气体纯化技术

1、气体纯化技术技术基于：purificationv基于“fab”模式纯化所有的大宗气体（n2、o2、ar、he、和cad）v可以将纯度低于1ppb的气体纯度提高到0.1ppbv产气流量范围从10m3/hr到3000m3/hr。v对大量的特气也能纯化。pure gas technologiesv吹扫/柜式纯化器v点使用式纯化器v区域纯化器v大型纯化器bulk gas purification technologiesv材料及操作原则v杂质去除v应用materialsgetters:均质金属（无支撑）：球状锆、钒、钛supported metals:支撑性材料、反应金属：球状铜、镍、铂、保护性物质z

2、eolites：均质金属：球状、分子筛operationv纯化进程1、催化氧化2、物理吸收3、化学吸收催化氧化v催化氧化进程：将甲烷、非甲烷碳氢化合物氧化co2和h2o。v方法：催化器+加温+o2v保护性物质+铂，300400 ，富氧环境v反应过程： 2h2+o2=2h2o 2co+1o2=2co2 1ch4+2o2=1co2+2h2o催化氧化n2/aro2coh2ch4co2h2oh2oco2co2h2opdpdooo2pdo物理吸收v分子筛v优点： 1、能有效去除co2与h2o（不去除o2） 2、筒室温度可控 3、进程在高温下完全可逆v缺点： 1、常量普通 物理吸附n2/aro2coh2c

3、h4co2h2oco2h2o h2oh2oco2化学吸收v支撑性金属（吸收器）：铜、镍、等v优点：1、金属能化学吸附o2、co、h22、金属网格能物理吸附h2o与co23、筒室温度可控4、进程在高温下完全可逆：nio+h2+加温=ni+h2o5、局部压力不会造成重大影响化学吸附支撑性金属n2/arcoh2h2oco2ninioo2ni oonini化学吸收v捕获器：锆、钒、钛、等v优点：1、化学方式吸收n2、ch4、o2、h2o、co、h2、co22、筒室温度可控（低产量）或加热过程最优化3、相对较高的产量4、局部压力不会造成重大影响化学吸附捕获器he/arhzrzroo2zr nczrco2

4、/con2ch4热扩散 表面杂质 扩散至大宗气体300-400 0 c氧气纯化工艺催化床吸附床ps6装配图仪表气体系统图ps6纯化器人机界面vstatus指示性的显示系统状态vtime为当前进行步骤计时vtemp& pressure指示性的显示当前的压力温度vflow当前进程气体流量数人机界面按键v在任何界面下激活目录条v回到主界面v在任何界面下进入报警和警告界面v关闭报警声 提高/减低所需值 在多个文档中切换 人机界面操作v按下 后出现的界面：restart：启动初纯化器，或者在出现报警后取消报警并重启纯化器。details:深入显示当前系统的控制点参数。alarms:激活报警界面，显示激活的报警，警告及信息。events:激活历史事件表，显示最多500条历史事件。人机界面操作v按下 后的界面人机界面操作人机界面操作故障处理v故障报警界面：v按下 后显示的界面。故障处理v当出现故障的时候status信息会从system ok变到闪烁的alarm、warning信息。vaccept:点击确认单个报警信息。vall：点击确认所有报警信息。vaccept后的警报信息会显示为灰色v未accept得警报信息会