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文档简介
1、SJ 20243 93 HP4278A型1kHz 1MHz电容表 检定规程中华人民共和国电子行业军用标准HP4278A型1kHz/1MHz电容表检定规程 Verification regulation of modelHP4278A 1kHz/1MHz capacitance meter1范围1.1主题内容 本检定规程规定了HP4278A型1kHz/1MHz电容
2、表(以下简称HP4278A)的检定条件、检定项目、检定方法,检定结果处理及检定周期。1.2适用范围 本检定规程适用于HP4278A的检定。2引用文件 本章无条文。3定义 本章无条文。4一般要求 HP4278A可用于电容器的容量及损耗等参数的测量。 该仪器主要由信号源、电压矢量比检测器、微处理器、显示器等组成,其测试原理如图1所示。图1
3、; 图中:RS是一组标准电阻;A是由相检器、放大器、加法器等组成的高频高增益反馈放大器;控制器提供测量过程中所需的各种时序控制信号及软件补偿。4.2技术要求4.2.1测试频率 1kHz、1MHz 准确度:士0.02%4.2.2信号电平 0.11.0Vrms 准确度:士1O%4.2.3测试参数 并联等效电路测试参数:CPD,CPQ,CPG;
4、0; 串联等效电路测试参数:CS一D,CSQ,CSESR; 1kHz测试参数准确度:见表1所示; 1MHz测试参数准确度:见表2及表3所示。 表格中三个准确度依次是测量时间短方式、中方式、长方式的测量准确度。表1 1kHz测试参数准确度C量程CP CS
5、D1OOpF1nF1OnF1F10F(0.13+0.03/ko)%+(0.05+0.25/ ko)%(0.08+0.02/ko)%+(0.03+0.02/ ko)%(0.04+0.01/ko)%+(0.015+0.01/ ko)%(0.13+0.03/ko)%+(0.001+0.005/ ko)/a(0.08+0.02/ko)%+(0.0006+0.0004/ ko)/a(0.04+0.01/ko)%+(0.0003+0.0002/ ko)/a
6、0; 100F(0.13+0.03/ko)%+(0.05+0.25/ko)·a2%(0.13+0.03/ko)%+(0.05
7、+0.25/ko)·a2%(0.13+0.03/ko)%+(0.05+0.25/ko)·a2%(0.13+0.03/ko)%+(0.05+0.25/ko)·a(0.13+0.03/ko)%+(0.05+0.25/ko)·a(0.13+0.03/ko)%+(0.05+0.25/ko)·a表中:a=CrdgCf;Crdg:C(F)读数值; Cf:C(F)量程的满度值; ko=Voac/1V
8、; Voac:测试信号电平。表2 普通模式测试参数准确度C量程pFCP CSD10.3%+(0.8/ko)%0.2 %+(0.06/ko)%0.05%+(0.06/ko)%0.3%+(0.006/ko)/a0.2%+(0.003+0.001/ ko)/a0.1%+(0.001/ko)/a20.3%+(0.4/ko)%0.2%+(0.02/ko)%0.05%+(0.02/ko)%0.3%+(0
9、.005/ko)/a0.2%+(0.0015+0.0005/ ko)/a0.1%+(0.0005/ko)/a481632641280.3%+(0.4/ko)%0.2%+(0.03/ko)%0.05%+(0.03/ko)%25651210240.3%+(0.4/ko)%0.2%+(0.02/ko)%0.1%+(0.02/ko)%表3 1MHz高准确度模式测试参数准确度CrcpFCP CSD0<Crc20.2
10、%+(0.002/ko)pF0.1%+(0.0004/ko)pF0.08%+(0.0004/ko)pF(0.04+0.004/ko)·1/Crdg(0.0012+0.0004/ko)·1/Crdg(0.0006/ko)·1/Crdg2<Crc40.2%+(0.002/ko)%0.1%+(0.0004/ko)pF0.08%+(0.0004/ko)pFO.OO2+O.002/koO.OO06+O.0002/ko0.0001+0.0002/ko续表3CrcpFCP
11、60; CSD4<Crc256(0.2+0.2/ko)%(0.1+0.01/ko)%(0.04+0.01/ko)%0.002+0.002/ko0.0006+0.0001/ko0.0001+0.OOO1/ko 256<Crc1024(0.2+0.2/ko)%(0.1+0.1/ko)%(0.06+0.01/ko)%0.02+0.002/ko0.006+0.0001/ko0.0002+0.OOO1/ko 1024<Crc2048(0.2+0.2/
