60 貼片机備性能指標

1、貼片机設備貼片机設備性能性能&指標指標目目 錄錄一 精度與重復性二 正交分布曲線三 與ppm&cpk關系四 設備6-sigma00.20.40.60.811.21.4-8-7-6-5-4-3-2-1012345678sigmalsllslu00.10.20.30.40.50.60.7-8-7-6-5-4-3-2-1012345678sigma一一 精度與重復性精度與重復性重復精度重復精度 = 6 at 25 um的理解的理解重復精度重復精度 = 6sigma at 25 um:1.表示機器具有極高的重復概率 (6-sigma)，每次重復都處于標稱值 25 umm以内的理想位置。

2、2.任何設備或工藝能達到6-sigma肯定是無可責難的。不過這并不正確：許多人都不明白如何根據設備的性能計算sigma值，而最大容差極限的選擇也非常重要。事實上，只要這些極限設定足夠大，几乎所有的機器和工藝都能達到6-sigma。設備的精確度與重復性設備的精確度與重復性下圖對x和y偏差測量了10次，并將測量10个結果點繪在目標圖上。情況1(case 1)展示了可重復性極高的機器，所有測量值都集中聚合在目標中心點上，各點之間的均差(即標准偏差) 非常小。然而，小標准偏差并不保証機器的精度。情況2(case 2)表示可重復性極高但不精確的機器。這種情況可以在安裝時進行調校來修正。高精度與可重復性的

3、結合正是我們努力的目標。二二 正交分布曲線正交分布曲線把所有測量的讀數點繪到圖上，便会形成正交分布曲線 (圖2的鐘形曲線也稱高斯曲線)。正交分布表示標准偏差與設備精度和可重復性的關系。一致的不精確性會使曲線向左或向右偏離標稱值，十分精確機器的曲線則會以標稱值为中心。另一方面，可重復性與峰值两側的曲線下降斜率有关，陡而窄的曲線表示可重復性很高。假如機器的可重復性高但不精確，它的曲線就会狭窄且向左或右偏離標稱值。用户必须確定機器有足够的可重復性，作為优先的考虑。只要这一點成立，就可以對機器一贯不精確的原因識別和糾正。00.20.40.60.811.21.4-8-7-6-5-4-3-2-101234

4、5678sigmalsllslu168.26% 的測量值會在均值兩側的一個標准偏差(sigma) 内。299.73% 的測量值會在均值两側的三個標准偏差内。399.9999998% 的測量值會在均值两侧的6個標准偏差内。 不要被上下限 +25um 和-25um之間的6個標准偏差所混淆，這不是一個6-sigma過程，權威的正交分布法則稱之為3-sigma。正交分布曲線無限延伸，因而超出 25um極限范圍。如上所述，它延伸到6-sigma甚至更遠，只要在圖上加上額外的sigma区域，就能说明 25um下3-sigma 工藝在 50um條件下達到6-sigma的可重復性水平。這是相同的工藝，擁有相同

5、的標准偏差或可變性。假如我們分析一個重復性較高的工藝，情況會如何。顯然，由于大部分測量值更加貼近目標中心，使標准偏差變小，鐘形曲線孌窄。以此圖的情況為例，機器的可重復性為4-sigma at 25um，鐘形曲線以標稱值 0.000為中心。這個鐘形曲線表示它在標稱值和25um 公差限之間多了一個sigma带。很顯然，更大比例的測量值在規定的上下限內。鐘形曲線變窄相對于規范的極限突顯了所謂“概率分布”的含義。設備制造商正嘗試設計機器能在規范的極限內提供最窄的概率分布，以增大設備在極限范围内操作的概率。為了說明機器具有25um的精度和6-sigma可重復性的含義，我們畫的鐘形曲線有6個sigma区域

6、.可以看到6-sigma機器的標准偏差比3-sigma機器少許多，實際上是減半.這即是說6-sigma機器的偏差減少，因此可重復性较高。設想此圖這個非常狹窄的鐘形曲線與正交分布控制规律的關系，即99.9999998% 的測量值會在標稱值6個標准偏差范圍內。任何工藝都可被稱為6-sigma工藝，視乎可接纳變數的上下限而定。6-sigma這個名稱本身没什么意义，它必须附加一個極限指標，表明工藝可在極限范圍内提供6-sigma可重復性。為了改進工藝的可重復性，比如從3-sigma提高到6sigma，但不改變極限，我们必须把這個工藝的標准偏差減半。三三 與與ppm&cpk關系關系為何6-sig

7、ma在工藝功能方面遠勝于3-sigma，在3-sigma情況下，99.73%的測量值处于極限范圍内，即是說有0.27%在范圍外，相等于2700ppm (parts per million) 的零件超差，這在現代化的工業工藝：如鋼网印刷或其它smt組裝操作中表現逊色。相反而言，6-sigma只有0.0000002% (2 parts per billion) 的超差，對于motorola 6-sigma質量計划為3.4ppm的缺陷率，因為該方法采納了傳統統計學所不包括的1.5-sigma平均“工藝偏移”，而本文所根据的卻是傳統統計學。sigmapercent goodpercent badppm

8、approximately badcpk184.135%15.865%158，6501 out of 60.33297.725%2.275%22，7501 out of 400.66399.865%0.135%1，3501 out of 1，0001499.99685%0.00315%31.53 out of 100，0001.334.599.999966%0.00034%3.43.4 out of a million1.5599.9999713%0.0000287%0.2870.3 out of a million1.66699.9999999%0.0000001%0.0011 out of

9、 a billion2二者取小二者取小四四 設備設備6-sigma例如，当机器供应商声称具备6-sigma 12.5 mm时，您必须查询机器的标准偏差，然后除以12.5 mm，以计算出机器的可重复性 (以sigma计)。假如结果等于6，可重复性就是 6-sigma，表示供应商所声称的工艺能力可信。然而，视乎不同供应商而定，答案或许会有出入。比方说，机器的精度可能只有声称的一半，因为这里含有令人混淆的地方：12.5mm的极限是否容许用总分布(即25mm) 除以标准偏差的方法计算出可重复性？这与正交分布的控制法则不相容，但却可给实际只有3-sigma性能声称有6-sigma的机会。可以看出， cpk随工艺误差引起的鐘形曲线偏移而变化。在k= 0的理想情况下，工艺正好居于中心点，而cpk相等