X-RAY膜厚仪操作标准书

1、文件编号Q/MS-012版本A/0制作日期2004-9-8表：1/1DPEC设备操作标准书X-RAY膜厚仪操作标准书制作审核批准大连太平洋电子有限公司制作部门品质保证部文件名称X-RAY膜厚仪操作标准书文件编号Q/MS-012版本A/0改：1/1文 件 更 改 履 历版本A/0作成年月日2004-9-8初版发行更改内容文件名称X-RAY膜厚仪操作标准书文件编号Q/MS-012版本A/0目：1/1目 录1. 适用范围 7-12. X-RAY膜厚仪的作用 7-13. 膜厚仪的开机操作 7-14. 测试步骤 7-15. 测量调校标准片 7-26. 调校 7-37. 建立新的产品程式 7-38. 删除

2、记忆块 7-49. XYZ-自动测量 7-410. 关闭仪器 7-511. 仪器常见故障分析及处理 7-5文件名称X-RAY膜厚仪操作标准书文件编号Q/MS-012版本A/0页：1/71. 适用范围适用于德国生产的型号为XDVM-T7.1-W的XRAY膜厚仪的操作。2. X-RAY膜厚仪的作用利用XRAY，测量印制板表面涂镀层厚度和合金材料组分含量分析3. 膜厚仪的开机操作3.1 打开XRAY膜厚仪后部的电源开关，让仪器进行自运转3.2 打开计算机3.3 打开文件FTM后出现“WinFTM”窗口3.4 点击确定后进入测量模式3.5 点击光谱图标进入光谱子程序3.6 点击测量按钮，进行不间断测量

3、，预热30分钟左右3.7 点击退出按钮，退回测量模式4. 测试步骤4.1 产品程式的选择4.1.1 点击左侧的选择按钮，选出所需的产品程式4.2 基准测量4.2.1 将银铜标准片放在载物台上，并将光点对准标准片4.2.2 用亮度调节按钮调好光亮度，按自动对焦按钮进行对焦4.2.3 点击菜单中的“一般（G）”选择其中的“测量基准（R）”4.2.4 当出现一个“测量基准”的对话框后，点击“开始测量基准（S）”4.2.5 出现“放入铜元素”的对话框后，用操纵杆将光点对准铜标准上文件名称X-RAY膜厚仪操作标准书文件编号Q/MS-012版本A/0页：2/74.2.6 点击对话框中“确定”，仪器开始测量

4、铜标准4.2.7 铜标准测量完毕后，出现“基准测量确定,接受？”的对话框，点击“确定”后仪器进入测量状态4.2.8 选择合适的标准片重复测量五次，如果平均值X1与Xvp（标样的公称值）之差大于标准偏差S的四倍，这时应该进行归一化操作，归一后再做一次调校检验测量，如果仍超过四倍S，建议调校仪器4.3 对产品进行测量4.3.1 将样品放在载物台上，将光点对准待测点4.3.2 点击右侧“资料（I）”选项，出现一个对话框，在此对话框内可进行测量时间、单位、显示分辨度等设置4.3.3 点击确定后，再点击“测量”按钮或按下控制台上的“START”健，仪器开始测量并显示测量结果4.4 中止测量按测量台控制面

5、板上的“STOP”健或按键盘上的“ESC”键或选择窗口“测量中”的停止按钮4.5 删除错误测量结果选择菜单“结果计算”中“删除测量读数”或点击窗口中“DEL”按钮来进行删除5. 测量调校标准片5.1 “产品程式”中的“测量调校标准片”5.2 将标准片放入载物台上，将光点对准待测点5.3 点击自动对焦图标后，点击“测量”按钮开始测量5.4 重复5.25.3步骤测量其他标准片的测量5.5 完成测量后再次选择“ 产品程式”中的“测量调校标准片”返回实际样品应用程序文件名称X-RAY膜厚仪操作标准书文件编号Q/MS-012版本A/0页：3/76. 调校6.1 选择菜单“调校”中的“调校”6.2 按照提

6、示测量底材标准片6.3 测量完成后点击对话框中的“确定”后按照提示进入下一个标准片的测量6.4 点击“START”按钮测量三次后，按照提示进入下一个标准片的测量6.5 完成标准片的测量后，出现“输入调校标准”的对话框，点击“确定”后调校完成7. 建立新的产品程式7.1 进入“我的电脑”中的“D：Def。MA/Readme”中记下所需的产品编号7.2 选择 “产品程式”中的“复制文件由/到”7.3 出现对话框后点击“文件Def。MA”7.4 再点击“选择”按钮，出现新的对话框“选择文件”7.5 输入所选的产品编号，并点击“选择”按钮7.6 再点击“开始复制”7.7 出现“成功复制Def。MA”的