12、ko)%(0.1+0.01/ko)%(0.1+0.01/ko)%0.002+0.002/ko0.0006+0.0001/ko0.0003+0.OOO1/ko4.2.4测试电缆长度 0m、1m、2m。4.2.5测试时间方式方 式短中长时间6.5士0.5ms10.0士1ms21.0士1ms4.2.6测量端 四端对。4.3检定条件4.3.1环境条件 a环境温度:20士2; b相对湿度:45%75%
13、; c大气压强:86106kPa;d. 供电电源:220V士2%,50Hz士1%;e周围环境:应避免外界电磁场干扰。4.3.2检定用设备4.3.2.1频率计 测频范围:1kHz1MHz; 准确度:5×10-6士1字; 参考型号:AS3371多用计数器。4.3.2.2电压表 电压范围:0.11.0V; 频
14、率范围:1kHz1MHz; 准确度:士3.O%; 参考型号:DA24型有效值电压表;1095A数字多用表。4.3.2.3标准电容器 范围:1 pF1F; 准确度:士0.01%; 参考型号:HP16380A;HP16380C(校准值)4.3.2.4标准电阻器 0标准电阻、10标准电阻;
15、60; 准确度:O为0.04;10为士0.03%; 参考型号:HP16074A标准电阻器组。4.3.2.5开路器、短路器 参考型号:HP16074A。4.3.2.6 1m、2m带BNC的测试线。 参考型号:HP16048A/D。4.3.2.7计算机、HP-IB电缆 参考型号:HP9826;HP10833A。5详细要求5.1检定项目与检定方法5.1.1外观及工作正常性检查5.1.1.
16、1受检HP4278A应附有产品技术说明书及必要的附件,非首次检定时,应附有前次检定证书。5.1.1.2受检HP4278A应无影响其正常工作的机械损伤。5.1.2频率准确度检定5.1.2.1接图2连接仪器,用两端带BNC接头电缆线,将HP4278A的“Hcur”(电流)端频率计输入端相连。图25.1.2.2 HP4278A的面板设置如下: Test Frequency(测试频率):1kHz Osc Level(信号电平):1.O
17、VrmsOther Controls(其他位置):初始位置5.1.2.3将频率计显示值记入附录A表A1中。5.1.2.4将HP4278A的测试频率设置到1MHz。5.1.2S将频率计显示值记入附录A表A1中。5.1.3信号电平的检定5.1.3.1按图3连接仪器,将HP4278A的Hcur(电流端)与电压表的输入端相连。5.1.3.2 HP4278A的面板设置如下: Test Frequency:1kHz Measurement Range:1OFOther
18、0;Controls:初始位置 5.1.3.3按附录A表A2中的检定点设置HP4278A的信号电平。5.1.3.4对于不同的检定点将电压表相应的示值记入附录A表A2中。5.1.3.5 HP4278A面板设置调整如下: Test Frequency:1MHz Measurement Range:1024pF Other Cont
19、rols:初始位置5.1.3.6重复5.1.3.3和5.1.3.4。5.1.4 1kHz电容测量准确度检定5.1.4.1 0m,1kHz电容准确度检定5.1.4.1.1将开路器接到HP4278A “unknown”(未知端)。5.1.4.1.2 HP4278A面板设置如下: I Test Frequency:1kHz Measurement Parameter:Cp-D
20、60; Measurement Range:1OOpF Osc Level:1.0VrmsINTEG TIME(积分时间):LONG(长) Triqqer Mode(触发模式):MAN TRIG(手动触发) Cable Length(电缆长度):0m Other Controls :初始位置5.1.4
21、.1.3 依次按“MENU”(菜单),“NEXT”(换页)键和“COMPEN”(补偿)键。5.1.4.1.4按“OPEN COMPEN”(开路补偿)键,等待Om开路补偿完毕。5.1.4.1.5按“OPEN ON”(开入补偿写入)键。5.1.4.1.6去掉“开路器”,将“短路器”接到HP4278A “unknown”端。5.1.4.1.7按“NEXT”键。5.1.4.1.8按“SHORT COMPEN”(短路补偿)键,等待0m短路补偿完毕。补偿完毕。5.1.4.1.9按“SHORT ON”(短路补偿写入)键。5.1.4.1.
