巴陆MESSemiCom项目制造执行系统方案说明

1、V2.0V2.02011-07-262011-07-26Blossim制造现场管理软件Blossim AM ES :敏捷制造管理软件MES项目方案书上海巴陆信息科技有限公司上海市北京东路 668668 号科技京城 B705B705 室MES项目方案书2011-07-26页数2 / 67内容1方案说明.61.1方案的组成部分 .62解决方案.72.1需求分析.72.1.1工艺流程.72.1.2在制品.72.1.3生产安排.82.1.4制造过程.82.1.5质量.92.1.6设备.92.1.7物料.102.1.8劳动力.102.2第一阶段.112.2.1系统目标.112.2.2MES功能应用.11

2、2.2.3功能应用概要.122.2.3.1产品定义管理.122.2.3.2工艺流程定义.122.2.3.3生产资源管理 .132.2.3.4生产进度管理.142.2.3.5车间现场管理.142.2.3.6在制品管理.152.2.3.7SPC. 152.2.3.8配送管理.152.2.3.9查询统计报表.152.2.3.10 KPI. 162.2.3.11用户管理.162.2.3.12系统管理 .162.3第二阶段.172.3.1系统目标 .172.3.2功能应用.172.3.3功能应用概要.172.3.3.1质量管理.172.3.3.2生产资源管理.182.3.3.3生产进度管理.182.3.

3、3.4仓库管理.183数据收集方法.193.1必须录入的数据 .19MES项目方案书2011-07-26页数3 / 673.2系统自动生成.193.3条码.193.4从数据终端获得.203.5从设备获得.203.6手工录入 .204 MES系统功能.214.1产品定义管理.214.1.1物料主数据.214.1.2规格基础.214.1.3物料查询.224.2工艺流程管理.234.2.1工艺基础定义 .234.2.2标准工艺定义 .244.2.3产品流程设定.244.2.4版本管理.244.2.5工艺流程查询 .244.3生产资源管理.264.3.1资源定义.264.3.2状态设定.264.3.3

4、FAB监视.274.3.4资源管理.284.3.5资源异常处理.284.3.6PM管理.294.4生产进度管理.304.4.1生产订单.304.4.2订单产品编辑.304.4.3生产安排.304.4.4订单查询统计.304.5在制品管理 .324.5.1WIP初始化.324.5.2批次操作.324.5.3批次查询.334.5.4批次跟踪 .344.5.5生产追溯.354.6车间现场管理.374.6.1作业指派.374.6.2作业执行.374.6.3数据收集.384.6.4其他功能入口 .384.7质量管理.39MES项目方案书2011-07-26页数4 / 674.7.1质量基础 .394.7

5、.2异常处理.404.7.3异常统计.404.8SPC .424.9配送管理 .444.10权限管理.444.10.1用户管理.444.10.2角色管理.444.10.3资质管理.444.11系统管理.454.12报表.464.12.1报表.464.12.2数据挖掘.484.13 KPI. 494.14仓库管理.504.14.1基础定义.504.14.1.1内部存储 .504.14.1.2物流用途 .504.14.1.3供应链企业 .504.14.2库存管理.504.14.2.1库存初始化 .514.14.2.2物料入库.514.14.2.3物料出库.514.14.2.4物料移库.514.14

6、.2.5库存盘点.524.14.2.6检验.524.15查询统计.525系统软件结构.545.1软件技术.545.2软件构架.546系统硬件结构，,，.556.1结构简图.556.2服务器配置.556.2.1服务器平台软件 .556.2.2服务器主要硬件配置 .556.3客户端配置 .576.3.1客户端平台软件 .576.3.2客户端主要硬件配置 .576.3.3客户端其它硬件 .577系统集成.58MES项目方案书2011-07-26页数5 / 677.1.1MES提供的标准接口 .588项目管理.608.1项目计划.608.2项目组织.618.2.1客户成员.618.2.2公司实施成员.

7、618.3项目实施.638.3.1项目流程.638.4质量与进度控制 .648.4.1进度控制.648.4.2管理性报表.649进度计划.65MES项目方案书2011-07-26页数6 / 671 方案说明1.1方案的组成部分方案书主要内容包含下列部分: MESMES 系统开发 解决方案数据收集方法, , MESMES 系统功能说明,系统软件结构系统硬件结构系统集成项目管理,进度计划MES项目方案书2011-07-26页数7 / 672 解决方案根据提出的需求，结合 BlossimBlossim 在半导体行业的经验我们认为本项目的MESMES系统需实现的管理目标包括： 规范并结构化产品、工艺流

8、程提局对现场在制品的管控提高企业生产安排的合理性提高产品的质量管控程度加强对物料以及现场物流的管控提高质量问题反馈的及时度加强对设备、治工具等的管理提高对生产、质量数据的分析实现物料-制造过程全面追溯本章节将结合本公司系统针对需求以及半 导体行业特点提出分阶段实施的解决方案。2.1需求分析针对提出的需求以及半导体制造业的特点，BlossimBlossim 认为可以主要归纳为以下几个方面。2.1.1工艺流程半导体工乙流程包含的工序多，对应于/、同广品的工乙流程都有所不问。一 个同样的工序对不同产品可以采用不同的工艺条件，实现的工艺目标、使用 的设备、材料等都会有区别。同时产品的工艺流程并非固定的

