




下载本文档
版权说明:本文档由用户提供并上传,收益归属内容提供方,若内容存在侵权,请进行举报或认领
文档简介
1、微纳结构的载能离子制备、调控及其机理研究年度报告摘 要:以粒子束技术为基础的材料制造技术,在材料和半导体器件的发展中起着举足轻重的作用,芯片性能的提高将更多地依赖于粒子束与微纳物质作用及其精确调控技术。目前,离子注入技术最成功的应用领域是半导体工业,其被广泛应用于半导体漏、阱掺杂工艺中;另一方面,在微电子、光电子领域的前沿-SOI技术领域,离子注入技术同样获得广泛应用,例如:采用氧离子注入合成SOI材料并利用缺陷离子实现对其绝缘埋层厚度的精确调控,氦-氧多种类离子注入合成SOI纳米结构等。此外,为了推动微电子技术沿摩尔定律继续发展,新型硅基应变材料,如,绝缘体上应变硅和绝缘体上应变锗硅等,由于
2、具有比Si高的多的载流子迁移率以及同传统的Si器件工艺兼容,因而得到研究领域和产业界的高度重视。其材料制备关注的焦点在于利用离子注入引入纳米孔层对异质外延应变材料应力释放,实现应力转移,最终获得以上新型硅基应变材料。总之,对离子注入合成纳米尺度材料的机理进行研究,探索半导体材料离子注入原子的沉淀分解、扩散与成核长大等物理效应与演变机制,以及粒子束对材料应变的形成、应变释放的作用对新型半导体材料合成具有重要的指导意义。高能离子束与光电绝缘体功能材料的相互作用是一个具有很强应用前景的课题。具有一定能量的离子束,轰击光电功能材料表面,辐照离子通过损伤、缺陷机制,诱导特定区域的折射率发生变化,在表面形
3、成光波导结构。根据注入离子的能量、方式的不同,可以分为离子注入、快重离子辐照、聚焦质子束。我们综合利用上述手段在多种晶体材料中晶体上实现波导结构,研究表明离子辐照技术作为一种非平衡的物理方法,注入离子的数量小,而且多数离子都位于注入射程的末端,在波导层中几乎没有掺杂效应,能够保持晶体的原有组分和结构,通过适当的热退火处理,波导层中的色心和点缺陷可以被消除,使得波导层可以保持原有的光学性能,是一种“晶体波导”。通过系统的研究,在多种晶体上制备出性能稳定、导模质量好的光波导,实现波导中光学倍频和激光输出,并通过理论分析p 对其辐照机理进行了探讨。这对于无/有微纳光子器件的研究奠定了实验和理论基础。
4、【关键词】:p :离子束 绝缘体上硅 光波导Control and Mechanism of Synthesizing Micro-nano Structures by Ion Beam Annual ReportZhang Miao1 Wang _uelin2 Wei _ing1(1.Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences; 2.Shandong University)Abstract: Materials fabrication process bas
5、ed on ion beam technology plays an important role in the development of materials and semiconductor devices.Nowadays, the most successful application of ion implantation technology is in semiconductor industry, and it is widely used in source/ drain and well doping.On the other hand, ion implantatio
6、n technology is also widely used in the leading edge SOI technology; for e_le, O+ implantation or O+/He+ co-implantation are used to fabricate SOI nano-structures.Furthermore, for developing the IC technology following the Moores law, strained materials such as strained Si on insulator and strained
7、SiGe on insulator gain attentions from researchers and panies due to its higher carrier mobility than Si and process patibility with Si technology.The key issue for fabricating these materials is realization of strain rela_ation with nano-cavity layer induced by ion implantation.In summary, investig
8、ating the mechanism of synthesizing nano-scale materials, e_ploring the precipitate deposition, nucleation, growth and evolution mechanisms of implanted ions, and studying the stain rela_ation effects play a guiding role in fabricating new semiconductor materials.Interaction of high-energy ion beam
9、with optical functional materials is a highly promising subject.Damages and defects caused by ion irradiation induced refractive inde_ changes in a specific area to form the optical waveguide structure in the surface of optical functional materials.Depending on the energy of the implanted ions and m
10、ethods, ion irradiation can be divided into ion implantation, fast heavy ion irradiation and focused proton beam.As a non-equilibrium method, very small amount of ions are introduced in the crystals; in addition, most ions distributed at the end of the injection range.The doping effect can be avoided in the waveguide layer, which maintains the original position and crystal structure.The color center and point defect caused by ion irra
温馨提示
- 1. 本站所有资源如无特殊说明,都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
- 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等,如果需要附件,请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
- 3. 本站RAR压缩包中若带图纸,网页内容里面会有图纸预览,若没有图纸预览就没有图纸。
- 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
- 5. 人人文库网仅提供信息存储空间,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑,并不能对任何下载内容负责。
- 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容,请与我们联系,我们立即纠正。
- 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
最新文档
- 小学英语课堂流动摊贩英语口语交际能力培养策略论文
- 高中数学建模竞赛中的数学建模问题发现与解决研究论文
- 芜湖分公司管理制度
- 苹果店规章管理制度
- 蛋白粉与免疫力提升
- 课标专用5年高考3年模拟A版2024高考物理专题十一电磁感应试题
- 教学目标知识与能力1培养观察日常生活中的景物事物的
- 山东省济宁市邹城市第一中学2024-2025学年高一下学期5月月考地理试卷(含答案)
- 江苏省南通市2024-2025学年八年级下学期数学期末考试模拟试卷(含答案)
- 设计与共享经济
- 2025年重庆市中考数学试卷真题(含标准答案)
- 农机耕地合同协议书范本
- 书法鉴赏智慧树知到期末考试答案章节答案2024年绍兴文理学院
- kW壳管式干式蒸发器设计
- 最新药店员工手册
- 系列螺杆冷水机组操作培训
- 五金用样品承认书
- 催化剂对异氰酸酯反应活性的影响
- 国家开放大学《C语言程序设计》综合测试题参考答案
- 老年人生活自理能力评估表
- 火电机组能耗指标分析指导性意见
评论
0/150
提交评论