多晶硅洁净室施工工法

1、四川新光硅业有限责任公司多晶硅生产车间洁净室施工工法1 .前言随着电子、化工行业的飞迅发展，对产品纯度的要求日益提 高，而生产、加工环境的洁净度直接影响着产品的纯度。洁净室 从最初的生物医药行业逐步扩展至电子、化工行业。近几年，对 产品纯度要求极高的多晶硅行业的发展与兴起使得洁净室更充 分的应用于化工领域。我单位根据所承建的江苏中能硅业多晶硅 一期、二期及三期近三万平方米洁净室的施工经验，总结编定本 工法。其中一期、二期洁净室已验收、检测合格，投入使用，顺 利产生合格的多晶硅，取得了良好的社会和经济效益；三期洁净 室正在紧张、有序施工。多晶硅生产车间洁净室施工工法被我公司评为2008年度施工工

2、法一等奖。2 .特点2 . 1洁净室的建造需要多个专业共同配合完成。土建专业要 为建造洁净室提供合格的外围护结构。洁净室的装修材料要求壁 板平整、接缝严密且平整光滑，不许有凸凹造型，阴阳角全部做 成R> 50mm的圆弧角；窗户应与墙面平齐，不应设置凸由墙面 的踢脚；风口、灯具采用带密闭罩的净化灯吸顶安装；地面采用 不产尘材料整体制作，且平整、光滑、防静电。在洁净室内明装 的管道均应采用不锈钢管，其连接采用瀛电连焊。3 . 2采用本工法施工，可以保证洁净室的施工质量，并可大 大提高工效、减少材料消耗，降低施工成本，取得更大的经济效 益。页脚内容-1 -四川新光硅业有限责任公司4 .适用范围

3、本工法适用于以多晶硅洁净厂房为代表、其净化要求为千级至十万级的精细化工、医药车间、电子车间等生产车间的施工， 不适用于有特殊要求的生物工程实验室的施工。本工法重点介绍 洁净室装修工程的施工内容，对洁净室施工中的通风、电气、给 排水等专业的施工工艺不做详细说明。5 .工艺原理通过二次排版设计和材料选用、节点选型进行施工，使洁净 室内不由现污染死角或气流过滤不到的部位，没有扬尘。经过净 化装修保证洁净室达到不产尘、不集尘要求，具有一定的密闭性 能，确保室内维持一定的正压，防止外界非洁净空气渗入造成污 染。6 .施工工艺流程及操作要点6.1 施工流程施工流程遵循先有尘后无尘、先上后下的原则。具体施工

4、顺序如下：施工准备-测量放线-二次排版-材料加工-可调节吊杆安装f槽铝安装-壁板安装-T型铝安装-顶板安装-彩钢板调 平并固定-门窗安装-阴阳角安装-风口安装-灯具安装-地 面施工-过滤器安装-硅胶密封-保护膜拆除-清洁-洁净度 检测一竣工验收6.2 操作要点6.2.1 施工条件经图纸会审及施工现场勘察，土建工程屋面防水及保温 页脚内容-i -四川新光硅业有限责任公司已竣工；室外门窗安装完毕，室内易产生粉尘的施工内容结束， 水、电已进入施工现场，厂房周围能通过8t以上载重汽车。6.2.2 施工准备施工技术准备：根据业主提供的合格施工图及收集到的现场 资料，结合工程特点，确定工程施工的管理技术人

5、员构成、管理 体系；熟悉、消化技术文件、设计图纸及相关规范、标准，做好 设计交底和图纸会审工作，对各施工班级进行详细的施工技术交底。材料及设备的准备：所使用材料必须符合设计要求和施工规 范规定，且具有由厂合格证明书或相关质量证明文件。根据设计 要求制定不同施工阶段的供应计划，落实货源，组织运输，安排 好现场储备，保证项目施工连续、有序进行。施工人员的准备：包括项目经理部管理人员和施工工人，及 由此二者组成的工程施工管理层及作业层。6.2.3 测量放线测量放线是洁净室装修施工的的基础，有多个专业共同安装 施工的洁净室装修工程施工准确性至关重要，而测量放线是施工 准确性能否得到保证的关键条件。由于