9、而是需要根据 产品的试流、小量、批量期的要求进行调整。因此会产生如下的需求：, 能够在系统中自定义标准流程、产品流程能够灵活的调整产品流程对工艺流程进行版本管理在流程中灵活定义工序作业的设备、条件、规范值、作业指导、作业标 准工时等。能够查询工艺流程、工艺条件、版本等信息在工艺流程变动后更新在制品的流程2.1.2在制品半导体制造过程中的在制品难以从硅片上的芯片的图形明确LotLot 的品种。通过装载硅片的片盒上的标识来管理。此外芯片制造的整个过程仅在几个区域中流转，这样导致在制品在BufferBuffer 中堆积后难以被管理。在 BufferBuffer 中的堆积的在制品的品种、作业流程、作业

10、条件、序的工艺目标等都会有所不 同。在制品 LotLot 的七流程在实际作业过程中有可能发生变更，作业条件、物料、治工具等都有可能发生变更。2011-07-26页数8 / 67MES项目方案书由于上述的主要原因会产生如下需求： 分批，合批，BatchBatch 管理（如多批次同炉管氧化工艺 ），返工批，暂停，预 暂停 LoLot t等操作管理。批次流程变更批次返工流程批次的作业条件变更批次的品种变更在线批分布统计：产品在各工序堆积情况；各工序批次堆积情况（如经PEDPED 测试滞留 3 3 天提示，7 7 天报警）。批次的异常暂停查询批次的流程查询批次的作业记录查询批次的流程变更记录 查询在制

11、品的分布情况 查询在制品批次的状态2.1.3生产安排半导体生产的安排与调度是非常复杂的一件事情。为了保证设备的利用率以及均衡的产出，一般在制品数量会保持在产出量的2.52.5 倍至 3 3 倍之间，这样 导致在制品的数量众多。因此半导体企业会产生如下的需求：需要能够按品种分批进行投产需要能够根据产能模拟计算产出时间需要能够及时了解生产订单的进度。,需要能够区别不同优先级的批次，并且监视最高优先级批次的生产进度需要比对理论生产进度与实际生产进度的差异对生产进度进行统计分析对产能进行统计分析 投入产出表、各工序段、工序产量统计、产品产出量统计2.1.4制造过程芯片的制造过程中包括了几百个环节， 一

12、个普通的 CMOSCMOS 工艺的芯片需要进 行二十多道光刻。制造过程中的设备、人员、工具、工装、物料等都有可能 对产品的良率产生影响。整个制造过程还包括了众多的检验工序，检验工序的检验结果是判定前面工 序作业是否合格的依据，同时也是进行数据分析的依据。好保证产品的良率，制造人员要能够按照正确的作业方式，根据正确的作业 条件，选用正确的设备，在正确的时间对批次进行加工。现场批次的及时调度是提高生产率的另一项保证。MES项目方案书2011-07-26页数9 / 67因此，对制造过程管理方面会有如下需求:记录批次的作业时间、人员、设备、物料、工装信息记录批次的检验数据记录批次的作业数据（如实际温度

13、、电流、电压等）指导作业人员在正确的设备上用正确的条件与工装进行作业根据优先级控制批次的流速指导作业人员选择正确的批次进行加工管理人员能够指派作业批次流程的调整能够被及时的反映的作业现场能够实现制造信息的全面追溯能够实现对产品作业流程顺序的管理能够控制作业人员的操作资质质量管理贯穿了芯片制造的整个过程。严格的质量管控与质量问题处理流程 是半导体行业的特点。只有这样才能够保证在几百步的工序加工完成后获得 高的良品率。而良品率直接关系到企业的制造成本，1%1%的良率提高可能会带来几百万的利润。因此半导体制造企业对质量管理方面的需求主要包括：,当检验、测试结果不合格时自动异常报警，并停止批次的后续作

14、业当批次的作业过程数据出现问题时自动报警，并停止作业,当质量问题发生时对质量问题处理的全过程进行记录以及控制 SPCSPC 管理统计分析检验、测试数据统计分析产品良品率，工序良品率统计分析异常处理的批次、硅片的状态统计分析异常（不良）责任、原因、现象,统计分析异常处理效率设备是半导体生产最重要的生产资源。生产成本中的一大部分是设备的折旧，如何管理好设备提高设备的利用率是很重要的。因此企业对设备管理的需求 会包括：设备状态监视设备维护计划（PMPM）设备维护记录 设备故障的处理及分析 设备 OEEOEE 分析设备参数分析2.1.5质量2.1.6设备MES项目方案书2011-07-26页数10 /

15、 67设备加工量统计设备部件管理2.1.7物料芯片生产的主要物料是硅片，但是化学试剂、靶材、特种气体等的品质对芯 片最后的制造结果也会产生重要的影响。虽然企业的物料并没有电子装配行 业复杂，但是种类品种也是较多的。很好的管控物料及其使用对于提高产品 良率也起到关键的作用。此外产成品在未封装前期性能容易受到存放处的环境的影响，需要对产品的 库存同样进行管理。由此半导体企业要求物料的管控主要包括：物料库存管理物料检验 物料现场的配送（上料）管理物料的使用限制2.1.8劳动力劳动力主要指作业人员。作业人员也是生产管理的一个重要组成部分。在非 全自动生产线的企业，作业人员的能力高低会对产品的制造进度、

