550X650涂胶机滚轮机型

1、K O N D O产品规格书SVt COaterDate.11/11/13Page 1/10产品规格书Slit CoaterCONVE YOR TYPESubstrate Size : 550 mm x 650 mm & 670mmRev. P1.2Date:2011/11/13K O N D O产品规格书SVt CoaterDate.11/11/13Page 2/101.设备概要本规格书是关于从上游设备传过来的玻璃基板涂布光刻胶后，用传送机构将基板传送到下游设备的刮涂式涂胶设备的说明。2.基本规格2-1.基板规格1).种类Glass基板2). Size550 mm(W)x 650 m

2、m & 670 mm(L) ( 士 0.1 mm)3).厚度t0.33 mmt1.1 mm ( 士 0.05 mm)4).平坦度10?以下(正反合计)无弯曲5). Tact Time36 secPosiResist粘度 10cp以下固体含量20 %以下涂布速度为40mm/sec的情况下达到以上标准2-2-1.涂布规格1).材料Resist (POSI)2).粘度1 cps 20 cps3).膜厚0.8 ?2 ?4).膜厚精度士 7 %以下(有效区域是从涂布端面15 mm以内)5).涂布宽度/ 550 mm基准6).保证范围从涂布端面15 mm以内2-2-2.涂布工序基板 IN f Co

3、nveyor Downf基板吸着 f Nozzle 下降f Nozzle 涂布位置下降f岀胶 f 涂布开始 f Nozzle 停止涂布结束 f Nozzle 上升 f Nozzle H.P fNozzle Clea ningK O N D O产品规格书SVt CoaterDate.11/11/13Page 3/102-3.设备规格1).设备外观尺寸2900mm(W)x 1370mm(D) x 1800 mm(H)附带设备、凸起部分除外。包括外观图根据弊公司情况可能更改(在审批图面里修改)2). Pass LineFL + 1050 mm +20mm -10mm3).重量约1500 kg根据弊公

4、司情况可能更改4).搬运方向Left f Right 或 Right f Left2-4. Utility1).电源3AC 380V 50 Hz 20 KVADow n Tran sfer f 220V 50Hz 40A2). CDA0.5 MPa 400 NL/mi n Rc1/4含供给系统3). ExhaustSP=0.3 KPa 5000 L/min$ 100 无 Filter带排风流量控制器(Damper )2-5.使用环境1).室内温度？湿度22 C 士 2 °C 55 % 士 5 %RH2).照明Yellow Lamp Room3).设备内部环境Class 100(Coa

5、ter Stage 、基板表面)4).震度 LevelVCA3.设备构成1). IN Con veyor1 set2). Coater/C on veyor1 set3). OUT Con veyor1 set4). Frame1 set5). Con troller1 set4.构成规格产品规格书SVt COaterDate.11/11/13K O N D OPage #/104-1. IN Con veyor1).接收方式Roller Con veyor2). Roller材质UPE3).搬运速度1.0 m/min 9.0 m/min( Max)4).基板检测Fiber Sen sor5)

6、.基板厚度确认Laser Sensor4-2. Coater/Co nveyorSlit Nozzle (Gantry驱动式)1).涂布方式2).涂布驱动方式Y 轴:Lin ear Motor + Lin ear GuideZ 轴:Pulse Motor + Lin ear Guide3).动作速度Y 轴：5 mm/sec500 mm/sec4).升降StrokeZ 轴:50 mm5）. Nozzle位置（塗布時 Z軸）50 ? 100 ?任意设定6).涂布速度100 mm/sec(MAX)7). Table平面度10 ? 以下8). Table材质石定盘9).基板支撑真空吸着（Pump内藏）

7、沟吸着 沟宽0.5 mm真空Pump搭载设备设置范围内的床面上设置10).基板厚度测定无11).基板载荷检出Fiber Sen sor x 112). Nozzle数量1个13).涂布液系统1系统14).涂布液供给方式加压压送方式 Main Ta nk + SUB Tank (Bubble Catch)15).涂布液供给压力0.2 MPa(max)16).涂布量设定Touch Panel Recipe 设定17).供给容器Gallo n BottleK O N D O产品规格书SVt CoaterDate.11/11/13Page 5/1018).涂布液余量检测Weight Se nsor 详

8、细重量有标记19).Nozzle Lip清洗Wiper Type20).清洗液供给方式加压压送方式21).清洗液容器Pressure Ta nk SUS 18L 1个22).清洗液余量检测Weight Se nsor23).废液回收Diaphram Pump(Air Drive)24).废液容器1 个 18L PE Tank25).废液满杯检测近处接Sensor （静电容量型）26).搬运方式Roller Con veyor27).搬运驱动源Speed Co ntrol Motor28).Roller材质UPE29).Roller Pitch50 mm 150 mm30).搬运速度1.0 m/

