常用真空单位换算表

1、常用真空单位换算表帕Pa托Torr微米汞柱mHg毫巴mbar大气压atm工程大气压am1 Pa17。51037。51029。869231061。01971051 Torr133。3211031.33321.315791031.359510-31 mHg0.1333210311。33321031。3157910-61.35951061 mbar1027.51017.510219。869231041.019710-31标准大气压=760毫米汞柱=76厘米汞柱=1。013105帕斯卡=10。336米水柱公斤不是单位，一般我们通常说的，事实上是一种非标准单位，名称叫：公斤力/平方厘米Kgf/cm21标

2、准大气压=0.1MPa兆帕=101KPa=千帕左右=1bar巴=760mmHg(毫米汞柱)=14.696磅/英寸2（psi)1工程大气压1Kgf/cm2千克力/平方厘米 千克:是质量单位， 千克力:是作用在单位体积上一千克的力 一个标准大气压一般约等于101千帕即0。1兆帕,约等于一工程大气压约等于一千克力每平方厘米 工程大气压是比标准大气压小一点的 1物理大气压1标准大气压（atm） 为什么会多一个工程大气压我也不清楚 但是工程大气压通常按千克力等，用一种质量作用力对单位面积获得的压强. 而标准大气压（atm）则为标准的大气压强,比工程大气压精确，但他们是约等于的。没必要那么精确，除非你是在

3、某些特定领域使用饱和水蒸汽的压力与温度的关系 ( 摘自 范仲元: ”水和水蒸气热力性质图表 p410 ）温度水蒸气压力 MPa相应真空度 MPa220.002640。09869240。002980。09835260。003360。09797280。003780。09755300。004240。09709320。004750。09658340.005320。09601360.005940.09539380.006620。09471400。007380.09395温度水蒸气压力 MPa相应真空度 MPa420。008200。09313440。009100。09223460。010090。09124

4、480。011160。09017500.012340。08899520。013610.08772540。015000.08633560.016510。08482580。018150。08318600.019920。08141温度水蒸气压力 MPa相应真空度 MPa620。021840。07949640.023910.07742660。026150。07518680。028560。07277700.031160。07017720。033960。06737740.036960.06437760.040190.06114780。043650。05768800。047360.05397温度水蒸气压力

5、MPa相应真空度 MPa820。051330.05000840。055570。04576860.060110。04122880.064950。03638900.070110。03122920。075610。02572940。081460.0198796 0.08769 0。01364 980。094300。007031000。101330温度水蒸气压力 MPa1020。108781040。116681060。125041080.133901100。143271120。153161140。163621160。174651180。186281200。19854温度水蒸气压力 MPa1220。211

6、451240。225041260。239331280。254351300。270131320。278311340。304071360。322291380。341381400。36138真空计算常用公式1、玻义尔定律 体积V，压强P,PV常数（一定质量的气体，当温度不变时，气体的压强与气体的体积成反比。即P1/P2V2/V1）2、盖吕萨克定律 当压强P不变时，一定质量的气体，其体积V与绝对温度T成正比：（V1/V2T1/T2常数） 当压强不变时，一定质量的气体，温度每升高（或P降低）1,则它的体积比原来增加（或缩小）1/273。3、查理定律 当气体的体积V保持不变,一定质量的气体,压强P与其他绝

7、对温度T成正比，即:P1/P2T1/T2 在一定的体积下,一定质量的气体，温度每升高（或降低)1,它的压强比原来增加(或减少）1/273.4、平均自由程： （510-3)/P (cm）5、抽速： Sdv/dt （升/秒)或 SQ/P Q流量（托升/秒） P压强（托)V体积（升) t时间（秒）6、通导: CQ/（P2P1） （升/秒）7、真空抽气时间: 对于从大气压到1托抽气时间计算式： t8V/S （经验公式） （V为体积，S为抽气速率,通常t在510分钟内选择。）8、维持泵选择： S维S前/109、扩散泵抽速估算: S3D2 （D直径cm）10、罗茨泵的前级抽速： S（0.10。2）S罗 （