16、质量等产 生较大的影响。在实际情况中许多不良实际是由于人为操作失误而导致的。 因此从劳动力管理的角度，企业需求主要包括：,作业人员权限管理作业人员资质管理作业人员的作业历史统计分析作业人员产量统计分析事故责任统计MES项目方案书2011-07-26页数11 / 672.2第一阶段2.2.1系统目标本阶段实现的目标包括：建立企业的基础物料数据 结构及规范化工艺流程建立工序与物料的对应信息库 建立生产资源基础信息（含设备、工装、专业工人）实现制造流程的灵活调整与及时传递规范化生产计划安排实现车间作业流程卡自动生成实现车间作业的信息化管控 实现实时生产调度（工单、批次的停止、加速生产的传达）实现对现

17、场物料配送过程的管控 SPCSPC 管理实现对生产制程的统计分析2.2.2 MES功能应用第一阶段需要采用的系统功能包括:产品定义管理,生产资源管理工艺流程管理生产进度管理 车间现场管理在制品管理 SPCSPC 配送管理查询、统计、报表 KPIKPI权限管理系统管理BlossimBlossim A-MESA-MES 系统是按照 ISAISA 9595 结构建立的产品化的系统，通过系统各 项功能的组合来对应解决来自于企业的不同需求。这样的系统结构方式能够 适应企业日后的需求的扩展，而不需要再对系统的结构进行调整。本章节内涉及的功能将在“ MESMES 功能”章节中作进一步阐述。MES项目方案书2

18、011-07-26页数12 / 672.2.3功能应用概要2.2.3.1产品定义管理物料主数据定义 能协助用户建立并规范物料与产品分类结构、基本属性（名称、编码、计量单位等）、产品与物料的规格与检验标准、物料的供应商基本信息， 实现产品主数据的统一管理。建议产品主数据资料的建立可以以目前主要产品（量产品）为基础，先 建立相关物料的分类结构。再在分类基础上设定具体的基本属性，名称、计量单位必需设定。使用 目前使用中的名称与单位即可，最后确定物料的供应商，以及规格要求等信息。可对基础规格设定需要 管控的规格设定管控范围。对于非强制性的、主要用于监测的规格可以 不设定管控范围。规格基础通过模块的规格

19、库功能，用户能将各种产品规格分类统一管理。 规格的分类建议为单层结构，如：电学性能、外观、化学性能等。确定规格的数值类型，如：CDCD 的类型为数值型。2.2.3.2工艺流程定义, 标准工艺通过工步（可以不设定）一工序一工序段一流程的定义过程建立 结构化的工艺流程基础数据。通过定义工序的工艺目标能明确给作业 人 员的标准作业指导。 通过建立工序与作业单元以及RecipeRecipe 的关系明确了在不同作业条件下各工序可以使用的生产资源。对于流程定义中的工序设定主要以对制造过程管控要求为依据。系统中 的工序可以不必与实际的作业站完全一致。原则是对工艺不稳定、质量 要求高的产品的流程尽量设定到实际

20、的每一步作业工序；主工序、问题 多发工序和检验工序一定要在系统中设定。系统中流程的工序设定数量 会影响到管理成本，设定越细管理成本越高但管控效果越好；工序覆盖 作业范围越宽管理成本越低，相应管控效果会下降。工艺条件与作业单元、以及RecipeRecipe 可以根据现有资料逐步完善，对于难以明确的可以先设定虚拟数据，后期调整。,产品流程通过以基础流程定义为依据的产品流程定义，用户能够建立独立的产品制造流程。用户可以定义产品流程中的工序物料从而建立工艺与原辅材料之间的对应关系。用户可以定义工序需要收集的数据（包括检验数据）这样系统能够指导用户记录或自动筛选出需要管控的过程和质量数据， 并在超出规格

21、时能够及时反馈或协助用户的判断和处理。2011-07-26页数13 / 67MES项目方案书产品流程定义可以选择由工序组成完整流程也可以导入基础流程或其它 产品流程。建议采用后一种方式在导入基础上进行调整可以减少实际工 作量。工序物料设定时必须对主要物料进行设定，建立对应关系，否则将影响 到追溯性。对于生产辅料可以根据其重要性有选择的设定，一般依据对 产品质量影响大小为原则。建议在系统运行初期可以暂不设定辅料，根 据系统反馈的统计信息逐步增加。2.2.3.3生产资源管理资源定义在车间一工作中心一作业单元3 3 个层级上定义主生产资源及其属性。设定作业单元对应的 RecipeRecipe。作业单

22、元是一个综合概念，它泛指用于产品某步加工的工作单元。作业单元可以是设备、也可以是一个岗位。如：可以设定 CVD101CVD101，也可以设定一个虚拟的设备MA101MA101 ( ( MaterialMaterialAcceptanceAcceptance 101101 ) )过程数据基础 定义基础的作业过程中需要的收集的数据及其属性。用户可以在任何时候调整、增加、删除数据收集的项目。数据收集项目可以包括制造过程的收集项：可以包括控制项目以及检验判定项目：具体可定义的项目包括：项目名称/编号、描述、单位、类型。 如：项目描述单位类型FilmFilm ThicknessThickness膜厚um

23、um数值Bin2Bin2接触测试- -布尔型作业单元状态明确作业单元可能处于的各种状态。为生产管控以及统计分析提供依据。标准的作业单元状态：待作业、作业、故障、准备部件管理部件基础中定义须管控的部件名称例如：探针卡，定义属性为工装。 设定工装的使用次数限制或时间限制。MES项目方案书,部件查询查询并列出符合查询条件的部件名，在使用工序，使用次数，使用时间 等讯息。 FABFAB 监视通过系统提供的 FABFAB 监视功能，能够迅速了解制造现场实际的资源运行 状况。并且可以2011-07-26页数14 / 67链接查询生产资源运行的历史状况。资源管理提供对资源运行历史状态的统计分析。2.2.3.