6、施工中专业多、交叉施工 复杂，洁净室装修测量需按统一的安装基准线进行，以纵横两方 向的轴线为原始基准，确定一条对各专业施工最有利的安装基准 线。采用激光水平仪或精度较高的水准仪进行测量放线。在测量 放线中，必须采用多点法确定每一个基准点和基准线，以保证精 确度，在地面尽可能低的地方寻找确定最高点，并在柱中央相对 于地面最高点绘由 500mm高的水准测量点。弹墨线前应用棉线 校核基准点或参考点，墨线弹好后及时做好相关标记。6.2.4 二次排版根据现场测量放线的尺寸了解完成的建筑实体与图纸的误差进行二次排版，排版内容包括顶板、 壁板及高效过滤器、 灯具、 门窗的安装位置及尺寸规格，绘由结点大样图和

7、各部分的的详细 尺寸。排版时尤其要注意考虑门窗、高效过滤器、灯具、通讯、 消防、工艺管道所开孔洞与彩钢夹芯板间的模数、位置关系及强 度、结构要求。对原设计图中的门窗尺寸及位置，在二次排版时 可能根据现场实际进行一定调整。在排版过程中不能完全按照土 建工程中的建筑模数，如果门窗口宽度没有特殊严格的尺寸要 求，可以将门窗的宽度改为彩钢板的有效宽度并提前预留，裁下 的板正好可做门扇材料，这样不但节约材料，而且门窗缝与彩钢 夹芯板拼接缝相重合，效果美观。如果工艺要求门洞宽度大于彩 钢夹芯板的有效宽度，做成双扇门且门洞位置于两板相邻壁板中 间，裁下来的材料可做门扇。彩钢夹芯板上电气、工艺管道、消 防、通

8、讯等专业洞口的定位要避免在彩钢夹芯板企口位置而降低 强度，同时要考虑阴阳角的安装尺寸。彩钢夹芯板上的高效过滤 器洞口口边的宽度不得太窄，若洞口边宽度太窄，人上吊顶时， 由于彩钢板顶板的强度降低而存在严重的安全隐患。6.2.5 已完装饰工程的保护保护好已完成的装饰工程表面，不得因撞击、敲打、踩踏、 多水作业等造成板材凹陷、暗裂和表面装饰的污染。壁板安装过 程中不得撕下壁板表面塑料保护膜，禁止撞击和踩踏板面。所有 穿过洁净室的管道、设备在与彩钢夹芯板接口处均密封处理。6.2.6 节点彩钢板安装中主要的节点有：彩板与洁净灯具的节点、彩板 与过滤器的接点、彩板与密闭窗门的接点、彩板与百页风口的接点、顶

9、板的节点、壁板的节点等。节点连接形式有多种，这里仅 以其中一类为例说明（详见图526）,具体接点形式的选用，可根据现场情况灵活选取。I及槽密封 同效送风 口灯具安装千点 惆与地面节点I墙与玻璃节点一|I 口与地囿节点一|I回风口节点S5.166.2.6.1 壁板与地面：按图纸开间尺寸弹由墨线，用电锤间距 300mm500mm 钻眼，用膨胀螺栓固定槽铝，壁板按照公母口 方向按顺序安装。在壁板和地面施工完毕后安装阴角条，最后用 硅胶密闭缝隙。墙角应垂直交接，防止累积误差造成壁板倾斜扭 曲，壁板的垂直度偏差不应大于0.2%。（如图526.1）土建地坪壁板与地面节点6.2.6.2 壁板与顶板连接：在壁

