激光干涉仪原理及应用

1、 SJ6000激光干涉仪激光干涉仪概述SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(510分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组可以测量出线性、角度、直线度、平面度和垂直度等几何量，并且可以进行动态分析。 SJ6000激光干涉仪SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对

2、直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率， SJ6000激光干涉仪为机床误差修正提供依据。激光干涉仪性能特点1.测量精度高、速度快，稳定性好使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度分离式干涉镜设计，避

3、免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变2.应用范围广可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析3.软件界面友好使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。 SJ6000激光干涉仪向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。4性价比高性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。激光干涉仪原理一个角锥反射镜紧紧固定在分光镜上，形成固定长度参考光束。另一个角锥反射镜相对于

4、分光镜移动，形成变化长度测量光束。从激光头射出的激光光束(1)具有单一频率，标称波长为0.633µm，长期波长稳定性（真空中）优于0.05ppm。当此光束到达偏振分光镜时，被分成两束光反射光束(2)和透射光束(3)。这两束光被传送到各自的角锥反射镜中，然后反射回分光镜中，在嵌于激光头中的探测器中形成干涉光束。如果两光程差不变化，探测器将在相长干涉和相消干涉的两端之间的某个位置观察到一个稳定的信号。如果两光程差发生变化，每次光路变化时探测器都能观察到相长干涉和相消干涉两端之间的信号变化。这些变化（条纹）被数出来，用于计算两光程差的变化。测量的长度等于条纹数乘以激光波长的一半。应当注意到

5、，激光波长将取决于光束经过的空气的折射率。由于 SJ6000激光干涉仪空气折射率会随着气温、压力和相对湿度的变化而变化，用于计算测量值的波长值可能需要对这些环境参数的变化进行补偿。在实践中，对于技术指标中的测量精度，只有线性位移（定位精度）测量需要进行此类补偿，在这种情况下两束光的光程差变化可能非常大。激光干涉仪应用1、在数控机床检定中的应用SJ6000激光干涉仪可用于精密机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度的测量，为机床误差修正提供依据。软件内置 10项常用机床检验标准。使用激光干涉仪检测机床各项误差并进行修正是传统测量手段难以实现的技术，是大幅度提高数控机床的加工精度的关键措施。 SJ

6、6000激光干涉仪数控机床轴定位精度、重复定位精度的检测2、在三坐标检测中的应用SJ6000激光干涉仪搭配其镜组和辅件可检测三坐标测量机的位移精度、直线度、垂直度。随着当代制造业对加工速度的要求提升，三坐标测量机各结构件由于高速运行产生机构变形，导致的动态误差不可忽略。使用激光干涉仪对三坐标测量机进行静态误差、动态误差测量和补偿，对提升测量精度具有重要意义。三坐标线性精度、垂直度的检测3、在位移传感器中的应用 SJ6000激光干涉仪利用激光干涉仪对位移传感器检定成为发展趋势，其特点是反应速度快、测量精度高，是位移传感器实现高精度校准的重要手段。传感器线性精度的测量4、与其他镜组配合的应用SJ6000激光干涉仪与不同光学组件结合，可以实现距离、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等参数的测量，具有极高的精度和效率。测长机线性精度、垂直度