如何检查真空台哪里漏气

1、如何检查真空台哪里漏气？我是一名菜鸟，我的真空台有段时间没用了，今天打开设备 却漏气了，关闭抽气阀门不漏，真空泵声音正常.打开阀门， 真空泵就声音变大，等一会就看见真空泵里面出烟，用火花 枪又检查不到漏气点，请高手给我指点点，本人不盛感激万 分！问题补充：你说的氮质谱检漏方式是怎么检测的？再还有一个问题,用 火花枪如何能够精确检测真空台哪个具体位置漏气？最佳答案打开抽气阀门真空泵声音变大是正常的，因为泵的负载变大 了，从泵出气口冒烟来看你应该使用的是旋片泵，旋片泵刚 开始抽气时抽气口有烟气也是正常的，应为刚开始抽气时负 载比较大，如果抽气时间比较长后，真空度依然上不去，那 就是你的真空系统有漏

2、了。承压容器检漏一般是采用氮质谱 检漏的方式。具体方法是在你的真空台里冲入氮气，任后通过检漏仪的吸 枪在有可能漏的地方吸气，如果检测到氨气就可以确定漏 点，这是承压容器标准的简陋方法真空系统故障检测浅谈真空系统真空度界常是常见而比较楝手的问题，因此有莫特殊的隐蔽性，专业理论性强。使川单 位条件的局限性。所以不易分析和判断故障点。检漏是处理真空设备故障中常见而乂比较棘手的 问题，笔者在工厂从爭真空设备维修多年，在工作中不断摸索经验，就真空系统故障的分析和 解决方法发表自c的观点，与同行们商讨。一、允许漏率的概念一个真空系统的极限压强，实际上就是抽气与漏气（放气忽略不计）达到动态平衡的压强。真 空

3、技术理论指出，漏是绝对的，不漏是相对的，显然，为了得到低的极限压强，必须尽量减少漏 气。但是，没有必要将所冇漏孔都找出来并做到绝对不漏，实际上，漏孔的漏气如足够小，使得 平衡压强低于真空系统正常所需压强，这些漏孔就是允许的。真空系统正常工作所能允许的戢大漏气量称最大允许漏率，简称允许漏率。设工作压强为p工作平衡压强为p平衡则只要p平衡wp工作成立则漏气是允许的设平衡时真空系统的抽速为se,抽走气体量为sep平衡，它应该等于漏气量q漏，允许漏率 为q漏二scp平衡wsep工作由丁任何材料在真空下都要放气，因此，最人允许漏率一般规定为：q漏二（1/5x/10） sep 工作rfl上式可知，冇效抽速

4、越大或工作压强越高，允许漏率就可高些。二、真空度异常故障检测实际的真空系统如果抽不到预定的极限真空，原因有四个方而：1）真空泵工作不止常。2）真 空系统漏气。3）材料放气。4）真空系统冷却微漏。依据故障现象，可以从以下儿方面检测。真空系统的材料放气和真空泵工作异常均彫响系统真空度，因此在检漏时，必须先排除以上 两种悄况，方法如下：先将真空系统抽气，达到一定压强厉，将阀门关闭，让系统与泵断开，然片测量系统压强的变 化，系统压强变化可能有四种方式。1）压强保持原值p0不变（直线a）,农明容器既不漏气也不放气。这时若真空系统抽不到 预定压强，其原因是由于真空泵工作不正常引起。2）压强开始上升较快，后

5、逐渐呈现饱和状（曲线b）,这表明主要原因是放气，因为不论是 蒸汽源的放气或材料的放气，在达到一定的压强后都冇饱和的趋势。如果是蒸汽所引起，最后町 达到饱和蒸汽压的压强值。3）压强宜线上升（直线c）,这表明是漏气，漏气量比例于内外压强差，外部压强是1 x105pa, 内部是低压强（小于102pa）,因后者比前者可忽略不计，故漏气量正比于大气压，漏气量是一 个常数，压强直线上升。4）压强开始上升很快，后来变的较慢，但不岀现饱和现彖，（曲线d）,这是上述两种情况 的综合，同时存在放气和漏气。在实际中常遇到的是曲线b情况。针对于我厂真空设备如：真空炉、离子刻蚀机、真空灌汕设备具体测试方法如下：先将真空

6、系统用真空泵抽到平衡压强，关闭阀门。使真空泵与真空系统隔开。开始10分钟 内压强变化sap,即总漏率q总，这一段曲线是漏气与放气的迭加。待曲线变为直线，即材料 放气出现饱和状态，单位时间内压强变化量为常数。漏气率正比立线斜率。宜线段应保压大于 10ho漏气率计算公式q 漏=vap/at 单位：m3pa/sq漏二q总-q放实测漏气率若大于理论漏气率则真空度弟是由于漏气造成;实测漏气率若小于理论漏气率则 是泵抽速不够造成的。三、漏孔的检测方法漏孔检测方法冇多种，但适合真空设备，简单易行的检测方法为真空计检漏法，一般真空设备 都安装真空计，选用适当的示漏物质，当示漏物质喷涂在漏孔时真空泵对不同气体抽

7、速不同，真 空计将有变化，利用现成条件检漏时很方便的。用真空计检漏时，示漏物质可用氢、二氧化碳、丁烷、丙酮、乙瞇、酒粘等。一燉来说，用 气体喷涂比用液体为好,因为液体会污染真空系统或器件。热真空计惯性大、反应慢，检漏时应 细心，巡查速度不宜过快，热真空计检漏压强范围：即二真空计测量范圉，可检漏率1 x10-3pal / s,（热真空计即热电偶等，检测低真空用真空计）。用电离计检漏时，示漏物质一般用氢、氮、氟、二氧化碳气体等，许多有机物如：丁烷、乙瞇、 丙酮等，不能引起电离计读数的较人改变，通常不是十分必耍，尽虽不川冇机物蒸汽检漏，以免 污染真空系统。电离计的反应比热真空计快的明显。电离计检漏压

8、强范圉就是其测量范围，可检漏率lx10-rix10-5pal / so工厂一般多用酒精检漏，当真空系统污染后，采用清洗真空系统、更换泵油。即可消除污染。解决漏气的方法一般为1）试堵法：一般真空设备都存在薄弱环节，即易产生漏气部位。常见部 分为：动密封处、大法兰密封处、放气阀、电接线林密封、常拆卸处等，确认系统漏气后，可先 检查系统的紧固螺钉是否松动，再用真空封泥对可疑处进行试堵。2）分段法対于低真空抽不到预定值时，可利用设备上的阀门分段，还可在管道上加死堵分段, 实现分段检测时可通过工装尽量将真空仪测试点靠近真空泵抽气口处，以便检测。四、真空系统冷却水微漏检测真空系统冷却水微漏与真空系统漏气，其故障现彖特种是不易分辨的，需采用有效的确认方法, 即：真空系统冷却水微漏在真空状态下冇微漏，但在大气压状态下是不漏的，这是因为压强差不 同情况造成的，冷却水微漏时真空仪显示值冇漂移现象。确认冷却水微漏