太阳能电池片生产工艺流程ppt课件

1、四、消费工艺引见四、消费工艺引见晶体硅太阳能电池工艺流程如下：晶体硅太阳能电池工艺流程如下：消费工艺消费工艺-清洗和外表腐蚀清洗和外表腐蚀消费工艺消费工艺-制绒制绒外表绒面化外表绒面化 由于硅片用P型100硅片，可利用氢氧化钠溶液对单晶硅片进展各向异性腐蚀的特点来制备绒面。当各向异性因子10时所谓各向异性因子就是100面与111面单晶硅腐蚀速率之比，可以得到整齐均匀的金字塔形的角锥体组成的绒面。绒面具有受光面积大，反射率低的特点。可提高单晶硅太阳电池的短路电流，从而提高太阳电池的光电转换效率。 金字塔形角锥体的外表积金字塔形角锥体的外表积S0S0等于等于四个边长为四个边长为a a正三角形正三角

2、形S S之和之和 由此可见有绒面的受光面积比光由此可见有绒面的受光面积比光面提高了倍即面提高了倍即1.7321.732倍。倍。20a3a23a214S绒面受光面积绒面受光面积 当一束强度为当一束强度为E0E0的光投射到图中的的光投射到图中的A A点，产生反射光点，产生反射光11和进入硅中的折射光和进入硅中的折射光22。反射光。反射光11可以继续投射到另一可以继续投射到另一方锥的方锥的B B点，产生二次反射光点，产生二次反射光33和进入半导体的折射光和进入半导体的折射光44；而对光面电池就不产生这第二次的入射。经计算可知还有而对光面电池就不产生这第二次的入射。经计算可知还有11%11%的二次反射

3、光能够进展第三次反射和折射，由此可算得的二次反射光能够进展第三次反射和折射，由此可算得绒面的反射率为绒面的反射率为9.04%9.04%。绒面反射率绒面反射率消费工艺消费工艺-分散分散消费工艺消费工艺-外表成膜外表成膜等离子化学气相堆积(PEVCD) PEVCD被运用来在硅片上堆积氮化硅资料，是在被运用来在硅片上堆积氮化硅资料，是在300-900的温度下经过化学反响产生的温度下经过化学反响产生Si3N4的过的过程。典型的化学反响为：程。典型的化学反响为： SiH4 + NH3 Si3N4 + NH3 + N2 多晶硅太阳电池广泛运用多晶硅太阳电池广泛运用PECVD淀积淀积SiN ,由于由于PEC

4、VD淀积淀积SiN时时,不光是生长不光是生长SiN作为减反射膜作为减反射膜,同时生成了大量的原子氢同时生成了大量的原子氢,这些氢原子能对多晶硅这些氢原子能对多晶硅片具有外表钝化和体钝化的双重作用片具有外表钝化和体钝化的双重作用,可用于大批可用于大批量消费高效多晶硅太阳电池量消费高效多晶硅太阳电池,为上世纪末多晶硅太为上世纪末多晶硅太阳电池的产量超越单晶硅太阳电池立下汗马功绩阳电池的产量超越单晶硅太阳电池立下汗马功绩。随着。随着PECVD在多晶硅太阳电池胜利在多晶硅太阳电池胜利,引起人们引起人们将将PECVD用于单晶硅太阳电池作外表钝化的愿望用于单晶硅太阳电池作外表钝化的愿望。 消费工艺消费工艺

5、-制备电极制备电极1 1消费工艺消费工艺-制背电极制背电极2 2消费工艺消费工艺-背外表钝化背外表钝化五、消费设备五、消费设备清洗设备清洗设备消费设备消费设备分散炉分散炉消费设备消费设备刻蚀刻蚀消费设备消费设备PECVDPECVD消费设备消费设备测试仪测试仪消费设备消费设备烘干炉烘干炉消费设备消费设备快烧炉快烧炉五、消费环境及其它五、消费环境及其它太阳能电池消费最主要的资料是单晶硅片或多晶硅片。 其它辅料包括: 化学液 NaOH 、IPA、乙醇、铭酸、HF 特气CF4、SiH4、NH3 大宗气体CDA、N2、O2 水PCW、DI单晶硅的制绒工艺：是经过NaOH和乙醇反响，在硅片上构成减反织构，加强电池对光线的吸收才干。多晶硅的制绒工艺：是参与铬酸和氢氟酸，利用铬酸的强氧化性将