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文档简介

1、石英反应管操作规范和技巧石英反应管操作规范和技巧主要内容主要内容第一部分:工序介绍第一部分:工序介绍第四部分:操作技巧第四部分:操作技巧第二部分:操作流程第二部分:操作流程第三部分:操作规范第三部分:操作规范第五部分:设备相关第五部分:设备相关第六部分:质量控制第六部分:质量控制第七部分:安全生产第七部分:安全生产工序介绍石英反应管介绍石英反应管介绍220170Al预沉积贺利氏管,两头开口,带法兰盘Al推进贺利氏管,两个尾巴氧化贺利氏管,两个尾巴GE214( 单尾)涂源贺利氏管,两个尾巴贺利氏(单尾)磷扩贺利氏管,两个尾巴贺利氏(单尾)规格规格使用工序使用工序工序介绍 大石英管处理工具清单大石

2、英管处理工具清单工具、器具工具、器具名 称型号规格清洗杆 NPP材料纱布洗手液净化口罩医用手套PVC手套耐酸碱手套定性滤纸圆珠笔小推车电子1#工序介绍设备及药品清单设备及药品清单盐酸盐酸氢氟酸氢氟酸大石英管清洗机操作台面大石英管清洗机操作台面操作流程大石英管处理操作流程(一)大石英管处理操作流程(一)拆装自检冲洗电子1#擦洗溢流冲洗配制配制1:1:4酸液,将石英酸液,将石英管放在大石英管放在大石英管清洗机的酸管清洗机的酸槽内,打开清槽内,打开清洗机开始转动洗机开始转动,待酸液洗完,待酸液洗完酸冲洗将石英管放在将石英管放在专用的推车承专用的推车承载区域,在去载区域,在去离子水管下冲离子水管下冲洗

3、内外表面。洗内外表面。 把配制好的电把配制好的电子子1#倒在纱布倒在纱布上,反复擦洗上,反复擦洗外表面外表面2-3次次,将纱布绑在,将纱布绑在清洗杆上,反清洗杆上,反复擦洗内表面复擦洗内表面2-3次,不能次,不能有遗漏的地方有遗漏的地方用去离子水冲用去离子水冲洗表面,把灌洗表面,把灌满管容积的满管容积的23,晃动管,晃动管2分钟,在把水分钟,在把水放掉,反复操放掉,反复操作作2-3遍,用净遍,用净化纸封口后送化纸封口后送至净化间至净化间领取石英管,领取石英管,检查身份卡上检查身份卡上的进厂检验信的进厂检验信息是否符合领息是否符合领用要求,检查用要求,检查石英管是否有石英管是否有破损破损操作流程

4、大石英管处理操作操作流程(二)大石英管处理操作操作流程(二)冲洗干净清洗冲洗干净清洗机酸槽机酸槽, 从石从石英管进气端用英管进气端用去离子水流入去离子水流入冲洗,并转动冲洗,并转动石英管,直到石英管,直到管口流出的水管口流出的水测试为中性。测试为中性。封好石英管前封好石英管前后两段,塞进后两段,塞进炉体,并前后炉体,并前后塞好保温棉,塞好保温棉,运行炼管曲线运行炼管曲线。炼完石英管以炼完石英管以后,接好气路后,接好气路,并运行常规,并运行常规工艺曲线进行工艺曲线进行饱和石英管饱和石英管做好上诉所有做好上诉所有操作时,填写操作时,填写完整石英管身完整石英管身份卡,并将卡份卡,并将卡放入专用文件放