24、4生产进度管理生产订单MESMES 获得生产订单信息后将MESMES 中定义的产品制造信息附加于订单产品。用户也可以通过创建生产订单设定订单的产品、数量、投入数量、产出 日期、投入日期等项目。对于针对该订单产品/半成品的设计变更、工艺变化等可以通过调整任务 单产品的制造基础信息实现，而不会影响整个产品或已投产产品的基础 信息。生产安排线长通过计划分配的生产订单信息在系统中安排产线生产。批次安排到生产线，订单产品/半成品的制造基础信息被附加于批次上。同时打印条 形码。 订单统计查询订单的完成进度，查询订单下产品料件的生产进度，查 询满足特定条件的订单（例如：6 6 月 2121 日下达的所有订单

25、清单）2.2.3.5车间现场管理车间现场管理能够提供管理人员安排作业、操作人员执行作业的平台。管理人员能够通过作业指派功能指定生产批次到特定的生产单元作业或者给 特定的人员作业。每道工序的作业都可采用指派执行、自派执行、直接执行三种方式主要的依据是工序的重要度以及加工时间的长短。例：如果有多台相同的设备，为保证生产设备能平衡车间的生产负荷，可由现场管理人员指派具体的生产单元或批次，以保证生产效率及稳定性。MES项目方案书2011-07-26页数15 / 67例：如某道工序作业时间较短，就可采用直接扫描条码，记录开始及完成时 间。数据收集主要通过作业人员的作业执行中的事件来触发。通过作业执行功能

26、 收集数据能够获得即时的数据从而保证了信息反馈的实时性。2.2.3.6在制品管理在制品管理能够提供生产管理人员、技术人员、计划人员实时控制在制品生 产的通路。在制品管理提供了对于生产批次的流程调整、暂停、预设暂停、异常暂停、 拆分、合并、工序物料调整、工序数据收集内容调整等功能。基于上述功能管理人员能够及时地对变更、异常、例外事件进行处理（上述 任何操作确定后都会立刻传递到现场影响批次的作业）。2.2.3.7 SPCSPCSPC 统计学流程控制。质量管理的重要一环是预防性管理。通过 SPCSPC 功能用户能够在出现异常之前 提前发现监控因素的不稳定趋势，从而提前制止异常的发生。例如：对于扩散检

27、验代码为RSPT113RSPT113 的工艺条件对应的 RSRS 参数进行 SPCSPC管控。例如：对于工序的良率进行监控，当良率低于设定值或波动幅度大于设定范 围时系统采取提示、报警、停止作业等措施。2.2.3.8配送管理定义现场的存储单元、载具的相关属性。并通过入库、出库、包装、现场存储等作业来完成物流的一系列操作。配送管理通过出入库、出库单管理现场物料库存的存储。通过来料接受功能 初始化现场的物料，并且通过储存管理来实现对载具、存储单元的存储数量 的限制。2.2.3.9查询统计报表在上述功能的基础上，系统能够提供的以制造数据为主的各种查询、统计、报表，主要包括： 批次查询在制品分布表生产

28、进度比较表,质量异常分析 批次物料查询 物料批次查询单元加工批次查询生产订单/任务单物料查询作业单元加工量统计操作人员加工量报表良品率报表 工序一次通过率报表设备利用率报表MES项目方案书2011-07-26页数16 / 67 OEEOEE 报表各产线月（周、日）产量统计2.2.3.10 KPIKPIKPI 指标是基于生产数据的基础上对工艺、设备、制造、物料等方面的关键 绩效指标进行统计分析提供决策支持。2.2.3.11用户管理权限管理通过权限管理能够对企业的制造管理过程中的人员职权进行明确的界定。而 MESMES 系统通过系统的权限管理能限制不同角色的人员对系统的操 作范围。建议通过合理划分

29、建立各种业务角色后，通过角色来设定用户的权限。角色管理 按照实际的分工定义使用系统的人员的不同角色。并设定角色的权限。 例如：设定系统管理员角色可以操作系统所有的功能。资质管理设定用户操作对不同生产资源、不同产品、不同工艺条件的作业资质。2.2.3.12系统管理系统管理的参数设定可以设定系统的各种参数，包括数据采集、打印等硬件 的驱动参数。单位设定支持用户自定义各种单位，以及各种单位之间的转换关系。MES项目方案书2011-07-26页数17 / 672.3第二阶段2.3.1系统目标本阶段的目标包括： 实现质量问题处理流程全面管理（检测记录、原因分析、处理、责任确 认）实现质量异常问题的及时反

30、馈与重大问题的及时处理实现对库存的全面管理实现设备、工装的 PMPM 管理,实现设备异常处理流程管理生产进度预测生产进度差异比较2.3.2功能应用第二阶段需要涉及的功能包括：质量管理生产资源管理的部件管理 生产资源管理的 PMPM 管理生产资源管理的资源异常处理生产进度管理的生产排程生产进度管理的生产进度差异, 仓库管理注）本节涉及的功能将在“ MESMES 功能”章节中进一步说明。2.3.3功能应用概要在第一阶段出现的功能本节中将不再另行说明。2.3.3.1质量管理当质量问题发生时，例如：PCMPCM 测试不合格。系统的质量流程管理能够协助 并指导用户完成质量问题处理的全过程，记录过程中的各

