太阳能电池片工艺(全流程).

1、太阳能电池片工艺一、硅片检测硅片是大阳能电池片的栽体硅片质的好坏II接决定了太阳能电池片转换效字 的高低因此爲豪对来料睚片进行检测。该工序主賽用来对廷片的一些技术參数 进行在绞测.这些參数主粪包涪哇片孜面不刃屋度、少子寿命、电阻率、P/N 型和微疑纽等该組设备分自动上下料、fit片传输、采统矗合部分和四个枪油槽 块。.光伏硅片核测仪对硅片我面不平整度洌行检渕同时检测硅片的尺寸 和対处线等外观参败：微投紋检沁權块用来檢测硅片的内部微裂镀；另什还有两 个检测模组，其中一个在线测试模组主要测试珪片丼电阻率和硅片类型，另一个 穰块用于检期硅片的少子WUJo在进行少子腭命和範阻率越测之m 器整先対硅 片

2、的对角线、微裂纹进行檢測，并自动剔除破损硅片。硅片检测设备能够自动装 U和卸片并且能够将不合格&放到囚定位厦从而提高歧观精度和效率。二.表面制绒单品硅玻面的制各是利用建的各向异性廣蚀，在毎平方米確表面形成几百万个 四面方僚体也即金字塔结构由于入射光在表面的多次反射和折射，增加了光的 吸收 提高了电池的短路电流和转换效率。硅的各向异性扁蚀液迺常用热的班性 溶液 可用的反有氢気化钠氢氧化钾.氢氧化锂和乙二胺等.大多使用廉价的 浓度内为（的氧"化铁祥溶，夜来制各绒面雀Stia度为76859。为了获得均 勻的城曲还应在溶液中的it汐加IB矣知乙翡和弄丙BI番作为络合剂，以加快硅 的i

3、a住。制备嬪血闸硅片獗先进行初步表血鳶蚀 用緘性或酸性踐蚀液蚀去约 20 - 25pm .在01性绒直后 进行一般的化学鬲洗。经过畏面准各的硅片都不宜 在水中久存，以防沾污.应尽快护歌制结.三.扩散制结xFaue电池需夏一个穴面枳的pn结以冥现光能對电能的绞换，而!rat炉即为制 追怎阳牝电池PN給匪奇用备。晳式扩戡沪主旻由石奂舟的上下敦部力.£.炉体部分和r柜却分籌四大部分组戍。扩敵一飯用三“顼磧液态嫁作为扩散 琢.把P ffltt片放在式扩散炉的石英容内，在850-900»KK高遍下征用 籌气将三氯氧琪帝入石英容器，血过三««6S和1片进行反広得到说

4、原子。经 过一定时间砂原子从四周进入硅片的義面宗并且通过妄東子之间的空障向硅 片內部港透扩戰.形成了 N型半导体和P型半导体的交界面.也観 PN结。 这村方法制出的PN结均匀性好方块电阻的不均勻性小于白分N十少子序命可 穴于10ms.制适PN结是女阳电池生产最基本也是最关偎的工序。因为正是PN 结的形成才使电子和空穴在滾动后平再回到原处 这样款形成了电涼周导玻四、去磷硅玻璃该工艺用于氏阳能电池片生产制造过程中，通过化学觸蚀法也即把珪片放在氯俎 餓溶液中浸泡，使其产生化学反应生成可溶性的络和物六報硅酸，以去除扩戴制结后在硅片赛血形成的一层坝硅玻璃在扩散过程中 POCL3与02反应生成 P2O5淀

5、积在硅片教面。P2O5与Si反应又生成SiO2和頑原子.这样就在硅片衣 面形成一层含有确元素的SiO2称之为碳硅玻璃°去璘硅玻璃的设备一般由本 体、清洗AL伺服驱动系炕、机械脊.电气控制系统和自动配酸系统尊部分组咸， 主锲动力源有氢嫩酸、總r、压缩空r、純水，忍排风和股水。氢徽酸能够溶解 二氧化睚扉因为氧姐酸与二氧化畦反应生成易挥发的四氟化硅气休。若氧氛酸过 *,反应生成的四氟化硅仝进一步与氢齟酸反应生成可溶性的络和物六叛硅酸。五、等离子刻蚀由于在扩散过程中，即使采用背靠背扩散硅片的所有表面包括边缘都将不可避 兌地扩敞上碗，PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有璃的区域流 到