10、板上端用抽芯固定槽铝并用自 攻螺丝与顶板连接，室内侧安装铝合金阴阳角，用硅胶密封（如 图 526.2）。槽铝 一-净化彩钢板顶板净化彩钢板顶板%壁板与顶板节点6.2.6.3 顶板与现浇板：根据二次排版的顶板布置图用电锤在 现浇板上间距1.2m1.5m钻眼，吊杆一般采用镀锌或不锈钢拉丝 柑，吊杆上端焊接 50mm的角钢。用膨胀螺栓固定在现浇板上。吊杆中间设置花篮调节螺栓，用以调节顶板的水平或起坡坡度。吊杆下端焊接T型铝，顶板放置在 T型铝上，并用角铝压紧，角铝与T型铝用抽芯钢钉固定，并用胶密封。（如图5.5.3）。调节螺栓页脚内容-10 -gms6.2.6.4 顶板与建筑墙面：工艺同壁板与地面节

11、点（如图526.4-1）。用乳胶漆封闭墙柱面后方可安装彩钢板，阴阳角安装 完毕后缝隙用硅胶密封（如图 526.4-2） o槽铝kiui5.2.6.5门窗节点：净化彩钢门一般采用不锈钢或铝合金门框,在门扇底端设置扫地密封条，材质有橡胶类、皮革类等，底部缝 隙高度5mm10mm,扫地条长度约为缝隙的 1.5倍2 .5倍（如 图 526.51）;窗有单层密闭窗（如图526.5 2）和双层密闭窗（如图5.2.6.53）两种，双层密闭窗在彩钢板壁板安装时预先将窗洞口留设由来，用铝合金型材进行包边，然后按下图粘贴双面胶，之后现场测量洞口尺寸，按尺寸下料白玻璃，玻璃尺寸要比洞口每边少5mm ,最后用扣条压盖

12、并用硅胶密封。单层密闭窗同样在安装壁 板时留设窗洞口，先将内侧不锈钢框架安装并用钢钉固定打胶密 封，然后安装白玻璃或防火玻璃。安装外侧不锈钢框架，玻璃与 框架间的缝隙用密封条密闭，框架与彩钢板缝隙用胶密闭。S3铝合金双层 玻璃窗5m厚白玻璃6 厚钢化玻璃双面胶密封条6厚钢化玻璃（20厚防回风夹道根据设计净化风量设置回风夹道的尺寸和位置（如图 526.54）回风口软接头镀锌槽条包边净化彩钢板顶板回风夹道5.2.6.6 过滤器、灯具与彩钢板：洁净灯具及过滤器根据二次 排版的平面布置图在顶板安装前开孔，留设过滤器和灯具的安装 位置（如图526.6）。洁净灯具宜采用吸顶式、易清洁的、不易 积尘的灯具。

13、过滤器每个框架需设置四根吊筋，且吊筋不得承载 其他构件，过滤器框架从室内用绳子吊上去人工校正后用螺栓固 定到顶板上，防止位移，承重要靠吊筋，不得用顶板承重。安装 完毕后进行清洗并用薄膜保护，过滤器在净化系统调试运转48小时后方可进行安装。过滤器安装后洁净室必须按规范要求进行 管理，防止管理不当对过滤器造成损耗或损坏。可调螺栓专用特种铝型材大梁可调螺栓定位螺帽高效送风口顶板上分线 盒、穿线管净化室密闭单层窗户顶式净 化荧光灯5.2.6.7 洁净室PVC地面：用石磨机打磨地面，并用吸尘器清 理灰尘及沙粒；自流平水泥，经充分搅拌均匀后，呈稀和状倒在 地面，用工具刮涂均匀，厚度约 2-3mm。待干透后

14、，表面用磨光 机打磨一遍，灰尘清理干净。地面干燥后进行放线、涂胶：确定 地板基准线，采用双组分防水胶，经充分搅拌后刮涂于干净地面， 根据地面位置，涂胶先后顺序，留由合理的施工通道。正常环境 下等候时间为15- 20分钟后开始铺设；将材料铺设在湿的胶水 上，施预压力使其粘接住，地板安装完成一部分后，要立即使用 50公斤组合滚筒将地板压平；安装完毕后，清扫或使用吸尘器将地面所有残留物清除干净，确保房间通风，使胶水干燥，刚铺好 24小时后进行打腊，清洗机对完工PVC地面进行彻底清洗，地面 水吸干后用专用蜡水涂抹均匀。打蜡后8小时即可投入使用，竣工前宜用薄膜覆盖防止污染。6 .材料及施工机具洁净室壁板