31、项信息。质量基础数据设定 建立质量问题的分类，设定已知的异常现象；建立异常原因分类，设定 已知的异常原因。质量异常处理 对产品的不良现象，原因，产品专用号，不良位置，状态等相关信息进行登记，备案，系统自动记录维修人及维修时间信息。MESMES 系统提供对异常批次的标准处理方法主要有：返工、报废、特采、 暂停生产、入库。2011-07-26页数18 / 67MES项目方案书无论处理结果如何异常批次在结束作业之后都会被系统自动设为暂停, 直至异常处理流程结束。,异常查询用户可根据品种号、订单号、不良原因等不同的条件，来筛 选出需要的查询结果，可按明细和汇总的方式来进行统计查询数据分析对维修数据进行

32、统计分析，可显示出对应的柏拉图，供管理 人员参考。2.3.3.2生产资源管理在第一阶段资源基础信息建立完备的基础上通过资源管理的高级功能来进一 步强化对资源的有效管理。, , PMPM 管理设备维护包括日常点检、定期保养。使用 PMPM 管理功能提供的 PMPM 计 划设定能够更加有效地执行 PMPM 计划，避免与生产任务之间的矛盾。维护 日志能相对完整地记录下维护过程与测量数据，以提供设备管理 人员统计分析之用。 资源异常处理 提供设备等资源发生故障后的全面的异常处理流程管理。2.3.3.3生产进度管理生产排程生产排程功能对于产线稳定度高的企业可以直接引用排程结果作为生产 安排。在系统上线的

33、初期建议用户将其作为排产的辅助分析工具。排产的结果 能够通过干特图表示，并且通过改变资源、约束条件等能够重新进行计 算。,生产进度差异 依靠准确的即时获得的信息，系统能够提供生产进度差异提示功能。当实际生产进度与计划进度的差异大于预先设定的比较基准时，系统会通过报警/提示功能主动告知相关人员。提示方式需要用户确定。2.3.3.4仓库管理提供企业所需要的常用的仓库管理功能。并且能够对仓库的状况进行统计、 查询。MES项目方案书2011-07-26页数19 / 673数据收集方法系统能够提供用户多种数据收集的途径。本方案中将以各种手段的方式方法 说明为主，在“用户场景”章节中会对一些工序的实际应用

34、进行一些说明， 在“系统硬件配置”章节中对相关各类硬件作一定的介绍。3.1必须录入的数据必须录入的数据指系统必须直接从外部获得的数据。系统可以通过规格基础定义功能以及过程数据基础定义功能完全的自行建立属于企业自己的数据收集项目库。3.2系统自动生成生产过程中的部分由事件触发的数据可以由系统在过程中自动收集，主要包 括：系统操作开始时间*系统操作结束时间系统操作人员系统操作项目设备待机、作业状态3.3条码通过条码收集制造数据的方式是最为普遍的方式之一。条码收集数据的前提是信息可以以编码的方式表达或与预设的数据通过编码建立对应关系。条码方式可收集的数据主要包括：产品批号物料批号加工资源编号，如：轴

35、向机插设备编号、贴片设备编号,运输资源编号，如：台车编号人员编号异常类别异常现象设备状态（维修、保养、故障停机等） 作业开始*作业结束 条码可以提高数据录入的准确性，提高录入速度，且成本较低。因此建议尽 可能的将数据进行分类然后编码处理，转化成条码的方式 表达以便于现场的数据采集。2011-07-26页数20 / 67MES项目方案书3.4从数据终端获得数据终端可以在客户端实现部分电脑功能。能够显示系统提示，并且能够通 过按键反馈系统信息。数据终端都可以接入条码扫描器。对于一些反馈内容既定，同时又需要条码收集数据的控制点，可以采用数据终端+扫描器的搭配方法。3.5从设备获得如果设备存在管理主机

36、，并且该主机配备标准接口，并支持/提供数据通讯协议，则根据主机记录的信息数量、 类别，MESMES 系统可以直接从主机获得信息。通常能够获得的信息包括：,测试数据,设备状态数据加工过程数据3.6手工录入对于现场数据收集来说，手工录入的方式需要尽量避免采用，但是由于条件 的限制又不可避免的会采用该方法。例如：当贴片设备的数据无法直接从设 备获得时，需要收集处理的过程数据（电阻实际值等）则只能通过手工录入 系统。为避免直接的手工录入还提供了两种相对准确的录入方式： 选择录入 在选择项较为固定的情况下用户通过系统界面选择内容记入系统。文件导入 如果存在数据的电子文档且格式明确，用户可以手动导入数据，

37、根据在工艺流程中预设的数据收集项目系统能够自动从文件中记录下需要的数 据。该类文件一般主要为测试结果文件。一般用户确定首选手工录入方式的前提是：数据即时性要求不高（可以离线处理）。数据结构不复杂或单个数据的差异不影响整体数据。*数据量不大。操作人员具备一定的输入能力（打字）。例如：异常处理方式中的描述性信息。MES项目方案书2011-07-26页数21 / 674 MES系统功能4.1产品定义管理产品定义管理对原材料、产品、半成品等进行分类管理，并且建立产品制造 所需要的各种基础信息。模块功能包括：物料主数据,规格基础物料查询4.1.1物料主数据物料主数据定义了企业物料的各种属性。用户可以：自

