铸锭炉保养指导书REV.01

1、 普通作业指导书铸锭炉保养指导书DOC.文件号： REV.版本号：EI-I-0006 01Reason(s) for Update更新原因：修正、补充部 门ORIGINATOR编 制REVIEWER审 核APPROVAL批 准PAGE.页: 1 OF 7签 名日 期一、目的：规范铸锭炉的保养检修作业，以确保铸锭炉得到应有的保养检修，使该类设备在生产中安全正常运行。二、范围：本操作指导书适用于所有多晶铸锭炉。三、定义：无四、保养要求如下表：做任何检查前应首先确认有无触电、撞伤、夹伤、烫伤等各种危险，特别是在电源端子，真空泵、风机等处；必要时停止设备运行，甚至关闭水、电、气开关、阀门等做必要的安全

2、防护措施。以下所有保养项目均由维修技术员执行，并记入DSS炉月季年保养记录。保养类型保养项目保养方法月保养1.下腔提升系统维护1. 丝杠系统加润滑油。用黄油枪从加油口加黄油，每个丝杠加黄油约7克.2检查每个刹车，确保摩擦材料无磨损和松弛。抓住连接轴并试着用手转动，应该不动。检查所有的连接螺丝是否紧固。2.冷却水流量计清洁及放出进水出水铜总管底部沉淀杂物1. 先关闭供水阀,再关闭对应回水阀。在维护炉腔的任一流量计时，要确保其他流入炉腔的水是关闭的（流入炉腔的不同水路之间可能没有封死）；2. 折弯捏住要清洁流量计的红色水管；3. 移开流量计的塑料盖。用一个的内六角套筒反时针旋转塑料盖中心六方柱大约

3、30度以移开塑料盖；4. 拆下叶轮、陶瓷轴和垫片。检查其是否完好并用干净的白洁布清除上述零件上的沉积物；5. 拆下盖子上的O型圈进行检查是否完好，若完好则进行清洁；若O型圈已损坏，则更换。装回O型圈前，先给其表面抹少许真空油，再将它装在盖子上或流量计腔室中；6. 清除流量计腔室中的沉积物,检查腐蚀情况及内部结构；7. 将陶瓷轴装在轴孔上；8. 装上叶轮,任一面朝里都可以；9. 将盖子装在流量计上：将盖子边缘突起部分与腔室中的对应狭槽的位置对好； 普通作业指导书铸锭炉保养指导书DOC.文件号： REV.版本号：EI-I-0006 01Reason(s) for Update更新原因：修正、补充部

4、 门ORIGINATOR编 制REVIEWER审 核APPROVAL批 准PAGE.页: 2 OF 7签 名日 期保养类型保养项目保养方法月保养10. 用双手平稳地按压盖子使其突起部分少许插入流量计腔室的狭槽中并使盖子的孔与陶瓷轴配合好，然后用内六角套筒顺时针旋转盖子约30度以锁定；11. 松开红色回水管；12. 清洁完所有流量计后，缓慢打开进水出水铜管底部球阀，使沉淀杂物排出，直至排出的水干净无杂物。13. 要恢复水流至正常工作状态时，一定要缓慢开启各球阀，以免水流压力冲击给水路造成损坏；关球阀时也要缓慢。14. 检查各流量计是否有泄漏。若有泄漏，可能是盖子不紧，将盖子紧到位。若还不能解决泄

5、漏，则卸掉盖子清洁重装再看结果。15. 检查冷却水管、接头部分是否有渗漏。3.热区检查1.用手拧动检查加热器上螺母是否有松动，若有松动则用手拧紧。2. 验证绝缘性：a)用万用表检查加热器与隔热笼顶部隔热板及隔热笼侧壁是否绝缘，测得电阻必须在1000欧以上，否则予以维修处理（清理绝缘陶瓷片和绝缘陶瓷套上的石墨灰尘）；b)用万用表检查加热器与上炉腔是否绝缘测得电阻必须在1000欧以上（清理绝缘陶瓷片和绝缘陶瓷套上的石墨灰尘）。3.用水平尺检查隔热笼是否水平以及位置是否正确，否则调整。4检查DS-BLOCK上氧化锆管的完好性，如果有断、裂则予以更换。5检查DS-BLOCK上热电偶在“手动屏

