陈列波导器件封装系统中运动平台误差建模及仿真分析._第1页
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文档简介

1、陈列波导器件封装系统中运动平台误差建模及仿真分析集成光子器件在全光通信网络的构建中具有广泛的应用前景, 而目前制约其发展的关键在于器件封装技术。在集成光子器件封装工艺中 , 实现器件功能的耦合对准过程难度较大 , 需要通过多轴运动平台多维空间亚微米精度位置控制才能实现多光路的精确对准与耦合 , 因此研究阵列波导器件封装系统中多轴运动平台的综合空间误差建模并对其误差敏感性进行仿真分析具有极其重要的意义。首先详细介绍了适应于多轴精密运动平台的多体系统误差建模分析方法的理论基础。并以四轴运动平台为例 , 对该平台结构部件进行了最优化组合成为 7 个相邻单元体 , 就平台的误差源及各单元的基本误差进行

2、了分析 , 得到了影响平台综合空间误差的基本误差。基于结合了齐次坐标变化理论与多序体特征描述方法的多体系统误差分析建模方法 , 对四轴运动平台建立了静止状态和运动状态两种情况下的综合空间误差模型。并在两种情况下利用仿真计算程序得到了四轴运动平台综合空间误差模型对单个基本误差的敏感性仿真分析。基于 ISO-230-2/1997 定位精度评定标准 , 采用 LDDM激光位移测量系统实验测量分析了各平动轴向定位精度的重要技术指标。对综合空间误差模型仿真过程中的各项误差参数设置具有指导意义 , 使综合空间误差模型仿真更具可靠性。同主题文章1.齐朝晖,唐立民,陆佑方 . 一种建立多体系统计算模型的新方法

3、 ' J. 力学学报 . 1994.(05)2.王琪 , 陆启韶 . 多体系统 Lagrange 方程数值算法的研究进展 ' J. 力学进展 . 2001.(01)3.王琪 , 黄克累 , 陆启韶 .具有奇异位置的多体系统动力学方程的隐式算法 ' J.计算力学学报 . 1997.(04)4.王霄 . 快速测灰系统运动平台出轨故障分析与处理 ' J. 设备管理与维修 . 2001.(07)5.王琪 , 陆启韶 , 黄克累 .多体系统动力学 Lagrange 方法的进展 ' J.力学与实践 . 1997.(03)6.王琪,周蹬勇,谢传锋 . Lagrange方法在多体系统动力学中的应用'J. 北京理工大学学报 . 1996.(S1)7.王晓锋 , 马吉胜 , 董殿军 .求解多体系统动力学方程的子系统迭代法'J. 应用力学学报 . 1998.(01)8.朱怀亮,张福祥,陈效华.刚柔多体系统动力学分析及近似' J.弹道学报 . 1995.(02)9.王树勇 , 袁士杰 . 多体系统在冲击约束下的碰撞运动 ' J. 北京理工大学学报 . 1997.(02)10.许宏伟 . 多体系统的计算机自动建模方法 ' J. 郑州航空工业管理学院学报 . 2003.(03)【关键词相关文档搜索】:

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