15、及顶板要求防静电、耐腐蚀、易清洁、不产尘、四川新光硅业有限责任公司不集尘、接缝少，根据工艺要求不同采用不同材质的彩钢夹芯板，一般有阻燃自熄聚苯乙烯板、聚氨酯材料、石膏板、岩棉板、纸蜂窝板、铝蜂窝板等。厚度一般50mm80mm不等。地面装饰材料要求具有良好的耐磨性能、防滑、防静电、耐腐蚀、易清洁、不易起尘开裂、二次施工简便、接缝少或无接缝。洁净室常用的装饰材料有嵌铜条水磨石地面、环氧自流平地面、防静电PVC地板和聚氯乙烯软板等。洁净室施工的主要工机具见下表6-1序号名称规格型号单位数量1交流焊机BX3-300台22僦弧焊机NSA4-300台13液压升降 机YSD-300台14工业吸尘 器GM80

16、台15切割机TC-4QPVC台16冲击钻GBH3-28E台37手电钻（）6台88钏钉枪YWJ-D把139水平尺、线 垂把610尘埃粒子 计数器y09-6台111热球式风 速仪EY3-2A只212补偿式微 压计YJB-150台213通风干湿 球温度计DHM2只1页脚内容-ii -四川新光硅业有限责任公司7 .工程质量控制措施7.1 材料控制措施7.1.1 进场设备、材料的检查验收。在订购设备、材料前，详 细了解生产厂家的各种有效证件；设备、材料进场后，会同业主 及监理人员进行验收。7.1.2 彩钢夹芯板分批次运输入场，根据尺寸大小分别水平存 放在车间平整地面处，下部垫防潮软质材料，并用彩条布覆盖

17、。 堆放时预先根据二次设计图的用料需求，按顺序堆放，以免因多 次翻找造成板面的划痕。7.1.3 彩钢夹芯板在堆放时标明生产批次，以免在同一洁净室 内产生色差。安装过程中安排专人清扫施工现场，以免造成板面 的划伤。7.1.4 彩钢夹芯板的配套型材，要根据类别分架放置，以免造 成不可恢复的压痕，影响安装质量。7.1.5 在彩钢夹芯壁板明显位置张贴标语，提醒其它专业施工 单位做好成品保护，并在壁板转角等易碰撞位置包裹橡塑板等软 质材料，防止彩钢夹芯板被撞损。7.2 施工过程控制洁净室建造具有技术含量高、专业施工交叉多等特点， 如果采用传统的“秋后算账”式质量控制方法，只强调中间验收、 竣工验收的相关

18、数据达标，而对施工过程的动态控制力度不够， 会造成验收资料合格但实际工程不合格的现象。所以，通过提高二次排版、材料选用、节点选型等施工技术，加强施工过程中动 态质量控制是保证洁净室施工质量的有效方法。施工过程中的动 态质量控制也是洁净室施工的技术难点之所在。7.2.1 施工前环境控制：净化空调系统施工前，屋面防水工程 和外围结构完成，外门、外窗安装完毕。施工现场环境交由负责 净化工程施工的公司管理，组织人员对室内地面、柱、墙、空间 进行一次彻底清扫，达到清洁无尘后方可开始施工。7.2.2 洁净室的密封控制：洁净工艺房间内的空气压力必须保 证相对于室外大气为正压，避免室外非洁净空气渗入室内影响室

19、 内洁净度。洁净房间的严密性对房间正压值的维持和洁净度的保 证具有决定性的影响。车间洁净区的房间采用净化彩钢夹心板作 为房间围护结构材料，板材与板材之间的拼缝均涂密封胶，并要 达到严密不漏风。洁净房间的围护结构按规范标准要求进行工序 交接验收，合格后方可对穿越围护结构的管线进行开孔安装。机 电安装工程中必须在壁板上开孔安装的插座、开关、烟感探测器、广播喇叭、监控摄像头、照明开关箱、消火栓箱等部件，具箱体 与壁板之间用密封胶进行密封，箱体中各种管道与箱体之间必须 采取可靠和有效的密封措施。7.2.3 洁净房间空调系统风管和设备的清洁控制：施工过程中必须重视对风管和空调部件的清洗，安装后须防止再次

