生损失后，将采取重置而非维修方式恢复生产>日益增加的保险价值要求更大的直保和再保承保能量© General Reinsurance AG© General Reinsurance AG物料场厂房1化学品储藏库供气站厂房23-5 层

4、3 5层3 -5 层办公区研发室装配大楼5层5 层厂房31 层占地面积:220000m²占地面积: 220,000 m建筑面积: 173,000 m²© General Reinsurance AG集成电路楼厂房1车间C1封装区车间B1测试区办公区车间A1储物间公用设施1楼1 楼地下室4 楼3 楼2 楼楼测试区5 楼楼© General Reinsurance AG厂房2车间C2办公楼办公区4 楼3楼2 楼楼1楼1 楼地下室车间B2办公区办公区车间A2储物间公用设施© General Reinsurance AG厂房3车间3© Gen

5、eral Reinsurance AG© General Reinsurance AG晶圆生产过程-晶体生长炉/ 抛光酸浴/ 二氧化硅层© General Reinsurance AG晶圆生产过程-晶体生长炉/ 抛光酸浴/ 二氧化硅层光罩制造电路设计/ 光罩© General Reinsurance AG光罩制造电路设计/ 光罩晶圆生产过程-晶体生长炉/ 抛光酸浴/ 二氧化硅层处理-旋涂/ 炉内软烤-晶圆光罩对准/曝光/ 显影/ 硬烤-湿蚀刻/干蚀刻/ 掺杂剂/ 沉积层-金属溅镀使电路层相连© General Reinsurance AGX射线射线0.1

6、6© General Reinsurance AG晶圆生产过程-晶体生长炉/ 抛光酸浴/ 二氧化硅层光罩制造电路设计/ 光罩处理-旋涂/ 炉内软烤-晶圆光罩对准/曝光/ 显影/ 硬烤-湿蚀刻/干蚀刻/ 掺杂剂/ 沉积层-金属溅镀使电路层相连测试© General Reinsurance AG光罩制造电路设计/ 光罩晶圆生产过程-晶体生长炉/ 抛光酸浴/ 二氧化硅层处理-旋涂/ 炉内软烤-晶圆光罩对准/曝光/ 显影/ 硬烤-湿蚀刻/干蚀刻/ 掺杂剂/ 沉积层-金属溅镀使电路层相连测试切割电路集成封装切割,电路集成, 封装-晶圆切割成芯片/ 将芯片固定在芯片基座及金属插脚架上-

7、引线相接/ 陶瓷或塑胶盖板封装电镀电线导线/金属插脚架© General Reinsurance AG晶圆生产过程-晶体生长炉/ 抛光酸浴/二氧化硅层酸浴/ 二氧化硅层光罩制造电路设计/ 光罩处理-旋涂/ 炉内软烤炉内软烤-晶圆光罩对准/曝光/ 显影/ 硬烤-湿蚀刻/干蚀刻/ 掺杂剂/ 沉积层-金属溅镀使电路层相连测试切割,电路集成, 封装-晶圆切割成芯片/ 将芯片固定在芯片基座及金属插脚架上-引线相接/ 陶瓷或塑胶盖板封装电镀电线导线/金属插脚架最终测试成品贮藏© General Reinsurance AG几个重要步骤的总结集成电路芯片的生产晶圆生长形成电路层芯片焊接封

8、装© General Reinsurance AG1+1=3© General Reinsurance AG>生产在等级为1 -10,000的无尘室内进行-无尘室的等级以每立方英尺内大于0.5 0微米之粉尘的数量来表示-未过滤空气为5,000,000级-烟尘为1,000,000,000级或更高>两种基本的建筑方式-现场建造（built-in-place）-模版建造（modular methodmodularmethod）>现场建造意为按照特定设计标准而在现场建造，多用于形体巨大的永久性设备的建筑安装。>模版建造是指使用预制模板连接构造的建筑安装方式。

9、© General Reinsurance AG>空气补给常为再循环空气与补偿空气的混合气体空气补给常为再循环空气与补偿空气的混合气体。再循环空气更为清再循环空气更为清洁且更符合温度与湿度的要求>无尘室通常处于正压环境下>无尘室基本外壳和基本设备的造价在每平方英尺500 美元(等级100,000) 到每平方英尺3,000美元(等级1)之间>无尘室内部处理设备的造价在每平方英尺1,000 1000美元(等级100,000) 100000)到每平方英尺10,000美元(等级1)之间>目前无尘室的总造价通常要超过20亿美元© General Rein