6、幕”上的显示读数：当炉腔完全冷却时，读数应当接近室温（20-30°C）。4.MFC检查及校正1回到Manual screen,抽真空到600mbar左右；2从V/G框中选G，从In/Outlet框中选Outlet，并将Inlet%设定到20，压力设定在600，V2和V3必须是开（按扭显示绿色）；3从MFC测量出的反馈值应该快速停留在19-21%（20%±1%）；4如果反馈值不正确，确保氩气压力在1.5-2.5mbar，然后按照MFC制造商手册中控制阀机械调零程序进行调整。如果反馈值读数还不正确，则须换MFC或发外校正。 普通作业指导书DSS铸锭炉保养指导书DOC.文件号：

7、REV.版本号：EI-I-0006 01Reason(s) for Update更新原因：修正、补充部 门ORIGINATOR编 制REVIEWER审 核APPROVAL批 准PAGE.页: 3 OF 7签 名日 期保养类型保养项目保养方法月保养5.Herion 阀工作状况检查1. 按照“MFC检查及校正”中的第1第2步建立各参数，在“Overview screen”的“Gas out”框中观察Outlet 信号，它应该在50%到60%之间，压力应该控制在600±1mbar范围内；2. 将Inlet的值变成30%，等压力稳定后（约2分钟），Outlet的值必须围绕一个比第一步更高的值

8、变动，同时压力还须控制在600±1mbar范围内；3. 将Inlet的值变成10%，过约2分钟后等压力稳定后，Outlet的值必须围绕一个比第一步更低的值变动，同时压力还须控制在600±1mbar范围内；4. 如果Herion 阀不能按照上述方式执行并控制压力，先检查Outlet的PID值是否正确。如果PID值正常，则按照季保养中的“Herion阀清洁”所述的方法清洁阀。如果还不能解决问题，则换阀体和/或阀的放大器。6.控制柜及电源柜和相关配件检查、试验1. 风扇检查。所有的若不正常则更换，若正常则断电进行清洁（在不拆卸零部件的情况下）。还须拆下电气控制柜上风扇滤网进行清洁

9、。必要时用吸尘器对电气部件上的灰尘进行清洁。2. 打开空气控制盒子，慢慢调小调节器的压力直到报警被激活PS1000空气检测器上的红色LED将熄灭。报警在压力50-55psi时将被激活，若不是这样，则调节PS1000开关上的红色螺丝直到正常。确认在临界点附近升降压力时工作正常，再将压力调节到65-68psi（不要超过70psi）；GENERAL WI 普通作业指导书铸锭炉保养指导书DOC.文件号： REV.版本号：EI-I-0006 01Reason(s) for Update更新原因：修正、补充部 门ORIGINATOR编 制REVIEWER审 核APPROVAL批 准PAGE.页: 4 OF

10、 7签 名日 期保养类型保养项目保养方法月保养4. 检查UPS的LED的显示。检查顶部和底部的LED的Line和INV.应亮并稳定，Bat和Load各至少有一个亮，若有其它灯亮或者上述的灯不亮，参考制造商手册；7.真空泵异常音异常震动检查泵的固定螺丝螺母有没松动，吸气管道有没松动，阀门有没松动8.机械泵上油雾分离器压力检查拆开油雾分离器排气管，让机械泵正常运转，检查排出的雾是否看得见。正常应该是看不见的。如果看得见，则说明滤芯破损（如果压力表读数是0.5PSI以下，则说明是滤芯破损）或滤芯安装不正确，则进行对应处理；9.真空泵油标线和系统检查检查机械泵的玻璃视窗口的油标线，油标线应位于视窗口的

11、1/3与2/3之间；罗茨泵的油标线应保持在凹陷区域范围内。GENERAL WI 普通作业指导书铸锭炉保养指导书DOC.文件号： REV.版本号：EI-I-0006 01Reason(s) for Update更新原因：修正、补充部 门ORIGINATOR编 制REVIEWER审 核APPROVAL批 准PAGE.页: 5 OF 7签 名日 期保养类型保养项目保养方法季度保养1.真空计校正-粗真空计校正注意：在做任何真空计的调节前必须保证给真空计通电至少30分钟。粗真空计校正：a) 为调节粗真空计的零点，炉膛压力必须在0.1毫巴以下。打开大流量真空阀门（V1）并启动真空泵抽真空使炉腔压力降至0.