22、10按三次“NEXT”键,然后按“TMP COMPEN”(温度补偿)键,进行温度补偿。5.1.4.1.11去掉“短路器”,将100pF标准电容器接到HP4278A的“unknown”端。5.1.4.1.12 按“TRIGGER”(触发)键。5.1.4.1.13将CP和D值记入附录A表A3中。5.1.4.1.14按附录A表A3的规定连接标准电容器和变换测量量程,并重复5.1.4.1.12及5.1.4.1.13条。 5.1.4.1.15调整信号电平到0.3V。 5.1.4.1.16重复5.1.4.1.12到5.1.4.1.14条 5.1.4.1.1
23、7 去掉1F标准电容器,将O标准电阻器接到HP4278A的“unknown”端 5.1.4.1.18 HP4278A的控制调整如下: Measurement Parameter:Cs-Rs Measurement Range:10OF Osc Level:1.0Vrms 5.1.4.1.19按“
24、TRIGGER”键。 5.1.4.1.20记录Rs值,该值作为R10()。 5.1.4.1.21去掉O标准电阻器,测量量程设置为1OF,将10标准电阻接到HP4278A的“unknown”端。 5.1.4.1.22 按“TRIGGER”键。 5.1.4.1.23记录RS值,该值作为R10()。 5.1.4.1.24按下列公式计算R值。
25、 R=R10-R0 5.1.4.1.25 R的计算值应在C.V士0.014028()范围内(C.V为校准值)。5.1.4.2 1kHz,1m,2m电缆长度补偿准确度检定 5.1.4.2.1 如图4所示,将HP16048A接到HP4278A的“unknown”端,然后将“开路器”接到HP16048A的测试头。5.1.4.2.2 HP4278A的面板设置如下: Measurement Par
26、ameter:CpD Measurement Rsnge: 100pF Cable Length:1m5.1.4.2.3依次按“MENU”键,“NEXT”键和“COMPEN”键。5.1.4.2.4按“OPEN COMPEN”键。等待1m开路补偿完毕。5.1.4.2.5按“OPEN ON”键。5.1.4.2.6去掉“开路器”,将“短路器“接到HP16048A的测试头。5.1.4.2.7按“NEXT”键,“SHORT COMPEN”键,等待1m短路
27、补偿完毕。5.1.4.2.8按“SHORT ON”键。5.1.4.2.9去掉“短路器”,将100pF标准电容器接到HP16048A测试头。5.1.4.2.10按“TRIGGER”键。5.1.4.2.11将CP和D值记入附录A表A4中。5.1.4.2.12去掉HP16048A和100pF标准电容器。5.1.4.2.13将HP16048D接到HP4278A的“unknown”端,然后将“开路器”接到HP1604测试头。5.1.4.2.14电缆长度设置2m。5.1.4.2.15依次按“MENU”键,“NEXT”键和“COMPEN”键。5.1.4.2.16按“OPEN COMPEN
28、”键,等待2m开路补偿完毕。5.1.4.2.17按“OPEN ON”键。5.1.4.2.18去掉“开路器”,将“短路器”接到HP16048D的测试头。5.1.4.2.19按“NEXT”键,“SHORT COMPEN”,等待2m短路补偿完毕。5.1.4.2.20按“SHORT ON”键。5.1.4.2.21去掉“短路器”,将1OOpF标准电容器接到HP16048D测试头。5.1.4.2.22重复5.1.4.2.10和5.1.4.2.11条5.1.5 1MHz电容测量准确度检定5.1.5.1 1MHz普通模式测试参数准确度检定5.1.5.1.1
29、160; 将“开路器”接到HP4278A的“unknown”端。5.1.5.1.2 HP4278A面板设置如下:Test Frequency: 1MHzHI ACC Mode(高准确度模式):ONMeasurement parameter:CPDINTEG TIME: LONGMeasurement Range:1pFOsc Level:1.0VrmsCable Length:0mTrigger Mode:MAN TRIGOther
30、Controls:初始位置5.1.5.1.3 依次按“MENU”键,“NEXT”键。“COMPEN”键,“OPEN COMPEN”键,等待0m开路补偿完毕。5.1.5.1.4按“OPEN ON”键。5.1.5.1.5 去掉“开路器”,将“短路器”接到HP4278A“unknown”端。5.1.5.1.6 按“NEXT”键,“SHORT COMPEN”键,等待0m短路补偿完毕。5.1.5.1.7按“SHORT ON”键。5.1.5.1.8按“NEXT”键三次,然后按“TEMP COMPEN”键,进行温度补偿。5.1.