6、PN结的背面.而遣咸短路=> 因就.必须对太阳能电池罔边的樁杂廷进行刻悅, 以实除电池边塚的PN结©通常采用尊离子刻憶枝术完成这一工艺。尊戾子刻烛 是在低压状石下反应气体CF4的毎体分子在射频功率的激发下.产生电走并 形成等离子体。等葛子护是由带电的电子和离子组戒，反应腔体中的气体在电子 的撞击下，除了共变成戾子外，还能吸收能并形成大的活性Sc活性反应 基团由于扩散或者在电场作用下到达SQ2表血 在那里与被刻性材料表直发生 化学反应.并形咸挥发性的反应生咸物腔曳被刻蚀物质寒宜，被翼空糸貌抽出腔体。六. 傲减反射膜號光廷表直的反I：率为35%,为了疋少表面反射.提高电池的转换效率

7、.需要沉积一层氮化氐減反射1IL班在工必生户中常采用PECVD设备制备N反射膜。PLCVD即尊瘠子书强型化学r相沉税。它的技术艮湮是利用低温尊會子体作能 源.样品于低r质下辉光放电购明级上，利用解光威电使样品升沮到预定的 湿度，然后通入适的反虫气体SH4和NH3 , r体经一系列化学反应和尊离子 体反应.在样品表血形咸旨迅着狽讯氮化蛀滋膿。一般惜况下，使用这种等离子 増强型化学气相沉积前方法沉积的3KJS*度在70nm左右.这样厚度的5PS具也 光学的功能性。利用墓膜干法廉理,可以便光的反舉大为涯少，电池的煖路电流 和输岀酬有很大増加.效率也有相当的提禹。七. 丝网印刷太阳电池经过制绒、扩散及

8、PECVD弩工序后.已0制成PN结，可以在光照下 产生电流为了将产生的电流导出，爲要在电池農面上制作正、负两个电极.制 造电扱的方法很多而丝网印刷是目前制作玄阳电池电极最普逼的一种生产工 艺。丝网印削是采用压印的方式将预定的图形印刷在粧板上，该设备由电池背面 银铝浆印剧、电池背面铝浆印刷和电池正面银浆印刷三部分组成。其工作原理为. 利用丝网图形部分网乳透过浆料，用刮刀在丝网的浆料部位施加一定压力，同时 朝丝网另一第移动。油凰在移动中被刮刀从图形部分的网孔中挤压到扛片上。由 于浆料的粘性作用使E卩迹固事在一定姮国内印剧中刮板始终与丝网E卩版和基片 呈线性接触，接触蝮随刮刀移动而移动，从而完成印剧

9、行程八、快速烧结经过丝网卬刷后的硅片不能直接使用，需经饶结炉快速烧结，将有机树脂粘合 剤燃烧掉.剩下几乎疑耘的、由于玻璃质作用而密合在硅片上的银电极。当银电 极和晶体硅在温度达到共晶温度时.晶体硅原子以一定的比例融入到熔融的银电 极材料中去，从而形成上下电扱的欧娼接址电池片的开路电压和填充因子 两个关傅勢数.便其具有电阻待性，以提离电池片的转决飲率。烧给炉分为预烧 结、烧结、降温冷却三个阶段。预規结阶段目的炮使浆料中的高分子粘合刑分解、 燃疑律，此阶段温度慢慢上升：坯结阶段中疑结体内完成各种物理化学反应，形 成电阻膜结构，使其真正貝育电阻倚性，该阶段温度达到峰值 降温冷却阶段, 敬诵冷却磴化并鬲固使申，阴膜结构固定地粘附于基片上。九、外围设备在电池斤丈产过程中，注需史供电、动力、给水、撫水、暖通、真空、特汽尊外 围设施:.消防和环保设备对于保证安全利舟续炭展也显得尤为重芸，一条年产 50MW能力的人阳能电池片生产绞.仅工艺和常力设备用电功率就在1800KW 左右。工艺鈍水的用量在毎小时15吨左右，水质要求达到中国电子级水 GB<T11446.1-1997中ESM级技术标准。工艺冷却水用也在每小时15吨左右， 水质中徵