12、1毫巴以下。在“Manual screen”点击 “Maint screen”,输入密码则出现“MAINTANCE SCREEN”对话框，粗细真空计的读数显示在该对话框中；b) 若屏幕显示的粗真空计的读数不为零，则调节位于粗真空计顶部的电位计（调节前必须确保该真空计已通电30分钟以上），直至显示的读数为0±0.5毫巴；c) 回到“Manual screen”，关闭V1阀，然后充氩气使炉腔压力达到大气压力。停留30秒以使压力稳定，然后检查“Maint screen”上粗真空计的大致读数为980±10毫巴；d) 若气压读数超出偏差范围，则反时针旋转粗真空计顶部的红色环形盖子以使

13、分压计（左手边）露出来。调节该分压计直至达到上述压力范围。最后装好红色环形盖子。2.Herion阀清洁1. 确保炉腔及真空管路在大气压下并且两个泵都是关闭的。Herion阀位于机器的后面V1阀的上边；2. 用螺丝刀松开螺丝继而卸掉放大器的插头；3. 卸掉夹持器，卸下阀。小心不要掉了密封圈；4. 松开但不卸掉阀端面盖板上的四个内六方螺丝；5. 用一只手压住盖板从而压住弹簧，另一只手卸下四个螺丝；6. 小心的松开盖板，露出弹簧和O型圈；7. 取出里边所有的部件：弹簧O型圈和阀芯；然后再松开电磁铁一端的四个螺丝，取出铜导套和O型圈；8. 用洁净布或纸蘸酒精去除阀体内积尘；9. 用洁净布或纸蘸酒精对上

14、述取出的所有零件进行清洁；10.  把阀芯插入阀体（尖部在前）；11.  插上弹簧，并把O型圈放入槽中；12.  小心地压上盖板，并对准螺丝孔，插上螺丝，均匀的上紧螺丝；13.  将电磁阀一端的铜套和O型圈正确装配，并拧紧螺丝；14.  把Herion阀装回真空管路上，保证连接处的密封圈清洁，拧紧加紧器；15.  把阀的放大器连接上并检查阀的运作。GENERAL WI 普通作业指导书铸锭炉保养指导书OC.文件号： REV.版本号：EI-I-0006 01Reason(s) for Update更新原因：修正、补充部 门ORIGINAT

15、OR编 制REVIEWER审 核APPROVAL批 准PAGE.页: 6 OF 7签 名日 期保养类型保养项目保养方法半年保养1.机械泵换油1放油：运行泵直到油温达到正常运转时温度（63-75°C），确认炉腔内压力在980mbar左右，且V1阀关闭，停止泵运转，关闭机械泵断路器以保安全。将容器放在油箱的放油阀下，打开阀，直到油放完，可以转一下泵把泵里边残留的油放干净，关阀。2. 加油：对于真空泵：加油确保O型圈是完好后把注油口盖拧紧；然后给上注油口加油直到油标线到达视窗的2/3处，再拧紧上注油口油塞。3确保真空隔离阀（V1）是关闭的，启动泵。观察游标线，一两分钟后关泵，并从上注油孔加

16、油到油标线到达视窗中间。 2.罗茨泵换油1关泵并关闭断路器以保安全。2用低而小的油盆放在泵的两端放油口下，卸下磁性油塞放油，放完油后，拧紧油塞。3卸下两个注油塞，给每个注油孔中加半夸脱油，确保游标线接近凹槽上线，需要时再加油。4拧紧油塞，开机械泵，约20分钟后设定真空模式为V，等待压力达到50mbar以下时加强泵开启。5在加强泵运转几分钟后，检查游标线。如果游标线变化很大，停止泵运转，加油或放油。3连轴器 橡胶块气镇功能检查1检查时发现破损请立即跟换，两个带轮的定位及与轴连接的紧密情况，再检查带的磨损情况，若磨损严重，则换带；2.使用气镇功能时，会发生灰尘等阻塞气镇孔上装的针阀，以及泵内气体通路的情况。GENERAL WI 普通作