电子枪扫描控制仪

1、CDNY-06BA电子枪扫描控制仪电子枪扫描控制仪 CDNY06BA 使 用 说 明成都南仪电子电气有限责任公司一、仪器简介： CDNY-06BA电子枪扫描控制仪（以下简称扫描仪）是我公司最新研制的专为电子枪配套的扫描控制电源。扫描仪巧妙的结合了模拟及数字电路，并具有RS232（或RS485）通讯接口，使之能与计算机实现通讯，对镀膜设备实现自动控制起到了不可缺少的作用。该控制仪的手操器是目前国内具有最先进技术的智能手操器，它通过串行总线I2C与主机相连接，运行可靠、安全。操作更加人性化，使得前一代仪器不可能达到的操作变为现实。该控制仪在人工控制模式下可以实现32点束斑位置记忆，并可对应选择实现

2、存储不同波形及不同频率。人性化设计的手操器按键使得操控扫描仪器变得轻松自如。二、主要性能及技术指标1、 输出合成波形：圆形环/面（X、Y均为正弦波）、方形环/面（X、Y均为梯形波）。随机方形面积（X、Y均为三角波）。2、 环形面积密度可选：1-20条环形圈数可选。3、 输出频率：0.1250 HZ 可设置。（ 1HZ以内步长为0.1HZ，1HZ以上步长1HZ）。4、 X上限报警电流：02.5A可设置。5、 X下限报警电流：02.5A可设置。6、 设置参数掉电保存时间：10年。7、 X直流偏移：02A 或02A可调。（根据电子枪选型而定）8、 X波幅电流：03A 可调。9、 Y直流偏移：02A或

3、01.5A可调。（根据电子枪选型而定）。10、 Y波幅电流：01.5A 可调。11、 X、Y输出特性：恒流。12、 静态功耗：40W。13、 仪器供电：AC 220V10% 50HZ（如超过此电压范围建议采用稳压电源）。三、智能手操器说明 通讯方式I2C 手操器共设8只按键；5只脉冲电位器；8只发光二极管；手操器内设有一只蜂鸣器，用于按键发音及电位器端点到位告警。手操器按键操作：所有输出状态控制均为宽度为500mS的负脉冲1、 高压键 A、 用于开启高压，在开启高压时应先按动高压键并使高压指示灯变成绿色否则不能打开高压且会听到两声告警音。B、 用于关闭高压，在高压开启的状态下（高压指示灯变成红

4、色）再次按动键即可关闭高压。为了安全，关闭高压不受键限制。注意：高压开启时的红色LED是检测外部PLC（可编程控制器）控制高压的时事动作状态，因此脱离到PLC的连线是看不到红色LED点亮的。2、 预开为了防止误开高压，特设此键用于控制高压开关。每当按动一次预开键且高压LED变成绿色时即允许开高压。当高压LED熄灭时则禁止开高压。3、 挡板的控制： 当右枪工作时每按键一下，右挡板改变一次动作。当左枪工作时每按键一下，左挡板改变一次动作。4、 坩埚转位： 当右枪工作时每按键一下，右坩埚（穴位）顺序转动一位。当左枪工作时每按键一下，左坩埚（环行）开始或停止转动。5、 边界键用于设置或解除X、Y电平及

5、幅度的最大调节范围。边界设置过程 ：边界设置是用于设置X、Y电平及幅度最大及最小调节范围。A、 按动边界按钮，启动边界设置功能。（边界LED闪烁）B、 每当当前电位器调节到位时：按坩锅/下限确认 键锁定下电平边界 按挡板/上限确认 键锁定上电平边界或幅值边界，锁定时发出滴滴两声报警，同时锁定LED随警声闪烁。注：允许记忆的边界有：X、Y电平最大值及最小值；X、Y幅度最大值。当再次按动边界按钮时退出边界设置。解除边界：调节一下需要解除边界的电位器，按住边界按键3S钟且听到告警时即可取消当前调节电位器的边界限制功能。按住边界按键7.5S钟取消所有电位器边界限制功能。6、 坩埚键用于控制坩埚的状态和