5、入专用文件夹中保存夹中保存.冲洗炼管饱和填卡使用 把小推车冲洗干净把小推车冲洗干净,先用水冲洗,再用抹布自上而下擦先用水冲洗,再用抹布自上而下擦操作规范对石英管内外壁经行冲洗,反复对石英管内外壁经行冲洗,反复2-3遍遍操作规范操作规范将纱布绑在专将纱布绑在专用清洗杆(用清洗杆(NPP材料去离子水管材料去离子水管道)上。道)上。 将将清洗杆伸清洗杆伸 入入石英管内部,用石英管内部,用绑在上面的纱布绑在上面的纱布清洗石英管内表清洗石英管内表面,反复擦洗面,反复擦洗23遍遍边转动边自下而上的擦洗,边转动边自下而上的擦洗,不能有遗漏的地方不能有遗漏的地方操作规范将配制好的将配制好的D1#倒在准备好的纱

6、布上,倒在准备好的纱布上,擦洗石英管外表面,反复擦洗擦洗石英管外表面,反复擦洗23遍,遍,不能有漏的地方不能有漏的地方操作规范电子电子1#擦洗完擦洗完以后,用大量以后,用大量去离子水冲洗去离子水冲洗外壁,内壁用外壁,内壁用溢流法冲洗,溢流法冲洗,把水灌满管的把水灌满管的23,并晃动,并晃动石英管,反复石英管,反复2-3次。冲完后次。冲完后用净化纸封口用净化纸封口送至净化间送至净化间 操作规范配制配制1:1:4酸液,将石英管放酸液,将石英管放在大石英管清洗机的酸槽内,在大石英管清洗机的酸槽内,打开清洗机开始转动,待酸液打开清洗机开始转动,待酸液洗完洗完4份水1份HCL1份HF从管的进气口进酸操作

7、规范酸洗完以后,用去离子水冲洗管的内外壁,至少酸洗完以后,用去离子水冲洗管的内外壁,至少1小时以上小时以上操作规范PH试纸呈中性,说明冲干净冲洗干净后,用PH试纸检验是否冲干净操作规范封好封好石英石英管前管前后两端,塞进后两端,塞进炉体,并前后炉体,并前后塞好保温棉,塞好保温棉,运行炼管曲线,运行炼管曲线,然后运行常规然后运行常规工艺饱和石英工艺饱和石英管,填写身份管,填写身份卡后,方可使卡后,方可使用。用。运行工艺洗管炼管曲线设备日常设备日常维护保养维护保养做好做好使用记录使用记录拉温区时检拉温区时检查管是否查管是否破损,变形破损,变形大石英管大石英管清洗机清洗机保持干净保持干净按要求按要求

8、日期进行日期进行工艺洗管工艺洗管设备日常维护保养的方法设备日常维护保养的方法设备相关设备使用注意事项设备使用注意事项设备相关要注意轻拿要注意轻拿轻放,不要磕轻放,不要磕碰,以免高温碰,以免高温时有应力导致时有应力导致石英管破裂石英管破裂不同工序使不同工序使用的石英管应用的石英管应该定点存放,该定点存放,防止混用现象防止混用现象,且要定期处,且要定期处理已经使用过理已经使用过的石英管的石英管存放存放含涂层的石含涂层的石英管在清洗过英管在清洗过程中严禁外壁程中严禁外壁接触酸液接触酸液 ,防防止涂层被损坏止涂层被损坏 带涂层管带涂层管清洗清洗质量要求质量要求要求处理过程中大石英管表面没有破损,裂痕,杂质要求处理过程中大石英管表面没有破损,裂痕,杂质等。等。电子电子1#擦洗完必须要用去离子水冲洗干净。擦洗完必须要用去离子水冲洗干净。酸洗完后必须保证管的内外壁没有残留药品。酸洗完后必须保证管的内外壁没有残留药品。炼管完必须按要求进行饱和。炼管完必须按要求进行饱和。做好处理和使用记录。做好处理和使用记录。质量控制质量控制质量控制质量控制常见质量问题的原因及解决方法常见质量问题的原因及解决方法质量现象原因分析解决办法表面有杂质,裂痕管本身有缺陷咨询工程师能否使用或者退厂家处理过程中有磕碰情况加强操作细节,避免发生此类情况日常处理

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