2晶圆处理重点

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10、r- <A»nrT<rta"劈* Aa»xer>ra9YKifm <* w «» aem!”. 卄馬零.-.”4享 i“nw ini” rarmify a你枷*«w 复EBMrM" II4） Lateness Release policy ; LF投料法則LR投料法則乃是一調整型的投 料法 則，係利用指數平滑來預測平均流程時間，並於一短時間收歛穩定，此法用平均 流程時間來計算工作延遲，以平均 延遲來決定一個新批次進入系統的時間。不同以往的投料法則，此法則不需要任何事先定義好的車檻值。5）Poisson

11、投料法則 新的晶圓批乃依据poisson過程決定進入系統的時間點。6） One-Stage投料法則One-Stage投料法則係依据第一與第二製程步驟（Stage）之間的實際存貨水準與計 畫存貨水準（又稱之為在製品門檻值）的差距 來決定投料的時機，當 實際存貨水 準小於計畫存貨水準時，就可將新的晶圓批投入系統中。7） Queue Management ;QM投料法則等候線管理法則（QM）是利用電腦整合製造系統中在製品追蹤系統 所提供的資料，可以預測當有新的工作批量到達時會對各個工作站產生不同的工 作負荷（以時間為單位），並且換算出在每一離散時間格內各個工作站前預測的 等候量，一個新的工作批量必須

12、考慮它所有經過的 加工站前等候線長度均低於一 安全的水準時，才將此工作批次投入加工。如下圖所示：8） Un iform Loadi ng;UL投料法則UL投料法則乃事先設定一固定的投 料時間長度及投料量，不考量目 前系統的狀態在每一個投料時間長度開始時投入此預設 量，為一開放式的投 料法2 晶圓處理.doc 11 / 13則。2.考慮瓶頸資源機台的投料控制策略1）JIT2投料法則JIT2投料法則係 為使限制資源能充份利用並保留JIT之拉式系統的優點而設計的，投料時機的決 定在於當CCR （限制資源）對初次到達 CCR的次進行加工時，原來跟隨著在該 批次上的看板便被送回第一製程步驟，此時觸發投

13、料的發生。觀察JIT1與JIT2的 差異在於，JIT1是在工件批次送至第二站時就把看 板傳回第一製程步驟，而JIT2 乃是工件批次送至CCR時才將看板送回第一製程 步驟的，其差異如下圖所示：2）WIP-to-BottleneckContorl ; WB投料法則 WB投料法則乃計算同一類型的工件批 次i在第一站至第一次限制資 源作業站之間的所有在製品 數量，若在製品數量低 於所設定的WIP門檻值時則 進行投料。如下圖所示：2晶圓處理.doc 12 / 133）Workload Regulating ; WR投料法則 WR乃以目前系統內對瓶頸工作站的總工作負（以加工時間表示） 來作為投料決策的依據，若此工作負荷小於預先設定 的安全門檻值時，則進行投料，若是此工作負荷大於預先設定的安全門檻值時,則必須要等到下一時間幅度再重新計算各瓶頸工作站新的工作負荷，再重新決定 是否可投入新的批 量。因為此法 只考慮到系統內瓶頸機台的總工作負荷，並沒有 顧及此工作負荷對瓶頸機台時序 性的影響。無論投料法則的分類為何，良好的投 料控制策略應具