压电式加速度传感器

1、压电式加速度传感器(1)压电式加速度计的结构和安装压电式加速度传感器又称压电加速度计。它也属于惯性式传感器。它是利用某些 物质如石英晶体的压电效应，在加速度计受振时，质量块加在压电元件上的力也 随之变化。当被测振动频率远低于加速度计的固有频率时， 则力的变化与被测加 速度成正比。由于压电式传感器的输出电信号是微弱的电荷，而且传感器本身有很大内阻，故输出能量甚微，这给后接电路带来一定困难。为此，通常把传感器信号先输到高输入阻抗的前置放大器。经过阻抗变换以后，方可用于一般的放大、检测电路 将信号输给指示 仪表或记录器。目前，制造厂家已有把压电式加速度传感器与 前置放大器集成在一起的产品，不仅方便了

2、使用，而且也大大降低了成本。(a)中心安装压缩型(b)环形剪切型(c)三角剪切型图13.18压电式加速度计常用的压电式加速度计的结 构形式如图13.18所示。S 是弹簧，M是质块，B是基座， P是压电元件，R是夹持环。 图13.18a是中央安 装压缩 型，压电元件一质量块一弹 簧系统装在圆形中心支柱上， 支柱与基座连接。这种结构 有高的共振频率。然而基座 B与测试对 象连接时，如果基座B有变形则将直接 影响拾振器输出。止匕外，测试对象和环境温度变化将影响压电元件，并使预紧力发生变化，易引起温度漂移。图13.18c为三角剪切形，压电元件由夹持环将其 夹牢在三角形中心柱上。加速度计感受轴向振动时，

3、压电元件承受切应力。这种结构对底座变形和温度变化有极好的隔离作用， 有较高的共振频率和良好的线 性。图13.18b为环形剪切型，结构简单，能做成极小型、高共振频率的加速度 计，环形质量块粘到装在中心支柱上的环形压电元件上。由于粘结剂会随温度增高而变 软，因此最高工作温度受到限制。加速度计的使用上限频 率取决于幅频曲线中的 共振频率图（图13.19）。一般小阻尼（z<=0.1）的 加速度计，上限频率若取为共振频率的1/3 ,便可保证幅值误差低于1dB（即12% ;若取为共振频率的1/5,则可保证幅值误差小于0.5dB （即6% ,相移小于30。但共振频率与加速度计的固定状况有关，加速度计出

4、厂时给出的幅频曲线是在刚性连接的固定情况下得到的。实际使用的固定方法往往难于达到刚性连接，因而共振频率和使用上限频率都会有所下降。加速度计与试件的各种固定方法见图13.20 0图13.20加速度计的固定方法其中图13.20a采用钢螺栓 固定，是使共振频率能达到 出厂共振频率的最好方法。 螺栓不得全部拧入基座螺 孔，以免引起基座变形， 影响加速度计的输出。在安 装面上涂一层硅脂可增加 不平整安装表面的连接可靠性。需要绝缘时可用绝缘螺栓和云母垫片来固定加速度计（图13.20b）,但垫圈应尽量簿。用一层簿蜡把加速度计粘在试件平整表面上（图 13.20c）,也 可用于低温（40C以下）的场合。手持探针

5、测振方法（图 13.20d）在多点测试 时使用特别方便，但测量误差较大，重复性差，使用上限频率一般不高于1000Hz。 用专用永久磁铁固定加速度计（图13.20e）,使用方便，多在低频测量中使用。 此法也可使加速度计与试件绝缘。用硬性粘接螺栓（图 13.20f ）或粘接剂（图 13.20g）的固定方法也长使用。某种典型的加速度计采用上述各种固定方法的共 振频率分别约为：钢螺栓固定法 31kHz,云母垫片28kHz,涂簿蜡层29kHz,手 持法2kHz,永久磁铁固定法7kHz。（ 2） 压电式加速度计的灵敏度压电加速度计属发电型传感器，可把它看成电压源或电荷源，故灵敏度有电压灵敏度和电荷灵敏度两