10、surance AG恢复步骤>基本洁净洁净等级等级100 100粉尘洁净度每立方英尺内大于0.5 05微米的粉尘的数量<100>洁净度好等级10 每立方英尺内大于0.5 微米的粉尘的数量<10>洁净度非常好等级1 每立方英尺内大于0.5 微米的粉尘的数量<1>超洁净等级0.1每立方英尺内大于0.5 微米的粉尘的数量<0.1© General Reinsurance AG>屋顶建筑类型:钢板/ 混凝土>接缝：连接混凝土预制件的接缝使用阻燃材料填充>钢梁/柱：使用阻燃材料覆盖使用阻燃材料覆盖>吊顶：使用阻燃材料封闭空

11、间/ 塑料管道/ 电缆>墙体及天花板孔洞© General Reinsurance AG类型>>>>>>>>>湿法清洗台熔炉干式蚀刻机离子注入机金属喷镀机步进器/ /对准器晶片清洁工据晶片检查工具涂膜/ /显影磁轨历史成本（美元）500,000 -2,500,000500,000 -3,000,000100,00000,000-2,000,000,000,000400,000 -3,000,0002,000,000 -4,000,0001,000,000-10,000,0001,000,000 20,000 -700,000

12、60,000 -1,800,000200000-850,000200,000 850000© General Reinsurance AG© General Reinsurance AG>在高温环境下大量使用毒性、高腐蚀性及易燃气体和液体（如：加入添加剂时所使用的扩散炉）>大量使用塑料质地的材料（如：导管、输送管、电缆、盖板等）>价值集中度高© General Reinsurance AG气体>>>>>>>>>氨气三氯化硼氯氯气二氯甲硅烷氢气氧氯化碳磷化氢硅烷四氟化硅X XX X X X XX

13、XXX毒性腐蚀性易燃性X X X X自燃性XXXXX© General Reinsurance AG易燃液体>>>>>>>>>丙酮醋酸丁酯氯苯甲醛异丙醇甲醇丙醇甲苯二甲苯燃点(°C)C)-172429-53121136430© General Reinsurance AG>火灾>烟尘污染>腐蚀>水损>爆炸>倒塌>电力波动>地震© General Reinsurance AG风险管理及核保© General Reinsurance AG44>

14、;>>>>>>生产过程风险管理生产过程与设备完整性管理变化管理审计承商管承包商管理培训与业绩评定进修培训© General Reinsurance AG>>>>>>>操作与维护的工作程序高温作业后勤管理禁烟废物处理安全措施建筑风险© General Reinsurance AG>防护外部（消防栓, 给水水源, 电子消防水泵, 柴油消防水泵等）内部（隔断, 喷淋装置, 与通风系统相连结的烟感器, 气阀, 设备保护, 除烟系统等）© General Reinsurance AG>

15、运营风险营险战略重点考察道德风险了解生产流程考察产品线评估可能发生损失的严重性评估建筑、设备、及人员的安全性© General Reinsurance AG评估主要工厂的安全标准了解工厂如何解决排风问题考察应对灾难性损失的准备工作和业务可持续计划考虑有效的风险管理措施并决定与风险暴露相匹配的费率© General Reinsurance AG>建筑安装风险工程的描述全部合同金额的明细资料将合同金额对应到每一建筑物及场地建筑与生产设备布局详细的时间进度表© General Reinsurance AG设计师的经验（如：防火系统等的设计）安装开始前现场是否已经具

16、备了消防设备以及防火系统，以及这些设备、设施的具体情况承包商的经验第三方财产及业主现有财产的明细信息将要安装的机器设备的情况原型设计已经过验证的设计© General Reinsurance AG调试/试车试车程序厂商监督地震风险洪水风险部分交工计划和厂内现有运营情况的详细资料© General Reinsurance AG根据出险数量>火灾/ 爆炸>与液体有关>腐蚀性气体泄漏>其他60%30%6%4%© General Reinsurance AG根据出险数量>易燃/ 自燃气体>电源>液体加热设备>易燃液体>

17、其他35%24%24%6%11%© General Reinsurance AG© General Reinsurance AG在等级为100的无尘室内进行集成电路的加工装配工作湿台用于镀金、光罩清洁和显影镀金溶液，丙醇和异丙醇在玻璃器皿中加热断路器置于湿台塑料镶嵌物内的金属加热板上火灾就是由于金属加热板在无人看管的情况下运行从而导致塑料镶嵌物受高温融化且点燃了湿台。工作人员发现了火灾，随后大火被消防人员扑灭。财产损失870,000美元,财产损失870000美元营业中断损失2,700,000美元营业中断损失2700000美元© General Reinsuranc