6、确认下边界：A、 当选择右枪工作时每按动此键一下，坩埚顺序转动一位。当选择左枪工作时每按此键一下，坩埚开始或停止转动。B、 设置下边界：当进入边界设置时此键为下边界确认键。7、 挡板键用于控制挡板的状态或确认上限边界及幅度边界A、 常态时为挡板开关控制键（循环工作模式）：当选择右枪工作时每按动此键一下， 右挡板改变一次动作。当选择左枪工作时每按此键一下，左挡板改变一次动作。B、 当进入边界设置时此键为上边界（最大调节点）确认及幅度边界确认键。8、 锁定键用于禁止或允许X、Y电平及幅度电位器的调节。9、 复位键（蒸发量）用于蒸发量调节快速归零。利用此功能可将电位器的调节值快速恢复到零点而不必将电

7、位器旋转回到零点。（点动有效）10、 F键（束斑位置记忆确认键）用于记忆当前坩埚位置的X、Y电平及幅值（当坩埚改变的同时调出其记忆，并继续接受手操器的调节）。注：为了防止误操作，只有在高压打开后F键才有效。按F键3秒钟记忆电平及幅度到当前坩埚（蜂鸣器发出两声）。在当前坩埚有记忆时，扫描控制仪上的束斑记忆灯点亮。取消束斑记忆在高压关闭时，按7。5秒F键取消当前位置的记忆。注：除高压、高压预开及蒸发量调节外其余状态均带记忆功能。四、电位器的调节1、 X、Y电平调节调节手操器上的X、Y偏移旋扭可对应改变X、Y方向的束斑位置。 每当电位器调节到端头时手操器会发出告警音。配合边界按键可设定X、Y偏移的最

8、小及最大调节范围。（调节分辨率0255点，对应02A）2、 X、Y幅度调节调节手操器上的X、Y幅度旋扭可对应改变X、Y的扫描大小。每当电位器调节到端头时手操器会发出告警音。配合边界按键可设定X、Y偏移的最大调节范围。（调节分辨率0255点，对应03A）3、 蒸发量调节在高压开启状态可通过蒸发量调节旋扭调节束流或阻蒸率功的大 小。可通过复位按键快速将蒸发量调节归零。（调节分辨率0255点，对应 0100）每当开机或关高压时复位到零。蒸发量调节在高压未开启时调节无效。五、状态指示灯：1、高压预开指示当按动高压预开键时高压灯变绿（或灭）。2、开高压指示当按动高压键时高压灯变红。3、开坩埚指示每按键一

9、次，坩埚灯亮0.5秒钟。4、左枪指示 左枪工作时点亮 5、右枪指示 右枪工作时点亮 6、边界指示 当电位器调节到限制点时边界灯闪烁。当进入边界设置时边界灯点亮。当设定边界有效时边界灯连续闪动两次。7、电位器禁动指示兼电位器高低端点告警指示。当前电位器调节到端头时发出声光同步告警。 8、开挡板指示每按键一次，挡板灯亮0.5秒钟。9、电位器正反转指示当电位器顺时针旋转时指示点亮，反时针旋转时指示熄灭。注意： 1、 扫描仪在系统开机后自动进行枪检测（实时检测，默认为右枪工作）判断左枪或右枪工作，同时点亮其对应的枪指示灯，并调出其保持的工作状态（除高压及蒸发量调节外的所有功能均与之相关联。）。2、 开

10、机时高压、高压预开及蒸发量调节输出均默认复位状态。3、 当开高压时必须先打开预开。如直接开高压则发出声告警。4、 当电位器调节到端点（或预设的边界点）时会出现声光报警。停止调节则停止报警5、 蒸发量调节可由复位键恢复到初值。（短按有效） 六、 扫描仪按键功能：1、 左右键平时用于查看项目的设置内容。 在进入设置时用于选择需要设置的项。2、 坩埚位数设置键用于设置坩埚最大显示位数（配合上下键设置，最大可设置32位显示长度）3、 上下键 a、 常态时用于查看存储区域（坩埚编号）里的设置参数（三秒钟此按键无响应则恢复显示当前坩埚编号）。 b：进入设置时，用于设置参数。4、 设置键A： 用于进入设置状

11、态。B、 循环选择设置位。（被设置位闪烁）顺序为：X频率、Y频率、面扫环行圈数（当选中面扫方式时）、上限电流、下限电流、存储位置（每位存储位置对应一位坩埚号,且其容量与坩埚总数相等；左右坩埚的选择由外部输入控制，左坩埚也可设为32位）。5、 存储键用于退出并保存设置的参数。6、 工作模式键用于选择圆形、方形和随机工作的输出方式。（随机方式XY均为三角波）7、 面扫启动键用于启动圆形环、方行环的面积扫描。8、 坩埚穴位的设置：在面板控制开关打在O（注：前后开关位置可能互换，应以实物为准）位置时可对坩埚穴位数进行设置。A、按动手动LED右侧的小灰圆点，当LED出现闪烁时配合上下键即可设置坩埚的穴位

