GX-WI-SC-001 A0干膜部作业指导书

1、GX赣州广兴电子电路有限公司GANZGOU GUANGXIN ELECTRONIC CIRCUIT CO.,LTD.文件编号:制订日期:版 本:页 码:GX-WI-SC-0012014-10-5A0第5 页共5 页文 件 名 称干膜部作业指导书修 改 记 录制/修订页次版次修 改 内 容制/修订日期共6页A0新制定2014-10-05受 控 文 件 保 管 记 录分发号会签单位签 名 栏日 期作 废 文 件 回 收 记 录文件份数回收时间销毁人销毁时间01总经理室02管理者代表03行 政 部04财 务 部05业 务 部06品 管 部07生 产 部08工 程 部09采 购 部10PMC 部签署栏

2、编制:审核:批准:受控章日期:日期:日期:1.目的将底片的线路图像转移到覆铜板上，形成一种抗蚀或抗电镀的掩膜图像.2.适用范围干膜部所有员工.3.质量要求3.1干膜厚度均匀，无起皱现象及干膜与板面结合力良好；3.2干膜底无杂物、无氧化、污迹；3.3曝光、显影后，干膜板无曝光过度、曝光不良、显影不净等不良现象；3.4其他要求参见干膜线路转移检验标准.4.工艺环境及要求 4.1干膜车间照明灯为安全黄光灯； 4.2室内温度：18-24,相对湿度：50-70%； 4.3进入净化房必须穿工鞋；5.操作条件 5.1前处理磨板机、显影机操作条件：序号磨板机1名称规格2酸洗缸的容积150L-200L3酸洗缸开

3、缸比例2%-3%硫酸溶液4酸洗缸换缸周期每12小时一次5循环水洗压力1 -2kg/cm26烘干温度90±57机器输送速度2.5-5m/min8磨痕宽度15mm±5mm5.2干膜贴膜机操作条件：压辘压力5.5±0.5kg/cm2压辘温度100-130输送速度1.0-2.0m/分5.3曝光机操作条件：抽真空强度-650 Hg曝光强度(能量)21级曝光尺的曝光级数为6-9级曝光灯能量旭化城干膜120-150mj/cm2长兴干膜80-130mj/cm2湿膜250-350mj/cm2 5.4其他 5.4.1黄菲林曝光次数应800次； 5.4.2氨水机的显影温度为60-70.

4、6.作业流程6.1流程图磨板贴膜静放对位曝光静放显影检查6.2生产前准备 6.2.1前处理磨板机 6.2.1.1检查磨板机的酸洗缸药水是否需要更换; 6.2.1.2检查各喷咀是否畅通; 6.2.1.3检查药水洗、各循环水洗的压力是否与使用要求相符; 6.2.1.4检查吹干段发热线及鼓风工作是否正常; 6.2.1.5输送及整个机器运转是否正常.6.2.2压模机 6.2.2.1检查压膜机是否有刮伤、缺口、残胶,并用90%以上的甲醇清洁表面; 6.2.2.2检查气压是否足够; 6.2.2.3检查机器运转是否正常. 6.2.3曝光机 6.2.3.1检查曝光机的循环水是否在规定范围内; 6.2.3.2检

5、查真空盘胶膜是否有破损、漏气，曝光机是否正常. 6.2.4显影机 6.2.4.1检查酸洗缸药水是否需要更换; 6.2.4.2检查各个喷咀是否畅通; 6.2.4.3检查药水洗、各循环水洗的压力是否与使用要求相符; 6.2.4.4检查吹干段发热线及鼓风工作是否正常; 6.2.4.5输送及整个机器运转是否正常. 6.3生产操作 6.3.1前处理 6.3.1.1将各水缸洗净,加满自来水至水位线; 6.3.1.2酸洗缸加水至水位线的3/4处,小心倒入4.5-6L硫酸,然后加水至满刻度; 6.3.1.3打开自来水清洗球阀; 6.3.1.4打开电源开关,触摸人机界面出现主画面,开启启动按钮; 6.3.1.5

6、依次输入酸洗、循环水洗、上下磨辘、摇摆、循环水洗、鼓风机、发热线等开关; 6.3.1.6调校温度控制至所需温度; 6.3.1.7调校速度控制至所需速度; 6.3.1.8调校磨辘压力,使磨痕宽度在15±5mm之间; 6.3.1.9每次磨厚度不同的板,都需要调整磨辘压力,而调校后要试磨刷3块板,检查是否干净才可正式磨板; 6.3.1.10检查控制面板上的低水位、门掣等各故障指示灯在运作过程中是否亮起，若有则将问题处理好后重新开机运转. 6.3.2贴膜 6.3.2.1根据待贴板的外形尺寸,量出所需尺寸的干膜; 6.3.2.2将所需尺寸的干膜正确地装在压膜机上; 6.3.2.3调好固定档板的