38、定义物料分类 用户可以新增、编辑、 删除物料的分类。设定物料类别下的具体物料用户可以新增、编辑、删除、查看物料的基础信息。物料的基础信息包括：类别、编码、名称、描述、单位、类型、单价 等。设定物料的规格 用户可以设定物料的各种规格与每个规格需要 控制的值或范围。规格项的设定操作包括：新增、编辑、删除。规格对应的控制范围的设定操作包括：新增、编辑和删 除。设定物料替代料设定物料的单位转换关系导入物料的设计文档规格基础定义了企业可能用到的所有的产品规格项目。4.1.2规格基础用户可以：自定义规格组设定规格组包含的规格 用户新增或编辑规格的：规格名 称、描述、单位、规格类型 规格类型包括：数值类型一

39、精确到小数点后3 3位文本类型一文本，5050 个字符MES项目方案书2011-07-26页数22 / 67布尔类型 一 0 0 或 1 1区间类型一包括一定的范围计算类型 一来自于其他规格实际值的计算结果，系统提供一定种类 的 计算公式的定义。科学计数法一标准的科学计数法表达格式4.1.3物料查询查询已设定的产品、物料的各种属性。包括: ,物料基本属性替代料设计文档,规格p rt*不询由思| eoM |泗I连计aas |MES项目方案书2011-07-26页数23 / 674.2工艺流程管理，h-S-t-2j： ft工I松LW牛*.车处录建IT-FS7101 ztRii K .映焉171(1

40、1TO我面正言.目KE碑 芸芸司植营汗成怵史一由黄鼾J聿E拜也1 一卢.琳I-不去奏mmF舞轴旷审日加龄饥mKkdH-J4一4S：l/2iF4t jfPFrI工F职工亍，工w*基础定义中需要首先设定工艺流程，因为不同的产品需要的工艺流程是不同的、使用的设备是不同的。工艺流程的定义可以分为几个层次：标准工艺流程,工序段工序 工步工艺目标通过这种定义方式企业能将流程进行结构化与系列化的管理。上述的定义在初始化完成之后用户完全可以简单的自行定义、变动。4.2.1工艺基础定义定义工艺流程的基本组成单元：工步、工序、工序段。工艺基础设定的重点在于：工序段 指一组为了完成某一个工艺流程的目的而结合在一起的

41、工序集合 对于大类下不同的工序段可以按照不同的名称来区别。定义工序段的要点在于每一个工序段中都是通过连续的作业来完成产品的一个阶段性的加工目标，同时工序段下的工艺流程很少出现变动（主要指增加工序，生产过程中增加工序的情况，可以通过 WIPWIP 管理中的工 艺流程变更来实现）。 工序MES项目方案书2011-07-26页数24 / 67完成同一个工艺为目的的工步的集合,工步 工步是指生产加工中操作的最小单位。工艺目标 工艺目标是某一工序作业目标。用户需要的工序上设定一定的工艺目标，工艺目标起到的是指导作业人员作业的作用。工艺目标的定义主要是定义工艺目标的内容：工艺目标代码、工艺目标 项目描述、

42、工艺目标对应的工艺条件、对应的数据收集项目、对应的作 业单元作业条件等。具体定义的时候（如果需要）从最小单位工步开始定义，定义工序的时候可 以在工序下添加工步，同样在定义工序段的时候在工序段下添加工序。通过 这种方式用户很容易实现基础工艺的自定义。4.2.2标准工艺定义在工艺基础定义的前提下定义完整的工艺流程。工艺流程可以简单的由不同的工序段组合而成。4.2.3产品流程设定设定产品的流程。建立、导入、编辑产品流程、工艺条件。设定工序需要投入的主料和辅料设定工序需要导入的文件设定工序需要应用的文件设定工序所用的工装4.2.4版本管理通过版本管理可以有效的保存历史流程和参数的历史纪录，便于追溯和查

43、询。同时，通过版本管理也避免了由于修改错误而导致无法复原的状况。*工艺流程版本工艺参数版本4.2.5工艺流程查询可以通过工艺流程查询容易的浏览工艺流程设置中的各项内容：工艺流程查询指定工艺流程的工序段、工序、工艺条件*工序段MES项目方案书2011-07-26页数25 / 67查询应用到该工序段的工艺流程、产品产品流程查询产品工艺流程、工艺条件、物料、收集数据等的设定,工艺条件 查询使用到指定工艺条件的产品、工艺流程MES项目方案书2011-07-26页数26 / 67资源定义是系统基础定义模块之一，通过设置建立工厂生产资源与加工车间 之间的关系；设定需要管理的部件；设定资源可用的工艺条件。

44、资源结构设定 按照：车间、工作中心、作业单元的层次结构设定企业的主生产资源。, 部件管理 自定义不同作业单元的部件，部件可以设定到作业单元上。包括：工装、设备部件、数量（一次使用数量）、替代部件部件列表可以从 SAPSAP 的物料管理中导入。部件的设定的建议是：设定主要的关键部件，否则管理量会比较大。PMPM维护功能中会根据使用寿命的设定来提醒用户更换部件，同时PMPM 纪录中会对部件的安装情况以及老部件的检查情况要求纪录。设定生产单元的基本可能状态，例如：待机、预备、工作、异常、 PMPM 停机、动力停机、故障停机、工程 师借用等。生产单元的基本状态设定决定了工厂监视中能显示的设备状态，决定