9、mi n 9.0 m/mi n(Max)31).搬运Roller上下Air Cyli nder32).基板 StopperUPE33).基板Stopper驱动Air Cyli nder34).Ce nteri ng驱动Air Cylinder（仅限宽度方向、后面无图案）35).Ce nteri ng精度士 0.5 mm36).涂布液供给FilterCapsule Cartridge Filter孔径:0.2 卩m (ADVANTEC)4-3. OUT Co nveyor1).搬出方式Roller Con veyor2).Roller材质UPE3).搬运速度1.0 m/mi n 9.0 m/mi

10、 n(Max)4).基板检测Fiber Sen sor4-4.zrameDate.11/11/13K O N D O/101). Frame材质一般构造用角形钢管鋼管（焊接构造）2).涂装色Man cell 5Y9/33). Panel材质SUS304 #400 (研磨)4). Caster8个自由型/ Frame5). Adjuster8处+底板/ Frame6). Booth材質SUS304 #400 (研磨)7).外装门材质PVC（带电防止）Clear8).门窗SwitchMagnet Switch (Clean Room 规格)9). Clea n UnitHEPA Filter (日

11、本 AIR TEC MAC- n A-100)10）.上段（含顶部板面）封面PVC （带电防止）Clear4-5. Con troller1). Con trolPLC( MITSUBISHI Q Series )2).控制板面PanelTouch Pa nel + Switch（故障对应用硬件，软件有 ）3). Recipe记忆数量100 sets4).控制盘外部设置操作面搭载涂色：Mancell 5Y7/15). Signal Tower3 Color (PATLITE)5. Recipe根据弊公司情况可能更改5-1. 涂布信息1). Resist2).粘度(cp)3).固形成份浓度(%)

12、5-2. Meni scus Parameter1). Meni scus形成Gap(mm)2). Meni scus形成初期Gap(mm)Date.11/11/13K O N D O/10产品规格书Sit COaterpage 73). Meni scus形成吐岀流量(kPa)4). Meni scus形成吐岀时间(sec)5). Meni scus形成等待时间(sec)6). Meni scus形成Slide距离(mm)7). Meni scus形成Slide时间(sec)8). Meni scus扩大吐出流量(kPa)9). Meni scus扩大距离(mm)10). Meni scus

13、扩大吐岀时间(sec)5-3.涂布 Parameter1).涂布开始位置(mm)2).涂布结束位置(mm)3).涂布Gap(mm)4).涂布吐出流量(kPa)5).涂布速度(mm/s)6).涂布开始Timing时间(sec)7).涂布开始 Timing 流量(kPa)8).涂布结束时液量调整距离(mm)9).涂布结束时液量调整吐出流量(kPa)10).涂布结束等待时间(sec)5- 4. Nozzle Clea ning1) .Nozzle Wiper速度(mm/s)2) . Interval(枚)6. Resist Excha nge1. Nozzle脱落Date.11/11/13K O N

14、 D O/101) .把Nob松开，把 Clamp Lever 调上。2) .抓住 Handle，拿岀 Nozzle 。6-2. Nozzle Overhaul Clea ning1). Nozzle 分解清洗干净(Thinner,PGMEA etc )6-3. Shim Excha nge1) . Shim方式(特殊)2) .涂布宽度可变更Nozzle 宽度-20mm6-4. Resist Tank Excha nge1).更换 Resist6-5. Pip ing Clea ning1). Pip ing & Tube & Fitt ingClea ning or Exch

15、a nge6-6. Pre Dispe nse (脱气)1).把混入到Resist里面的AIR除去。6-7. Nozzle Clea ning (Nozzle Wiper)1) . Nozzle Lip Clea ning2) . Nozzle Wiper Clea ning (Thi nner)3) . Nozzle Wiper Dry (Air Blow)7. 保修1).保修范围只限于弊公司的责任引起的故障。因天灾导（地震等）致的故障在保修范围外K O N D O产品规格书SVt COaterDate.11/11/13Page 9/102).保修期限验收后一年8. 提交资料1) .最终规格书Clean纸？普通纸1set2) .检查成绩书Clean纸？普通纸1set3) .消耗品ListClean纸？普通纸1set4).操作说明书Clean纸？普通纸 1 set5) .设备组装外观图Clean纸？普通纸1set6) .排管系统图Clean纸？普通纸1set7) .电源排线图Clean纸？普通纸1set9. 报价范围1) .设计？制作2) .设备内部电路工作3) .设备内部排管工作4) .弊公司工厂内部的试运行 ？调整？验证5) .包装？运送?保险6) .安装？调整工作10. 报价范围外1) .厂房电路工作2) .厂房排管工作3) .与其他设备的通信连接关联事