31、5.1.9去掉“短路器”,将1pF标准电容器接到HP4278A的“unknown”端。5.1.5.1.10按“TRIGGER”键。5.1.5.1.1l将CP和D的显示值记入附录A表A5中。5.1.5.1.12按附录A表A5规定连接标准电容器,重复5.1.5.1.10和5.1.5.1.11条。5.1.5.2 1MHz高准确度模式准确度检定5.1.5.2.1将10pF标准电容器接到HP4278A的“unknown”端。 5.1.5.2.2测量量程设置为8.32pF。5.1.5.2.3按“TRIGGER”键。5.1.5.2.4将CP和D的显示值
32、记入附录A表A6中。5.1.5.2.5按附录A表A6的规定设置测量量程,重复5.1.52.3和5.1.5.2.4条。 5.1.5.3不同积分时间的电容测量准确度的检定5.1.5.3.1将10pF标准电容器接到HP4278A的“unknown”端。5.1.5.3.2 HP4278A的面板设置如下: HI ACC Mode :OFF Measurement Range:8pF5.1.5.3.3按“TRIGGER”
33、键。5.1.5.3.4将CP和D的显示值记入附录A表A7中。5.1.5.3.5按附录A表A7中的规定设置积分时间,重复5.1.5.3.3和5.1.5.3.4条。5.1.5.4 1MHz,1m,2m电缆长度补偿准确度检定5.1.5.4.1 如图4所示,将HP16048A接到HP4278A的测试端。5.1.5.4.2 HP4278A的面板设置如下: Test Frequency: 1MHz HI ACC Mode:
34、ON Measurement Ranger:100pF Cable Length: 1m。 INTEG TIME:LONG5.1.5.4.3重复5.1.4.2.3至5.1.4.2.10条。5.1.5.4.4将CP和D的显示值记入附录A表A8中。5.1.5.4.5重复5.1.4.2.12至5.1.4.2.21条。5.1.5.4.6重复5.1.4.2.10和5.1.5.4.4条。5.1.6 HP-IB计算机接口功
35、能检查5.1.6.1将HP9826计算主机与HP4278A的HP-IB接口相连。5.1.6.2设置HP4278A的HP-IB地址为17,HP9826接口选择码为(7)。5.1.6.3键盘输入计算机程序如下: 10 DIM A$38 20 0UTPUT 717;A$“*IDN?” 30 ENTER 717;A$ 40 PRINT
36、60;A$ 50 0UTPUT 717“*SRE32” 60 0UTPUT 7171;“ABC” 70 PRINT SPOLL (717) 80 END5.1.6.4按HP9826A的“STEP”键,执行20语句。5.1.6.5此时“LTN”和“RMT”灯亮,并且按“NEXT”键,软件表格页不变。5.1.6.6按HP4278A的“LC
37、L”键,“LTN”灯仍亮,而“RMT”灯灭,按“NEXT”键,软件表格页可改变。5.1.6.7按HP9826上的“STEP”键,执行30语句,此时“TLK”灯亮。5.1.6.8执行40语句,HP9826如下显示: “HEWLLETPACKRD, 4278A, 0000A00000, REV.0”5.1.6.9执行60语句,“SRQ,LTN,RMT”灯亮。5.1.6.10执行80语句,HP9826显示状态字节。5.2检定结果的处理和检定周期5.2.1经检定合格的仪器,出具检定证书;不合格者出具检定结果通知书,并注明不合格
38、项目。5.2.2检定周期为一年,必要时可随时送检。附录A检定记录表格式(补充件)表A1 频率准确度检定 频率标称值 频率计读数 准确度 1kHz 1MHz 表A2 信号电平准确度检定信号电平V1kHz1MHz电压表读数V准确度电压表
39、读数V准确度0.10.20.3O. 40.50.60.7O.80.91.0表A3 1kHz电容测量准确度检定标准电容测量量程Osc 1.OVrmsOsc O.3Vrms测试误差限CP DCP D100pF1OOpFC.V.±O.075pF(C.V.0.077pF)±O.00050(±0.00052)1000pF1OOOpFC.V.±O.00075nF(C.V.0.00077nF)±O.00050(±0.00052)0.01F10nFC.V.±O.0075nF(C.V.0.0077nF)±O.00050(±0.00052)0.1F1OOnFC.V.±O.075nF(C.V.0.077nF)±O.00050(±0.00052)1F1FC.V.±O.00075F(C.V.0.00077F)±O.00050(±0.00052)C.V:每个标准电容器的校准值;括号中的值是Osc为0.3V时CP、D的极限值。表A4 &
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