8、l/s）11、漏率: Q漏V(P2P1)/（t2t1） Q漏系统漏率（mmHgl/s） V系统容积（l) P1真空泵停止时系统中压强(mmHg） P2真空室经过时间t后达到的压强（mmHg） t压强从P1升到P2经过的时间（s)12、粗抽泵的抽速选择： SQ1/P预 （l/s） S=2.3Vlg（Pa/P预）/t S机械泵有效抽速 Q1真空系统漏气率（托升/秒） P预需要达到的预真空度（托） V真空系统容积(升) t达到P预时所需要的时间 Pa大气压值（托)13、前级泵抽速选择： 排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等,它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于

9、临界值，选用的前级泵必须能将主泵的最大气体量排走,根据管路中，各截面流量恒等的原则有： PnSgPgS 或 SgPgs/Pn Sg前级泵的有效抽速（l/s） Pn主泵临界前级压强（最大排气压强)（l/s） Pg真空室最高工作压强(托） S主泵工作时在Pg时的有效抽速.(l/s）14、扩散泵抽速计算公式: SQ/P(Kn)/（Pt）（升/秒）式中：S被试泵的抽气速率(l/s） n滴管内油柱上升格数(格）t油柱上升n格所需要的时间(秒） P在泵口附近测得的压强(托）K滴管系数（托升/秒) KV0（L/n）（0/m)+PaVt 其中V0滴管和真空胶管的原始容积（升) L滴管刻度部分的长度（mm） n

10、滴管刻度部分的格数（格） 0油的比重(克/厘米3） m汞的比重（克/厘米3） Pa当地大气压强(托） Vt滴管的刻度上的一格的对应的容积（升/格）15、旋片真空泵的几何抽速计算公式： SZnLKv(D2d2)/（24104） (l/s） 式中:Z为旋片数，n为转速（转/分)，L为泵腔长度，D为泵腔直径,d为转子直径(cm)，Kv为容积利用系数（一般取95）。16、O型橡胶槽深B0.7D D为橡胶直径，槽宽C1。6B17、方形橡胶槽深B0.8A A为方形橡胶边长，槽宽C1。67B 选用真空泵时，需要注意下列事项: 1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求11

11、05mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5106mmHg.通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。 2、正确地选择真空泵的工作点.每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为103107mmHg,在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5104510-6mmHg.因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在108mmHg下长期工作.又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于110-5mmHg为好. 3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。 4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时

12、选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求.如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用. 5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。 6、了解被抽气体成分，气体中含不

13、含可凝蒸气，有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。 7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。 8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。 9、真空泵的价格、运转及维修费用。水环式真空泵的选择一、泵类型的确定泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定.泵工作时，需要注意以下两个方面:尽可能要求在高效区内，也就是在临界

14、真空度或临界排气压力的区域内运行. 应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行.在此区域内运行，不仅效率极低,而且工作很不稳定,易产生振动和噪音.对于真空度较高的真空泵而言,在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。 根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取.如果真空度或排气压力较高,单级泵往往不能满足,或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在710mmHg以上，可选用水环大气泵或水环罗茨真空机组作为抽真空装置

15、。如果只作真空泵用,则选用单作用泵比较好.因为单作用泵的构造简单，容易制造和维护，且在高真空情况下抗汽蚀性好。如果仅作较大气量的压缩机使用,则选用双作用的泵比较合适。因为双作用泵的气量大，体积小，重量轻，径向力能得到自动平衡，轴不容易产生疲劳断裂，泵的使用寿命较长.二、根据系统所需的气量选择真空泵初步选定了泵的类型之后,对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。关于真空泵的抽速选择及抽气时间计算可参照我公司网页。面对各种型式的水环式真空泵及压缩机，我们特将其各自特点收集如下，以利于用户选型代号主要特点极限真空度mmHg工作真空度mmHg抽速范围m3/min密封形式sk 国内设计单级水环

16、真空泵，结构简单、维修方便。目前国内主流的低真空水环式真空泵。-700-3006500。15120 盘根、机械密封2sk国内设计双级水环真空泵，相当于两台SK水环泵串联使用，比较单级水环泵具有真空度高及高真空下抽速较大的特点。目前国内主流水环式真空泵。-7353007001.530盘根、机械密封2BV采用西门子先进技术，机泵同轴，结构紧凑，效率高,真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列0。46m3/min抽速的水环真空泵。-7353007000.458.33机械密封2BE1采用西门子先进技术,效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列6120m3/min抽速的水环真空泵.735-640-300700300-6005400盘根、机械密封SZ50年代