6、种表示方法。前者是加速度计输出电压（ mV） 与所承受加速度之比；后者是加速度计输出电荷与所承受加速度之比。加速度单位为m/s2,但在振动测量中往往用标准重力加速度 g作单 位，1g= 9.80665m/s2。这是一种已为大家所接受的表示方式，几乎所有 测振仪 器都用 g 作为加速度单位并在仪器的板面上和说明书中标出。对给定的压电材料而言，灵敏度随质量块的增大或压电元件的增多而增大。一般来说，加速度计尺寸越大，其固有频率越低。因此选用加速度计时应当权衡灵敏度和结构尺寸、附加质量的影响和频率响应特性之间的利弊。压电晶体加速度计的横向灵敏度表示它对横向（垂直于加速度计轴线）振动的敏感程度， 横向灵

7、敏度常以主灵敏度（即加速度计的电压灵敏度或电荷灵敏度）的百分比表示。一般在壳体上用小红点标出最小横向灵敏度方向，一个优良的加速度计的横向灵敏度应小于主灵敏度的3。因此，压电式加速度计在测试时具有明显的方向性。（ 3） 压电加速度计的前置放大器压电元件受力后产生的电荷量极其微弱，这电荷使压电元件边界和接在边界上的导体充电到电压U=q/Ca （这里Ca是加速度计的内电容）。要测定这样微弱的电荷（或电压）的关键是防止导线、测量电路和加速度计本身的电荷泄漏。换句话讲，压电加速度计所用的前置放大器应具有极高的输入阻抗，把泄漏减少到测量准确度所要求的限度以内。压电式传感器的前置放大器有： 电压放大器和电荷

8、放大器。所用电压放大器就是高输入阻抗的比例放大器。其电路比较简单，但输出受连接电缆对地电容的影响，适用于一般振动测量。电荷放大器以电容作负反馈，使用中基本不受电缆电容的影响。在电荷放大器中，通常用高质量的元、器件，输入阻抗高，但价格也比较贵。从压电式传感器的力学模型看，它具有“ 低通 ” 特性，原可测量极低频的振动。但实际上由于低频尤其小振幅振动时，加速度值小，传感器的灵敏度有限，因此输出的信号将很微弱，信噪比很低；另外电荷的泄漏，积分电路的漂移（用于测振动速度和位移） 、 器件的噪声都是不可避免的，所以实际低频端也出现“ 截止频率”，约为0.11Hz左右。随着电子技术的发展，目前大部分压电式

9、加速度计在壳体内都集成放大器，由它来完成阻抗变换的功能。这类内装集成放大器的加速度计可使用长电缆而无衰减，并可直接与大多数通用的仪表、计算机等连接。一般采用2线制，即用2根电缆给传感器供给210mA勺恒流电源，而输出信号也由这 2根电缆输出， 大大方便了现场的接线。表13.1为某厂家生产的压电式加速度计的参数表。表13.1常用压电式加速度计的参数表型号灵敏度分辨率重量应用及特点350B045000g0.5mV/g0.02g4.5g适用于爆破、撞击等350B21100000g0.05mV/g0.3g4.4g适用于爆破、撞击、爆炸分离等351B03150g10mV/g0.003g10.5g可在-1

10、96C的低温环境卜作352A5g1000mV/g0.00004g35g局分辨率型352C22500g10mV/g0.0015g0.5g微型，适用于小型结构352C6550g100mV/g0.00016g2g小型、高灵敏度、高分辨率，各种用途353B18500g10mV/g0.005g2g局频、小型、石英剪切,各种用途353B3350g100mV/g0.0005g27g三角剪切结构，石英通用加速度传感器353M2552000g2.5mV/g0.04g17.9g冲击传感器、内置滤波器，桩基检测355B03500g10mV/g0.0005g10g划、型356B0850g100mV/g0.0002g20g轴、结构实验356A185g1000mV/g0.00006g24g3轴、高灵敏度356A4010g100mV/g0.0002g180g/片状3轴坐垫传感器，汽车实验356M41500g10mV/g0.001g4g/方形3轴、小型，模态、振动、噪声实验393C5g1V/g0.0001g1000g超低频地震传感器，长期稳定性良好393B310.5g10V/g 0.0000