PECVD减反膜技术学习教案_第1页
PECVD减反膜技术学习教案_第2页
PECVD减反膜技术学习教案_第3页
PECVD减反膜技术学习教案_第4页
PECVD减反膜技术学习教案_第5页
已阅读5页，还剩26页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

1、会计学1PECVD减反膜技术减反膜技术第一页，共31页。2第1页/共30页第二页，共31页。3第2页/共30页第三页，共31页。4第3页/共30页第四页，共31页。5第4页/共30页第五页，共31页。6第5页/共30页第六页，共31页。7第6页/共30页第七页，共31页。8第7页/共30页第八页，共31页。9第8页/共30页第九页，共31页。10PECVD第9页/共30页第十页，共31页。11第10页/共30页第十一页，共31页。12第11页/共30页第十二页，共31页。13第12页/共30页第十三页，共31页。14第13页/共30页第十四页，共31页。15第14页/共30页第十五页，共31页

2、。16第15页/共30页第十六页，共31页。17第16页/共30页第十七页，共31页。18第17页/共30页第十八页，共31页。19第18页/共30页第十九页，共31页。20第19页/共30页第二十页，共31页。21第20页/共30页第二十一页，共31页。22第21页/共30页第二十二页，共31页。23第22页/共30页第二十三页，共31页。24第23页/共30页第二十四页，共31页。25第24页/共30页第二十五页，共31页。26第25页/共30页第二十六页，共31页。27第26页/共30页第二十七页，共31页。28第27页/共30页第二十八页，共31页。29第28页/共30页第二十九页，共31页。30第29页/共30页第三十页，共31页。NoImage内容(nirng)总结会计学。折射率n随x增加而增加。等离子体从宏观来说也是电中性，但是在局部可以为非电中性。直接式基片位于一个电极上，直接接触(jich)等离子体（低频放电10-500kHz或高频）。间接式基片不接触(jich)激发电极（如微波激发等离子）。厚度的均匀性(nominal 约70 nm)。二氧化硅膜和氮化硅膜的比较。若表面氧钝化采用在氢气氛围中退火，钝化效果会有所改善。安

人人文库> 全部分类> 教育资料 > 课件下载

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论