电阻应变片的压力传感器设计

1、湖南科技大学传 感器课 程设计题 目作 者学院机电工程学院专业测控技术与仪器学 号指导教师杨书仪 凌启辉二0七年六月十日摘要应变式传感器应用广泛，很多地方都得以应用，而本次课程设计的重点是设计一个 应变片柱式传感器用来称重。研究的重点是传感器的基本原理，其中包括基本的理论分 析、弹性元件的选材、弹性元件的尺寸设计、应变的选材、应变校验等。课程设计的内容包括：掌握和了解相关传感器的基本测量方法和研究动态、制定传 感器测量方案、进行必要的理论计算分析、用 CAM传感器结构及零件进行设计、对转 换电路进行计算和设计等。关键词：圆柱式、应变片、称重、形变目录一、工作原理及特点 11、工作原理12、测量

2、特点1二、柱式传感器结构设计 21、弹性元件材料的选定及要求22、弹性元件材料的处理33、几种应变片的比较及选定34、应变片材料的选定及要求4三、相关理论分析 61、弹性敏感元件的特性参数计算62、应变片参数的计算73、弹性元件变形与应变片电阻值关系7四、电路的设计 9参考文献 10'工作原理及特点工作原理基本测量原理是将被测的非电量转换成电阻值的变化。 也就是利用金属的电 阻应变效应（金属丝在受外力作用下发生机械变形时，其电阻值将发生变化）将测 量物体变形转换城电阻值的变化，再由转换电路变成点亮的输出。引起的电阻阻值变化 R,伸长量 I ,电阻率变化量Ap,横截面积相应减 少量 S;

3、则有:(1-1 )RSR I S式中的 I /I为电阻式的轴向应变，用&表示，径向应变为 r/r，电阻丝的 纵向伸长和横向收缩关系用泊松比卩表示为厶r/r二卩（A L/L）R I1 2k。（ 1-2）R I式（1-2）中，ko称为金属电阻的灵敏系数，ko受两个因素影响：一个是（1+2 卩），它由材料的几何尺寸决定；另一个是Ap /（ p£ ），它表示材料的电阻率p 随应变而变化。对金属材料而言，前者为主，其ko1+2卩。实验表明，在金属电阻丝拉伸比例极限内，电阻相对变化与横向应变成正比。 通常金属丝的灵敏系 数ko = 2左右。二、测量特点以电阻应变片和敏感元件组成。 将电阻

4、应变片粘贴在弹性敏感元件上， 当弹 性敏感元件在测量时其表面会出现变形， 导致其表面附着的电阻应变片的阻值随 之变化，与之相应的测量转换电路将这一非电量的变化转化为电量输出。该类型传感器具有以下特点： 精度高，测量范围广，适合静态和动态测量； 使用寿命长，性能可靠稳定； 结构简单，尺寸小。二、柱式传感器结构设计柱式传感器的弹性元件分为实心和空心。应变片粘贴在弹性体外壁应力均匀 的中间部分，并均匀对称地粘贴多片。因为弹性元件的高度对传感器的精度和动 态特性有影响。根据材料力学分析和试验研究的结果，对实心圆柱，一般H>2D+I，而空心圆柱一般取 H > D-d+l，式中H为圆柱体高度，

5、D为圆柱外径，d 为空心圆柱内径，I为应变片基长。柱式传感器结构简单，可以测量大的拉压力，最大可达107N。在测103 io5n 时，为了提高变换灵敏度和抗横向干扰，一般采用空心圆柱式结构。一、弹性元件材料的选定及要求弹性形变的定义：是指固体受外力作用而使各点间相对位置的改变，当外力撤消后，固体又恢复原状谓之"弹性形变"。这种物体称为弹性元件或弹性体。弹性敏感元件在传感器中占据很重要的地位。 在传感器工作过程中，一般是 由弹性敏感元件将非电量转换成弹性元件的形变，然后配合转换电路转换成电 量。所以说弹性元件在传感器中应用是十分广泛的。为了适合本课程设计的要求，对弹性材料提出

6、以下要求： 具有高强度、高弹性特性； 温度变化系数小、热膨胀系数小、时间稳定性好； 具有小的弹性滞后； 组织均匀，热处理后的残存应力小； 冲击韧性好，加工工艺性好； 具有抗氧化性。参照新编传感器手册得下表:材料铍青铜QBe17-4PH不锈钢恒弹性合金3J53密度g/ cm38.257.808.0屈服极限MPa103018501250弹性模量MPa:134X1033195X 10370 X 10线膨胀系数 at / x 10-6 C-117.610.87.5-8.1泊松比0.320.2720.30机械品质因数> 1000弹性模量温度系 数35 X 10-5/C表1根据应变式传感器的使用特性

7、和性能指标，本次设计采用17-4PH不锈钢作 为弹性元件的制作材料。主要是因为该材料具有以下特点：合金是沉淀、淬水、 马氏体的不锈钢，且具有高强度、 硬度和抗腐蚀等特性经过热处理后， 材料的特 性将更加完善。二、弹性元件材料的处理为了提高弹性材料的强度和韧劲，要进行热处理。对 17-4PH 不锈钢进行H900 热工艺处理：1、预热，加热温度：850±0C，保温时间：35芳min。2、固溶，加热温度：1040±TC，保温时间：80±5min ;真空度：130Pa；油冷， 油温：2570C，油中停留时间：10±2min。3、清洗，将零件浸入80100C的清洗