45、了OEEOEE 计算时的精度，因此建议用户尽可能地详细分类。4.3生产资源管理4.3.1资源定义4.3.2状态设定MES项目方案书2011-07-26页数27 / 67FABFAB 监视功能为客户提供了一个了解FABFAB 内信息的快速通道。通过界面可以实现：在线观察（所有设备的实时动态）如：报警、生产率、工艺条件、作业批次、 作业人员、作业开始时间、当前批次作业纪录等。问题设备能够被明显的表 小出。在 FABFAB 监视画面中通过选择设备选项还可以进入该设备的SPC:SPC: 根据 SEMISEMI E10E10 的标准分析 ARAMSARAMS 的两个以上的具体状态。分析设备 Failur

46、eFailure （i.e.i.e.报警） 根据 SEMISEMI E10E10 标准分析 RAMRAM 的值（MTBF,MTBF, MTTR,.MTTR,.）, 分析产出和生产周期、中断时间、实际和期望的产量等。 进入该设备的 SPCSPC , ,将工艺值可视化协助工程师找出产品失效、设备问 题和工艺参数之间的关系。显示出通过该设备作业后的产品的检测缺陷。4.3.3 FAB监视TottobSl 3Loti! 10)0trS4 3454 4哗llc39-rllc39-r . .1 1 L3EBSJ1L3EBSJ1 pjpj 4 4 m m 4 4- - d-d- didi B B HrtflH

47、rtfl 2 2 UHJrUHJr b b wmwmH HH HM Mr-Jr-J时伊k k -r-rA A - -dhdhM MLICLICFFEEEEFFEEEEu uFFEEFFEEbEbELLLLFFFFEEEEL-rFFL-rFFFFFFIFFIFFL L JJJJnHnH p-15p-151 1,1,1- - ClCl 3 3! !E EsnLJLJisnLJLJi口口l lLJLJ 1 10 0l lL-JL-J 1 10 0I InunLb*tFR-l-t!1Ijhknown皿 yMnavmICSIDDMTflMUhfenqimLU-KIIJiriornwHiFB*1EBB7u

48、rwiwMihmn54.inrmitifHjf ic*mnntIITend - .jr-.6r dLria:I-LdWfr心 bvl肖 n性rs:Liv也ftdfC&WMncvmBCSaOllM5假UnkmiMiFB5)UnriiWMii山*面5MES项目方案书2011-07-26页数28 / 67, , OEEOEE 计算设备的实际和期望产量。所有的以上功能都能产生报表以供进一步的使用。所有的数据结果都能够被导出，以提供其他分析工具使 用。通过菜单，可以具体的看到任何设备的具体信息。包括：设备状态、 报警记录、PMPM 安排、ARAMSARAMS 历史记录、作业状况、工艺条件、设备利

49、用率等。 可以手动设定设备停机。建议将该功能的权限给与限定的人员。FABview Cell LITHOGRAPHY ARAMS Microscope资源管理提供用户查询资源运行情况的历史记录。包括: OEEOEE 分析 运行记录设备加工量4.3.5资源异常处理当设备或者工装发生异常时的处理流程的管理。包括:,异常单据审批、流转流程异常处理方式V : : 2(n：ih !-诉门 ISPM叶工艺袍响MElffUl M 初唤 4.3.4资源管理TimeARAMS State27.09,00 17; 15;S 7HST/Shutdowp/startup27.09.00Ifi：54139.ENGExce

50、ption HistoryExeeptioniSetRettTypCoInitErr dr13.09.0010;13; 2513.09-0010;13; 33ErrorUnable to start minltErroria .0*9.001Q!13! IS10!13! 24EnwUnable to startinARAM5 HistoryMES项目方案书2011-07-26页数29 / 67异常处理人员4.3.6 PM管理定期的进行设备维护及更换部件，是保证设备正常运行的关键手段。但大量 的设备使设备工程人员在手工情况下难以全面的、及时的做好PMPM 工作。我们 PMPM 计划系统提供完整的

51、维护进度计划及部件购置计划，且提供与ERPERP物料系统提供数据接口。 PMPM 计划基础设定设定不同类型的 PMPM。建议至少设定定期保养、使 用次数保养、使用限值保养（监视数据到达一定值之后的保养）三大类。 PMPM 计划进度清单设定不同设备对应的 PMPM 类型，设定 PMPM 的时间间隔/次数间隔/限定 值，设定 PMPM 需要达到的指标。系统可以通过计算提供PMPM 计划建议。对于定期 PMPM , ,系统可以给出维护时间表，用户可以在表上根据生产情况 来调整 PMPM 时间。对于次数间隔、限定值 PMPM 等，在系统积累了足够的数据之后能够提供 预测表，供设备管理人员参考。 PMP

52、M 提醒根据上述设定，如果 PMPM 在超过时间间隔/次数间隔/ /限定值时系统会自动 提醒相关人员（提醒方式需要用户确定）。同时对于可预测的 PM,PM,系统将计算需要的部件，并检查仓库中的部件， 当部件可能有短缺时，系统能够提醒相关人员。 PMPM 查看察看设备历史 PMPM 的项目、时间、作业人员、PMPM 结果。黄源荚Hh未忘fa千|黄淖血 |未选悻-I木竦.|未函4刁岫虬 床函厂生产域. |末 g宅时史r西瞽Bin |r生产早尤生产匿域留户名称酎间标准岫柏俚推修时间rP130330PM 一国保舞70ITP13Q3333PM 一国保葬70ITP1303第 3：PM 一国保葬70ITF1