7、对话框后，点击“确定”7.8 关闭对话框后选择“产品程式”中的“开启新”7.9 点击弹出的“选择应用程式”中的“开启新”，再双击所选的应用程序7.10 出现“输入应用程式名称”的对话框后点击“确定”7.11 在出现对话框“选择准直器及测量距离”中，选择适当的准直器与测量距离后点击“确定”7.12 在对话框“输入调校标准”中点击“输入/改写”按钮，输入标准片得值（底材元素选无穷大）再点击“确定”7.13 按照提示测量各标准片（每个标准片做三次不同位置的文件名称X-RAY膜厚仪操作标准书文件编号Q/MS-012版本A/0页：4/7测量）7.14 测量完毕后，观察对话框内的更正厚度是否与输入值相同，

8、如果一致则点击“确定”7.15 出现对话框“选择应用程式”后，点击“确定”7.16 出现对话框“建立新产品程式”后，再点击“确定”，仪器进入该产品程式的测量状态8. 删除记忆块8.1 删除产品程式8.1.1 选择“产品程式”中“删除”后出现对话框“删除产品程式”8.1.2 选中所需的产品程式名称8.1.3 点击“删除”后，出现“注意：产品程式将会被删除”的信息，点击“是”，（该产品程式正在使用则不能被删除）8.2 删除数据组8.2.1 选择菜单“结果计算”中“单一数据组结果计算”8.2.2 在数据组编号中选择所要删除的数据组号码8.2.3 点击“删除数据组”，被删除的数据将被“-”代替，如果要

9、恢复则选择“结果计算”中“恢复被删除读数”即可恢复，但最后一个被删读数不能被恢复9. XYZ自动测量9.1 选择菜单“XY（Z）轴”中的“编辑坐标位置”9.2 将十字中心对准待测位置后，点击“STORE”按钮，反复次操作直至编辑完所要测量的几点为止9.3 点击右上侧的储存及离开按钮，退回测量状态9.4 点击“自动”按钮，仪器将对所设定的几个点自动测量文件名称X-RAY膜厚仪操作标准书文件编号Q/MS-012版本A/0页：5/710. 关闭仪器10.1 闭测量应用窗口，退出WinFTM®软件10.2 关闭测量台旁边的双稳开关关掉XRAY仪器10.3 关闭计算机、显示器、和打印机11.

10、仪器常见故障分析及处理故障可能原因显示器无显示屏幕保护显示器没有打开计算机没有打开电源管理功能激活视频显示没有聚焦调焦不正确分析方法移动鼠标（取消屏幕保护）打开显示器打开计算机中断电源管理功能转动聚焦把手直到测试区在屏幕上聚焦为止视频显示模糊不清样品照明灯没有打开打开样品照明灯正确放置样品X-RAY与WinFTM®软件进行联线更换视频线关闭X_RAY仪器, 关闭WinFTM®软件后重新开启视频窗口无样品显示样品放置不当X-RAY与WinFTM®软件联线中断视频线损坏软件出错<<CONTROL>>灯闪烁测量门没有完全关上关上测量门安全互锁系统

11、故障（如果测量门通知Fischer公司完全闭合，<<CONTROL>>仍闪烁不停）按动开关打开仪器时仪器没有连到电源上电源插座开关关闭保险丝熔断关闭仪器,把电源插头插入插座打开电源插座开关确定熔断原因,处理故障后更换保险丝测量数据错误选择的产品程式与样品不符选择或设定样品的正确产品程式文件名称X-RAY膜厚仪操作标准书文件编号Q/MS-012版本A/0页：6/7故障菜单或菜单条没有在菜单栏中出现可能原因归一化或调校错误处于短目录状态分析方法正确归一化或调校选择菜单”一般-全目录”，切换到全目录(需要密码)关闭仪器,把FISIM X601或X602插入计算机的LPT1或L

12、PT2端口,打开仪器, 重新启动WinFTM 软件编辑Def.MA文件的 WinFTM®软件的超级功能没有激菜单选项灰色显示,不能被选择活(FISIM没有插入计算机的LPT1或LPT2端口)测量开始后,显示有基准测量错误许多频谱文件的”打开”窗口,没有显示测量数据没有进行基准测量X-RAY与WinFTM®联线中断X-RAY与计算机的联线中断进行基准测量进行基准测量X-RAY与WinFTM®进行联线X-RAY与WinFTM®进行联线关掉仪器,检查接线后再打开仪器把X-RAY连到计算机上在频谱子程序中，X-RAY没有正确连到计算机上测量开始后没有显示频谱，而是显示X-RAY没有连到计算机上“错误：高压未准备好！”的提示WinFTM®软件与X-RAY的联线中断XY平台不能移动装机过程错误连接电缆或接口故障XY平台已移到最上(下,右或左)保险装置约束,即测量平台被外部物体阻挡正确装机解决连接电缆和接口故障朝相反方向移动XY平台除去障碍物评估测量范围的菜WinFTM®软件的超级功能没有激单条选项灰色显示,活(FISIM没有插入计算机的不能被选择编辑列印范本的菜LPT1或LPT2端口)关闭仪器,把FISIM X601或X602插入计算机的LPT1或LPT2端口,打开仪