7、位置,固定好档板镙丝; 6.3.2.4打开电源以及气压阀门开关,启动温控开关,开始对压辘进行升温,温度控制在100-120之间; 6.3.2.5调好压辘压力,压力控制在5.5±0.5kg/cm2之间; 6.3.2.6检查磨过的板是否有氧化等其他不良现象,将检查合格的板平放在压膜机输送轮上进行压膜作业; 6.3.2.7压膜作业过程中,板与板之间的距离间隔在3-5mm; 6.3.2.8在压膜机的输出口,把贴好膜的板用小刀割开,并把多余的膜边切除,将板插在铁排上静放10-15分钟,然后收板放置在待曝光区并遮光贮存; 6.3.2.9贴好膜待曝光的板存放时间不能超过24小时. 6.3.3湿膜

8、6.3.3.1湿膜操作员必须戴手指套; 6.3.3.2每款生产板均需做试板,检查孔是否进油、油墨太薄，油墨进孔压力大造成，应减小压力,油墨太薄调校油刀与涂布辘之间距离,待正常为止,要求涂出板面平整且无油墨进孔; 6.3.3.3涂布辘每天清洗一次,清洗干净直至看不见辘上有油墨为止; 6.3.3.4烘板,第一面烤5-10分钟,第二面烤15-20分钟,单面板烤25分钟，将炉温设定在75,时间按需要调节,焗炉每天保养一次,用洗衣粉和清水清洗炉内各部位,然后升温至150烘烤30分钟，待冷却后方可烤板. 6.3.4对位 6.3.4.1由菲林检查员将待生产板所需菲林检查好,交于对位人员; 6.3.4.2对位

9、人员注意菲林正反面,胶纸一定不能贴反,且用红胶封住打孔位,防止干膜碎裂; 6.3.4.3对位时留意图形反向,一般以最小孔为标准,不能有破孔现象,如有及时询问当班班长,确认后方可作业,对线路较密的板,对位员应每对3-5中张清洗菲林一次(如工程部有特殊注明,按标示孔对位); 6.3.4.4菲林检查员,必须做到对位员每对20中张检查菲林一次,防止垃圾、黄点、擦花造成洗板，减少部门洗板，降低不良率. 6.3.5曝光 6.3.5.1曝光员开工第一时间应清洁曝光盘和自身清洁,并将曝光尺定在6-9格; 6.3.5.2曝光员主要是曝光机在抽真空时辅助赶气,即将对好位的板放到曝光盘中打开吸气开关待吸气,当吸气强

10、度达到90%以上时,开始赶气,然后打开输送开关进行曝光(注意每曝5-10中张必须清洁爆光玻璃及曝光膜,防止垃圾造成洗板); 6.3.5.3曝光后的板需静放15分钟后方可显影. 6.3.6显影 6.3.6.1将各水缸洗净,加满自来水至水位线; 6.3.6.2显影缸加水至标准水位线处,按比例添加无水碳酸钠或碳酸钾,使浓度达到规定标准; 6.3.6.3打开自来水清洁阀门; 6.3.6.4打开电源总开关,开启启动按纽; 6.3.6.5依次开启输送、显影(1、2)、显影加热、加压水洗(1、2、3、4)、清水洗、强风吹干、热风吹干等开关; 6.3.6.6调校温度控制至所需温度; 6.3.6.7调校速度控制

11、至所需速度; 6.3.6.8将已曝光待显影的板撕掉保护胶膜后放在显影机传送带上,进行显影作业; 6.3.6.9检查显影后的板是否有显影不净、显影过度等不良现象,需检验合格后方可批量生产; 6.3.6.10生产过程中,注意检查控制箱面板上的低水位、门掣等各故障指示灯在运作过程中是否亮起，若有则将问题处理好后重新开机运转. 6.3.7检查 6.3.7.1将显影后的板放到检查台上检查; 6.3.7.2检查干膜板有无曝光过度、曝光不良、显影过度等不良现象; 6.3.7.3其他要求参见干膜线路转移检验标准； 6.3.7.4检查合格的板,放在待抽验区,待IPQC抽检合格后,方可转入下工序. 6.4生产后处理 6.4.1磨板机 6.4.1.1放完板后,分别按下各个停止键,关掉电源总工关和自来水阀门; 6.4.1.2下班前,打开所有缸的放水阀门,并清洗所有水缸及过滤网. 6.4.2压膜机、曝光机 6.4.2.1压完板后或下班前,按下压膜机温度控制开关、电源总开关以及关闭气压阀门，清洁机器表面; 6.4.2.2下班前,分别