8、槽中清洗2030min,出槽后浸入20 40C的漂洗槽中漂洗25min,出槽后晾干或吹干。4、 时效，加热温度：480±C，保温时间：250±0min,空冷到室温。之后采用反复加载和机械振动的方法，可以释放材料内部的应力三、几种应变片的比较及选定1 、金属丝式应变片金属丝式应变片有回线式和短接式两种。 回线式应变片它的敏感栅丝直径在 0.012 0.05mm,以0.025mm左右为最常用，回线的曲率半径 r为0.10.3mm, 基片用厚度为 0.03mm 左右的薄纸（称纸基），或用粘结剂和有机树脂基膜制成 （称胶基），粘贴性能好，能保证有效的传递变形。引线多用 0.150.

9、30mm直径 的镀锡铜线与敏感栅相接。因制作简单，性能稳定，成本低，易粘贴，所以最为 常用。但因弯曲部分的变形使横向效应增大。为了克服横向效应，有短接式应变片。其两端用直径比栅丝直径粗 5 10倍 的镀银丝短接而成。由于焊点多，易在焊点处出现疲劳损坏，制造工艺要求高， 故使用较少。丝式应变片敏感栅的材料的要求是：灵敏系数高，电阻率高，稳定好，温度 系数小，机械强度高，抗氧化，耐腐蚀。常用的材料有锰白铜（亦称康铜） ，镍 铬合金，镍铬铝合金，铁镍铬合金以及贵金属（铂、铂钨合金）等。 2、金属箔式应变片金属箔式应变片是在绝缘基底上，将厚度为0.003 0.01mm电阻铂材，利用 照相制版或光刻腐蚀

10、的方法，制成适用于各种需要的形状。它的优点是： 可以制成多种复杂形状尺寸准确的敏感栅， 栅长 l 最小可做 到0.2mm以适应不同的测量要求；与被测试件接触面积大，粘结性能好。散 热条件好，允许电流大，提高输出灵敏度；横向效应可以忽略；蠕变、机械 滞后下， 疲劳寿命长。 目前箔式应变片得到了广泛应用， 现在已基本取代金属丝电阻应变片。它的主要缺点是电阻值的分散性大，有的能相差几十欧姆，故需要做阻值调整。3、金属薄膜应变片金属薄膜应变片是薄膜技术发展的产物。它是采用真空蒸发或真空沉积等方 法在薄的绝缘基片上形成厚度在 0.1卩m以下的金属电阻材料薄膜敏感栅，最后 再加上保护层，易实现工业化批量生

11、产，是一种很有前途的新型应变片。这种应变片的特点是：电阻值比箔式应变片高，形状和尺寸箔式应变片更小 更精确；他没有箔式应变片腐蚀所引入疵病； 制成的结构散热性好，对于较宽的 温度范围也可以达到较完善的补偿； 特别是近年激光调阻技术的发展，提高了电 阻值的精度，可达0.01%。尤其突出的是：陶瓷绝缘代替了胶接，既避免了复杂 的分选和粘贴技术，而且对胶接法所引入的漂移、蠕变、疲劳弱点都有很大的克服。4、半导体应变片利用半导体材料做成的压阻式传感器有两种类型：一种是利用半导体材料的 体电阻做成的粘贴式应变片；另一类是在半导体材料的基片上用集成电路工艺制 成扩散电阻，称扩散型压阻传感器。压阻传感器的灵

12、敏系数大，分辨率高，频率 响应高，体积小。它主要用于测量压力、加速度和载荷等参数。因为半导体材料对温度很敏感，因此该类传感器的温度误差较大，必须要有 温度补偿。对于金属箔式应变片，横向效应较小，因而提高了应变测量的精度， 故允许 通过较大的电流，因而可以有较大的输出， 提高了测量灵敏度。综合一些金属箔 式应变片的优点，和考虑到工艺技术的有限及性价比问题，该次设计采用金属箔 式应变片。四、应变片材料的选定及要求1、敏感栅材料制造应变片时，对敏感材料的要求： 灵敏系数Ks和电阻率p要尽可能高而稳定，电阻变化率 R/R与机械应 变&之间应具有良好而宽广的线性关系，即要求 Ks在很大范围内为常

13、数； 电阻温度系数小，电阻一一温度之间的线性关系和重复性好； 机械强度高，碾压及焊接性能好，与其他金属之间接触热电势小； 抗氧化、耐腐蚀性能强，无明显机械滞后。制作应变片敏感栅常用的材料有康铜、镍铬合金、铁铬铝合金、铁镍铬和金、贵金属（铂、铂钨合金）材料等，材料性能见下表:名称牌号及成分p / (Q-2 mm /m)a/( 10-6/C)Ks3 s/(10-6mm/C)最高使用温度/ C康铜Ni45Cu550.450.52± 201.92.115300 （静态）400 （动态）镍铬合金Cr20Ni801.01.11101302.12.314450 （静态）800 （动态）卡玛6J22