18、e AG280平方米等级为10的无尘室用于投影曝光和放置晶圆步进器。正常操作期间,280平方米等级为10的无尘室用于投影曝光和放置晶圆步进器正常操作期间承包商的员工注意到从门下进入到无尘室的轻烟，立即通知安全人员。再由安全人员通报公共消防部门，消防人员在30分钟后到达。当时可以闻到烟味但看不到烟排烟系统在正常工作不到烟。排烟系统在正常工作。火烧毁了一些电路板，所有消耗的塑料材料小于1公斤。火烧毁了些电路板，所有消耗的塑料材料小于1公斤。损失主要源于烟尘。财产损失财产损失1,400,000美元，营业中断损失,美元，营业中断损失170,000美元,美元© General Reinsura

19、nce AG事故发生于通讯集成电路研发的设施。两层楼的建筑，包含两个夹楼用于安装通风管、空气处理系统等，还有用于空气调节设备的阁楼。空气处理设备运行于1220%的乙烯乙二醇和80空气处理设备运行于12-20%80-88%88%的冷却水混合剂中，该设备设冷凝水盘的排水管直通污水池。在因电力维护而停工期间，冷却水系统发生泄漏影响了高效微粒空气过滤器,电缆以及下方线路连接等设备的运作。财产损失149,000美元，营业中断损失332,000美元财产损失149000美元营业中断损失332000美元© General Reinsurance AG直径为25毫米的塑料管发生泄漏，导致420升盐酸从

20、散装化学品分配系统中溢出。该事故发生在等级为5的无尘室，污染了大约4000个正在处理中的晶圆并且腐蚀了4台扩散炉、自动化机械和其他设备，涉及面积约450平方米。所有生产停产一天并用了5天时间完全恢复到事故前的产量。另外，酸性物中和工作花了12天。受损设备的修复共用了8周。财产损失与营业中断损失约32,000,000美元© General Reinsurance AG在现有生产场所内建设新的生产设施，施工不当造成整个工作区遭受了大范围的断电基本原因是由于叉车操作不当导致115千伏的电线短路。的断电。基本原因是由于叉车操作不当导致115千伏的电线短路其他原因还包括:1电池中电力较低造成断

21、路器无法工作，从而造成备用电源无法供电1 电池中电力较低造成断路器无法工作，从而造成备用电源无法供电2. 在测试时荷载运行，但却开启了“空载断开”3.紧急发电机无法工作3. 紧急发电机无法工作4. 自动转换开关附带的应急电源的接触器无法开启花费了58个小时恢复到事发前的生产状态。大约有13,000个处理中的晶圆受损。财产与营业中断损失共计18,500,000 美元。© General Reinsurance AG>控制室内自动警报信号响起提示在产品支持室（控制室内自动警报信号响起提示在产品支持室（PSR）内发生火情。操作）内发生火情操作员开始用一些便携式灭火器和消防水龙灭火。&

22、gt;火情发生后至少过了25分钟喷淋系统才开始启动，致使大火在产品支持室内蔓延。最后，火灾被消防队控制住。>由于没有通风系统自动关闭装置，烟尘通过通风管道扩散到了无尘室。>灭火用水蔓延至较低楼层导致其他支持设备水损财产损失共计178,000,000美元(其中包括财产险损失95,000,000美元和建筑工程险损失83,000,000美元)© General Reinsurance AG© General Reinsurance AG© General Reinsurance AG© General Reinsurance AG© Ge

23、neral Reinsurance AG© General Reinsurance AG>防火系统的改进通风系统应用截气阀分隔为不同的区域，并由烟感器控制通风系统应有自动关闭装置并与火情探测系统相连天花板夹层的空间内必须配有喷淋设备必须配有足够的防火隔段© General Reinsurance AG>风险管理的改进向员工提供有关防火和消防的培训由风险管理经理负责防火与专职消防队的管理>>火灾后对受损机器设备立即采取措施进行保存和修复高度精密仪器设备的维修问题© General Reinsurance AG>>>>保修问题在工程险与财产险之间进行区分的问题(部分移交或扩建工程所带来的额外风险)保险金额问题试车期问题