20、污染。风 管制作前必须用中性洗涤剂擦洗其表面油污，再用清水冲洗晾 干。风管加工应在干净、无风沙的室内操作间进行，工作台上应铺设地毯或橡胶板，防止铁皮表面镀锌层划伤。应用清洁半干抹 布擦拭风管内表面，再用白绸布检查内表面清洗质量，白绸布揩 擦后不留任何灰迹、油渍即为清洗合格。风管管段加工清洗合格 后，用塑料薄膜封好管段两端再运至安装现场，所有风管配件及 设备在安装前必须擦拭干净，否则不得安装。净化空调的所有送 风管和回风管均进行漏风量测试，检测合格后方可进行下一道工 序施工。洁净室和空调送回风管道应在高效过滤器安装前达到清 洁要求，净化空调系统必须连续试运转（空吹）12小时以上，空吹后再对送回风

21、管和组合式空调器内进行清扫和擦洗干净。每台 安装于5级洁净区的高效过滤器在安装前应进行检漏，检漏合格 后方可安装。7.3 竣工验收7.3.1 洁净室的工程验收分为两个阶段进行，先进行竣工验收，再进行综合性能全面评定。7.3.2 竣工验收和综合性能全面评定必须对洁净室进行性能 检测。7.3.3 洁净室的检测在空态、静态下进行（动态检测因超生了 洁净室施工单位控制的范围，一般不做为洁净室竣工检测依 据。）。空态：设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设 备、材料及人员。静态：设施已经建成，生产设备已经安装，并 按业主及供应商同意的状态运行，但无生产人员。综合性能全面 评定的检测状态，由建设、设

22、计和施工单位三方协商确定。检测 得生的洁净度级别，并注明检测状态。7.3.4 在空态及静态条件下检测时，室内检测人员不多于2 人，均必须穿洁净工作服，尽量少走动。7.3.5 综合性能全面评定由建设单位负责，设计、施工单位配 合，有资格的第三方检测单位进行综合性能全面评定检测。该项 工作应在洁净室各系统已调试完成，稳定运行24h以上后方可进行。检测前再次全面清洁洁净室，按以下内容逐项进行检测：送 风量、静压差、空气洁净度级别、室内温度和相对湿度、室内噪 声级、室内照度及均匀度，根据工艺需要如有必要还需加测：浮 游菌和沉降菌、室温波动范围和区域温差、室内倍频程声压级、 室内微振、表面导静电性能、室

23、内气流流型、自净时间等。具体 检测操作过程由第三方检测单位进行，这里不做说明。7.3.6 竣工验收应在对各分部工程做外观检查、单机试运转、 系统联合试运转，空态或静态条件下的洁净室性能检测和调整以 及对有关的施工检查记录审查合格后进行。7.3.7 竣工验收的检测结果应全部符合设计要求，具检测项目符合室内洁净度级别要求，满足现行国家标准洁净厂房设计规范GB50073-2001、洁净室施工及验收规范 JGJ71-90及通风 与空调工程施工质量验收规范GB50243-2002的要求。8 .安全措施8.1 建立完善的安全生产组织机构及规章制度，配备专职安全员负责安全管理工作。8.2 施工作业人员进厂时必须经过三级安全教育，教育施工人员在施工过程中做到不伤害他人、不伤害自己、不被他人伤害。现场设置安全警示牌。8.3 进入施工现场必须统一穿工作服，带好安全帽，系好下 额带，登高作业必须系安全带。 在施工现场室内工作时严禁吸烟， 严禁酒后进入施工现场。8.4 施工需搭设脚手架时，所搭设的脚手架必须经专职安全 员确认安全可靠后方可使用，施工所用工具应放入工具袋内，不 能随手放在脚手架上。8.5 施工用电必须采用三相五线，配电箱必须牢固且有可靠 接地。8.6 避免动