12、数。B、当退出设置后，同时按住左右键一次，可以使坩埚号加一。七、扫描仪面板指示灯a、 手操器(通讯)指示当手持控制器与扫描仪正常工作时该指示灯闪烁。b、 圆形环/面该灯点亮表明扫描仪输出的波形为圆形环，当该指示灯在闪烁时表明输出波形为圆形面积。c、 方形环/面该灯点亮表明扫描仪输出的波形为方形环，当该指示灯在闪烁时表明输出波形是由方形环组成的面积。d、 环行圈数当指示灯点亮时表明左窗的显示的是环形面积是由几条环形圈组成。e、 随机方式该灯点亮表明扫描仪输出的波形为随机方形面积。（XY均为三角波）f、 X频率指示该灯点亮表明左窗的显示内容为X的输出频率值。g、 Y频率指示该灯点亮表明左窗的显示内

13、容为Y的输出频率值。h、 串行口当扫描仪与上位机正常通讯时该指示灯闪烁。i、 上限电流指示该灯点亮表明左窗的显示内容为X报警输出电流的最大设定值。j、 下限电流指示该灯点亮表明左窗的显示内容为X报警输出电流的最小设定值。k、 过流指示LED当X的电流输出超出设定值时过流指示LED点亮。l、 坩埚手动LED该灯点亮表明右窗显示的坩埚工作在外计数器方式。m、 坩埚自动LED该灯点亮表明右窗显示的坩埚工作在通讯方式。n、 束斑记忆LED当前坩埚如有束斑位置记忆时该指示灯点亮。o、 频率正常LED用于监视X、Y通路的频率。指示灯常亮表示X或Y频率正常。 注：有的机型标记为Y正常。八、基本操作过程 1、

14、 参数的设置：a) 首先用工作模式键选定三种工作方式之一。（圆形、方形、随机三角形）b) 用左右键选择要设置的项：X频率、Y频率（面扫方式只设置X频率）、上限电流、下限电流以及面扫方式下的环行圈数（最大20）、存储位置（坩埚位置）c) 按设置键开始进入参数设置，反复按设置键可选择设置位。被选中的位出现闪烁提示。d) 用上下键改变设置参数。e) 设置完成后按存储键后退出并保存当前设置数。同时存储位置显示恢复到实际的坩埚编号显示。f) 平时可利用上下键查看存储内容。按坩埚位数长度设置键进入设置右坩埚最大显示位数，配合上下键，最大设置32位（此功能用户不可设）。2、 查看设置的参数按左右键选择到需要

15、查看项的状态指示点亮时，左边数码框的显示 内容即为设定值。3、 查看存储区域的设置按上下键选择坩埚位置，左边数码框的显示内容即为设定值。 当3秒无键响应时恢复显示当前坩埚位置。 九、插座定义晶控仪接口：12345678接晶控仪OUT1接晶控仪OUT3 NCNC接晶控仪IN1接晶控仪IN3接晶控仪到位检测 DC0V9101112131415接晶控仪OUT2接晶控仪OUT4 NC NC接晶控仪IN2接晶控仪IN4DC0V注：和晶控仪连接均以2进制编码方式接口，晶控仪可以选择用4bit输出位置编码方式工作也可以选择用4bit接收位置编码方式工作，使用非常灵活。19芯撒耳插座：（座孔）所有控制输出常态均为高电平12 3456 78910左右枪检测（低电平为左枪）默认为右枪工作NCNC功率调节010V输出手动/自动检测坩埚反转DC0VDC0V坩埚转动到位（和晶控仪到位同步给出）启动右坩埚转位控制脉冲 11 12 1314 15 16 17 18 19NC启动左坩埚转位控制脉冲开右挡板控制脉冲DC0V坩埚计数CK（正沿计数）开左挡板控制脉冲NC启动高压控制脉冲高压检测（低电平开高压）注：所有状态控制均为负脉冲输出，宽度为1.5S，为了增加检测的可靠性建议PLC检测电平而不要检测脉冲边沿。10芯撒耳插座：（座针）12345678