14、Ni74Cr20Fe3AB1.241.42± 202.42.613.3450 （静态）800 （动态）伊文6J23Ni75Cr20A13Cu21.241.42± 202.42.613.3450 （静态）800 （动态）铁铬铝合 金Fe70Cr25A151.31.519402.32.814550 （静态）1000 （动态）贵金属PtPt92W80.090.110.683900227463.58.98.39.2800 （静态）1000 （动态）基于上述材料的性能比较分析，选用镍铬合金作为敏感栅材料。2、应变片基底材料及引线材料对基底材料性能有如下要求：机械强度好，挠性好；粘贴性

15、能好；电 绝缘性能好；热稳定性能好和抗湿性好；无滞后和蠕变。应变片基底材料有纸和聚合物两大类， 纸基逐渐被胶基（有机聚合物）取代, 因为胶基各方面性能都好于纸基。 胶基是由环氧树脂、酚醛树脂和聚酰亚胺等制 成胶膜，厚约0.030.05mm。引线材料采用镍铬合金材料。三、相关理论分析计算、弹性敏感元件的特性参数计算柱式弹性元件的特点是结构简单，可承受很大的载荷，根据截面形状可分为实心截面和空心截面，而本次课程设计采用空心截面在力的作用下，它以应变作为输出量。在承受轴向作用力F时，在与轴线成a角的截面上所产生的应变、应力为FA2 2 cos sin(3-1)F2 2 cos sin(3-2)AE因

16、此在轴向（a =0）所产生的应力、应变为FA(3-3)F(3-4)AE横向（a =90）所产生的应力、应变为FA(3-5)F(3-6)AE有查表得知，弹性兀件17-4PH不锈钢的屈服极限cs=1850MPa,若取安全系数n=3.7,可求弹性元件的许用应力500MPa弹性元件空心圆柱的截面面积1 10-5m2210mm5000N6500 10 Pa空心圆柱的内径和外径的确定。考虑构建的稳定性以及加工的难易程度， 还 有对于金属箔式应变片在外径上的粘贴情况，使贴片部分应力均匀，空心圆柱长 度 L=（ 22.5） D，现取内径 d=20mm ；为保证圆柱加工的简单，适当调整 D的大小，取D=25mm

17、,取L=2D=50mm重新计算空心圆柱截面面积：A D2 d2252 202 176.71 177mm244综上所述，最终选取17-4PH不锈钢制成空心圆柱的内径 d=20mm，外径D=25mm， 圆柱的高度L=50mm，截面面积 A=177mm2。二、应变片参数的计算应变片内敏感栅材料的直径范围为 0.010.05mm,，其基底很薄，一般在0.03mm左右，能保证有效传递变形。查阅一些资料，发现栅丝的的栅长在0.650mm之间，应变片宽度在18mm之间。栅丝材料选择镍铬合金，该材料 的灵敏系数2.12.3。现选取敏感栅截面积为0.001mm2，取栅丝长10mm，应变片宽度取3.3mm, 取灵

18、敏系数为2.2。镍铬合金的的电阻率p = (1.01.1)Q?mri/m，取电阻率为 1.0 Q?mmm。应变片的电阻值已经趋于标准化，有 60Q，120Q，350Q，600 Q,和1000 Q各种阻值，其中以120 Q最常使用，所以该应变片设计也采用 120 Q阻值。金属丝电阻阻值的计算公式R -(3-7)s求出金属丝的总长度120mmRs 1200.001mm221.0 ?mm / m将这120mm的绕成12段，每一段10mm关于箔式应变片最后的设计结果是:电阻值基长*基宽栅长*栅宽灵敏系数基底材料栅丝材料120Q14.2*4.1mm10*3.3mm2.2胶基r镍铬合金应变片的模板大致如下

19、图：图1应变片图三、弹性元件变形与应变片电阻值关系在空心圆柱外圆壁上竖直对称贴上 4片应变片，并在这4个应变片下面横向 贴上一个应变片。当重物产生的重力作用在空心圆柱上时，空心圆柱发生弹性变 形，空心圆柱的变形导致竖直粘贴在外壁上的应变片也跟着发生同样的变形，金属丝变形导致电阻值变化，通过电桥电路从而转换成电量的输出，而横向粘贴 的应变片并不发生应变形变，只做温度补偿的作用。外力作用在空心圆柱引起的变形量FFF234 mmAE 177mm195 10 MPa 3.446 10圆柱弹性形变£, 一个应变片12段栅丝产生的总变形为12 &，此时的栅丝 总长度为120-12 £ mm根据金属丝变形前后的体积不变，可得V sl s l s l 1120mm电阻值的变化（减小） RIlR R R 120 r 120s2si 0.001mm120mm344.612F3.446105mmFmm3.446 1041.0 120 241.2 2241.2 2根据电桥电路，将阻值的变化转换成电量输出:R111R3R5-11 I 11R711&q