半导体厂务常用缩写(共3页)

1、精选优质文档-倾情为你奉上CUP        Central Utility Plant        中央動力廠房GEX        General EXhaust        普通及熱排氣SEX         Scrubber EXhaust        酸排氣VEX        Volatile or

2、gaic compound EXhaust         有機溶劑排氣AEX        Ammonia EXhaust        鹼性排氣PCW        Plant Cooling Water        工藝冷卻水PV        Process Vacuum        工藝真空HV 

3、;       House Vacuum        真空吸塵CW        City Water        自來水FMCS        Faility Monitoring Contro System        廠務監控系統        MCC        Motor

4、 Control Center        馬達控制中心                VFD        Variable Frequency Device   變頻器                CCTV        Close Circuit Televsion   

5、;     閉路電視                PA        Public Adress system        廣播系統FA        Fire Alarm  system        火災報警系統UPW        Ultra Pure Water

6、60;       超純水FWW        Fluoride Waste Water        低濃度氫氟酸廢水IWW        Industry Waste Water        工業廢水                OWW        Organic Waste W

7、ater        有機溶劑廢水                DAHW        Drain Amonia  Hydride        Waste         含氨廢水                RCL    

8、0;   Recycle water        製程回收循環水RCM        Reclaim water        製程回收再利用水HFW        High Fluoride Waste water        高濃度氫氟酸廢水                BGW  

9、0;     Backgriding Waste water        晶背研磨廢水                SAW        Sulfuric Acid Waste water  硫酸廢液                PAW        Phosphoric

10、Acid Waste water        磷酸廢液                SW        Stripper Waste water        剝離液廢液TW        Thinner Waste water         清洗廢液PIX       

11、Pix waste water        PIX廢液SLOW        Oxide slurry waste water        介電質研磨廢水                 SLWP        Metal slurry waste water        金屬研磨廢水

12、0;                SLWP        Poly slurry waste water        多晶硅研磨廢水                 PN2        Process N2    製程用氮氣     

13、            GN2        General N2        一般用氮氣CDA        Compressor         Dry Air    壓縮乾燥空氣                VMB   

14、     Valve Manifold Box        閥箱                空調系統                AHU        Air Handling Unit         空调箱           

15、     MAU        Make-up  Air Unit     外气空调箱VAV        Variable Air Volume  box    可变风量风箱FFU        Fan Filter Unit         风车过滤器        

16、0;       HEPA        High Efficiency Particulate Filter         高效率过滤器        ULPA        Ultra Low Penetration Filter     超高效率过滤器               

17、 A/S        Air  Shower        空气浴尘室CUP        Central Utility Plant        中央動力廠房電力系統                FMCS        Faility Monitoring Control System

18、60;       廠務監控系統                MCC        Motor Control Center        馬達控制中心                VFD        Variable Frequency Device    &#

19、160;   變頻器                CCTV        Close Circuit Televsion        閉路電視                SCADA        Supervisory  Control And Data Acquisition&#

20、160;       监视控制和数据搜集系MCC        Motor Control  Center        馬達控制中心VFD        Variable Frequency Device        變頻器                水處理系統     

21、           UPW        Ultra Pure Water        超純水                RO        Reverse Osmosis        逆滲透膜TOC        Total Organic Carbon&#

22、160;       總有機碳                MB        Mixed Bed        混床UF        UltraFiltration        超濾SC        Strong Cation       

23、 強陽離子SA        Strong Anion        強陰離子WA        Weak Anion        弱陰離子DO        Dissolved Oxygen        溶解氧MD        Membrane        Degasi

24、fy        脫氣膜GF        Gravity Filter        重力式過濾器.DI        Deionize        去離子水氣體/化學系統                CQC        Continuous   

25、     Quality Control连续品质控制系统VMB        Valve Manifold Box        閥箱VMP        Valve Manifold Panel        閥盘                GMS        Gas M

26、onitoring System  气体监测系统                CDS        Chemical Dispense System        化學系统                SDS        Slurry Dispense System  &#

27、160;       化學研磨系统                环境安全卫生                ESH        Environment Safety Health        环境安全卫生                SCBA

28、        Self Contained Brathing Apparatus                自给式空气呼吸器                                        

29、                 HVAC        AHU        Air Handling Unit         空调箱MAU        Make-up Air Unit         外气空调箱         

30、      VAV        Variable Air        Volume  box    可变风量风箱                FD        Fire Damper        防火风门FSD        combine

31、d  Fire Smoke        Damper     防火防烟风门                SD        Smoke  Damper        防烟风门PHX        Plated  type Heat Exanger 

32、;       板式热交换器FFU        Fan Filter Unit        风车过滤器                 HEPA        High Efficiency Particulate Filter        高效率过滤器      

33、0;         ULPA        Ultra Low Penetration Filter        超高效率过滤器                A/S        Air Shower        空气浴尘室A/L        Air Lock 

34、;       气闭门室DCC        Dry Cooling Coil        干盤管                FCU        Fan Coil Unit         小型冷风机SF        Smoke Fan      

35、  消防排烟风车EF        Exhaust Fan        通风排气风车CUP        Central Utility Plant        中央動力廠房                GEX        General EXhaust       &#

36、160; 普通及熱排氣SEX        Scrubber EXhaust 酸排氣VEX        Volatile orgaic compound EXhaust         有機溶劑排氣AEX        Ammonia EXhaust         鹼性排氣PCW        Process Cooling Water  &#

37、160;     工藝冷卻水PV        Plant Vacuum          工藝真空HV        House Vacuum        真空吸塵CW        City Water        自來水FMCS        Faility Monit

38、oring Control System        廠務監控系統        MCC        Motor Control Center        馬達控制中心                VFD        Variable Frequency Device     

39、  變頻器CCTV        Close Circuit Televsion        閉路電視                PA        Public Adress system        廣播系統FA        Fire Alarm  system 

40、      火災報警系統UPW        Ultra Pure Water        超純水RO        reverse Osmosis        逆滲透膜TOC        total  organic carbon        總有機碳     

41、60;         MB        mixed bed        混床UF        ultrafiltration        超濾SC        strong cation        強陽離子SA        strong  A

42、nion        強陰離子WA        weak Anion        弱陰離子DO        dissolved oxygen        溶解氧MD        membrane Degasify        脫氣膜GF        gravity

43、 Filter        重力式過濾器.DI        deionize        去離子水FWW        Fluoride Waste Water        低濃度氫氟酸廢水                IWW        Industry Waste

44、 Water        工業廢水                OWW        Organic Waste Water        有機溶劑廢水DAHW        Drain Amonia Hydride Wastewater        含氨廢水       

45、         RCL        Recycle water        製程回收循環水RCM        Reclaim water        製程回收再利用水HFW        High Fluoride Waste         高濃度氫氟酸廢液      

46、0;         BGW        Backgriding Waste water        晶背研磨廢水                SAW        Sulfuric Acid Waste        硫酸廢液                PAW        Phosphoric         Acid Wa