53、303333PM 一国保养7rP1203203PM 胃伊辉2006-7-27 6705A0rPL2O4204PM 一且何葬7rPL304204PM 一国僵群70ITPL204204PM 一国株群7rP12O4204PM 一且何昇7aITP1204泌PM 一同俾舞7rP12042041PM70rP1204204PM 一网障昇7ITF1204204FM-国障界70rP1204204PM2DO6&W ll9:4t2J5r23SPM7毋书30 J65SrF123323SPM 一国降界73006-5 30J63SnP129S23SP耽 L-.H闺昇72D.：S 20 J63SMES项目方案书20

54、11-07-26页数30 / 674.4生产进度管理4.4.1生产订单用户可以选择界面中的“生产订单”按键，界面切换到生产订单列表，同样 可以对生产订单按照：生产订单编号生产订单类型产品（规格编号）定单状态时间段完成率进行搜索。列表中显示生产任务单号、生产订单、任务单状态、任务单 总量、投入量、产出量、产品、产出日期等。4.4.2订单产品编辑可以对任务单产品的部分信息进行编辑，包括：,流程物料工序物料收集数据 变更后的信息仅对该任务单中的任务单产品产生影响，而不会 对产品管理中 的产品流程数据产生影响。在系统封闭运行的情况下可以通过MESMES 系统直接手动安排生产订单的投产计划，或者通过 E

55、RPERP 导入的方式。安排时确定投产的产线或工作中心、确定投产的序列号或批号。安排的定单信息可以在WIPWIP 管理中的批次安排界面中获得。4.4.4订单查询统计查询统计订单的各种状况: 订单汇总统计4.4.3生产安排MES项目方案书2011-07-26页数31 / 67l&Ji*牛晶* iHJSJlBJdiflOT-O1-ll；*Sl2DflJ-fl7-J0 *|期 |泅F-M01 *里Smfr餐作椅帝苛产品 广土生土订单匡 a 吊切1殳产订整产fll赣nF . 并童wr S-L 07i ?&UlSFU何450446wl-S-LaTOTDSUQIBL19015014P0F5

56、-L/lU70TO&U917FA1SOSO500F9-LS07OTMM7sra150ISOjSO0IfJLJU/?OGM10f略1SQ1EQQ1L _U/L ?0&*ca1E0?saDks-L5O7t*rO?湘罪*L300300泓0住AL知m?况4湖F心1501501500F-LU7L7U4?0SPA2JQQJCIQaooD皿-L=UT口也1W其Dl=5nL5CiTOTOT L5D3A1湖囱Z5DDF5-L5070I707L1593FD36D0WO59B0FS-L3070707L796F191EQ150ISODPfi-LSfll7MOT|L4DflF&31Qtsa北。0

57、F=-L=O7C7EI7U91B=BEisaateaD相心J：-订单分布统计订单完成率统计订单物料统计产皓HtAfi产出室 当荫量标记洸刻 三街投料t埋M01JE11： 2p时NffiVC2218FA14492S3742E1BFB1姑420S21SFC1422S6FA127550400275+S58FA3SO240244705FA2253?S6DE791FA1446DU215FA446FH10MFA14EiFHlODaFA46FH12D1FA+46FH12Q1FASsg6FH12QSFA326FH1202FA+336FH12D4FA216FH1204FA716FH12Q6FA344本Fm足|所

58、有间|防有宝密客户r辰际 订集；liT* -| | ElMl-S- IS *2MT-MES项目方案书2011-07-26页数32 / 674.5在制品管理在制品（WIPWIP）管理是系统的基本管理模块。在制品管理允许用户对目前在生产线上的所有批次进行灵活的操作。通过对在制品的操作，当生产过程中 发生的问题或异常时能够采取及时的或预先的措施，从而能够达到控制生产，降低在制品库存的目的。基本功能包括： WIPWIP 初始化设定 设定批次属性，批次投入生产前的初始化工作。批次操作批次操作指生产需要采取的对批次的各种动作。批次查询查询指定批次的相关信息。批次跟踪指定要跟踪的批次，批次将会被加入用户的工

59、作界面中。4.5.1 WIP初始化“WIP初始化”能够列出所有新投入的生产批次在清单中显示。对于这些新投入但为生产的批次可以重新定义批次的属性：重新指定批次的批号重新指定批次对应的生产订单重新指定批次优先级4.5.2批次操作批次操作包括：批次合并、拆分对于批量管理的产品会需要批次拆分或合并。批次拆分时可以定义拆分数量、与父批合并方式、合并工序、运行方式（父批先行、子批先行、 并行、暂停）。批次合并有两种方式：子父批合并、同类产品合并。通过批次的合并拆分可以在批量加工设备前合并批次、处理结束后拆分 批次，这样可以在获得较大设备通量的同时也保持了加工信息的连续性。,批次流程设定 可设定操作包括：暂

60、停、预设暂停、设置当道工序、预设定 SkipSkip 工序、增加/删除工序、改变物料、改变工装 /治工具、改变工艺条件。对于在制品的流程进行变更，用户对指定批次可以调整未作业流程顺序、在指定工序前设定暂停、设定跳过指定工序。根据特殊要求还可以增加 /MES项目方案书2011-07-26页数33 / 67删除部分未作业流程。一般我们不建议用户增加、删除流程，这样容易 造成操作失误，对于需要删除的流程可以采用跳过的方法；对于增加流 程的情况一般是该批次已经不是原来的产品，因此可以先对批次进行品 种变更、这样未完成流程就改变为另一种产品的流程。Ek nsirtK:!kSGHOnffhRt1ELXH 心】：Jn魄 岫Atex。懈.nmmgQWH 11 lt!；制由IftmJBSJOHflM 31 U化苦I* HIT