如何选择INFICON真空计

1、如何选择INFICON真空计一，皮拉尼真空计1. 皮拉尼真空计原理加热电阻丝，使之升温至需要的工作温度由于气体粒子与电阻丝碰撞离开时带走了能量，电阻丝 的温度会发生变化热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比 例关系FSG?03P5Ct5C0-SPSGH)2-S2. 衍生出两种类型的皮拉尼规1, 稳定温度，测量施加的电压变化等效测量真空度（INFICON PSG50O2, 稳定电压，测量温度变化等效测量真空度（热偶规）3. 气体的热传导，与下列提条件有关:1，气体类型2，压力大小Indicated pressure (transmitter calibrated for air) p

2、(mbar)10-s a r $ 10-3 2* a 1O-1 ze 1O1 z a e 1Pon(mbar4.皮拉尼真空计测量范围与精度测量范围（空气，氧气，一氧化碳，氮气）：5 x 10-4至1000 mbar 精度（氮气）：1x 10-3100毫巴5%5 x 10 -41 x 10 -3毫巴芳0%100 . 1000 毫巴芳0%5.皮拉尼真空计的优特点灯丝部分在不影响精度与速度的情况下，加以最大的保护，大大延长了 灯丝的使用寿命6.皮拉尼真空计具体型号z PSG050/051z PSG100-S PSG01-Sz PSG500/500-S PSG502PSGd50PSGD517.z 皮拉

3、尼电容膜片复合真空 计PCG400 PCG410 PCG5501. 有皮拉尼规与特制的陶瓷薄膜规合成在一起2. 两种原理的规管全过程都工作3. 100 mbar 1000 mbar使用薄膜 规信号4. 1 mbarT00mbar两规信号同时采用5. 5x10-4mbar -1 mbar采用皮拉尼信号6. 输出的真空度信号（电压）连续，无跳跃皮拉尼真空计应用行业FCWD0PCG550z 各种高真空泵的前级压力测量，如 光伏，镀膜，等离子行业z 各种中低真空测量，如照明，冶金z 真空连锁控制，高真空计的点火开关 控制，如PEG100z PSG05C可完全替代TR211, PSG05可完全替代TR2

4、16z PCG400PCG410现在已升级为PCG55QPCG400/PCG41已经停产）与PSG50C基本相同，但弥补了皮拉尼规大气测量段精度不足的弱点， 而且不受气体类型的影响，在真空炉，单晶炉，多晶炉，蓝宝石炉 上广泛应用z PSG100 PSG11,与PSG500/PSG050基本相同，但因为具有通讯协 议功能，在大系统中应用广泛PSG500PSG500-SPSG502-SPSG050PSG051PSG100-SPSG1O1-SPCGJOO PCGdOO-s PCG410PCG41O-S测虽范围tmt）ar）敬1-1000510 - 10005x1 讯 一 10005110-1500测

5、竜祐度（读借）100 -1000 50%30 -1000 i50%30-1000150%950 -1500 2 5%1 no4-100 15%1)(10!-30 15%U1OJ-3CI 15%1Xl0J &50 15%5x10 - 5x1 O3150%WO-1- 1K10-3 20%1x101 - 1x1 or2 20%5)t1CJ - 5x10150%更复性2%5%5%2%2%输出怡号0-10.3Vn/a0-10 6V0-1D3 Vo-gv反应同帥msn/3n0 msio ms虹点个数无22n/a111无2无12flOJ - 500n/aixiO-SOO1 5S1D-5Q01 5ki0jS-

6、500灯丝罚料WWMWPIwPIwwww隹电电压14-30 VU5-3CV15-30 V15-30V电接口FCC6SFcceaFCC 6B0-SUD5电缆KJS1QOM (8 xQ 14 mm?)100 米(0 1dmm?)100(0 14 mm2)100 米(0 14 mrrr2)最高电流&OOMA功率消耗1W2 W2.5 W2 5 Wif讯协该无无tviceNetcr Prof bus DP无无工 fFifiJS60 康0-4DJ61X。嵐10-50J810-50J#自空接口晶菖涓度80250 度肌度BO8080僅耐压展（绝对日日门10a1031055可连接的昂示器VGC401M02/40

7、3 PLCVGC012/023PLCVGC401/402/403 PLCPLC/PC2規睡甲特点比较志PSG5WJPSG500-SPSG502-SPSG05OPSG051P5G100-SPSG1O1-SPCG4O0PCG400-SPCG410PCG410-S最基怎的皮 拉尼S用自带2个触 点折污迫曾代 TR201/ TR211I習代TR21E弟统应用 Devlcenet 或 prolitJiB抗污案高大汽踹错虑髙 +融点高高,电容薄膜规 CDG025D/CDG045/100/160/2001. 电容薄膜规工作原理z 压力使膜片变形，变形量与压力大小成比例关系ForcePressure =Are

8、az 通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量测量真空度ATMHV*2. 电容薄膜规特点z 以可靠的超纯陶瓷传感器室为基础构成z 在严酷和腐蚀性环境中，稳定与可靠的高精度压强测量z 快速的预热和恢复时间，提高生产率z 卓越的长期稳定性，再现性和重复性z由于电子学直接安装在传感器上，改进了温度补偿和EMC兼容性z 对环境条件变化的敏感度的降低使得测量更稳定z 快速预热在开机的一分钟内达到快速稳定和进入准备使用状态z 一键按钮：调零功能和设点调整z 抗腐蚀超纯陶瓷传感器z 能经受数百万次压强循环周期 ，包括大气压 冲击,无任何降低性能 的迹象z 暴露大气压后快速恢复，无需隔离阀z 对蒸气介质不敏感z

9、先进的传感器屏蔽（专利）延长真空计在污染的工艺过程中的使用 寿命3. INFICON陶瓷技术z 陶瓷技术的优越性1， 无记忆”效应2，陶瓷无疲劳问题3，最好的温度补偿4，卓越的零点稳定性z 低使用成本1. 非凡的使用寿命2. 无需隔离阀4. Sky CDG025D测量范围CDG025D擾盖4个塑載的高植摩压强测更5”全量程100010010 250.1交巴10100 IOJ IO4 压強豆巴压弓虽担制应用中推荐使用的范围（最大2.5个量级） 至最低读值的全量程测量范围（4个量级）-其它范圉可提要求Sky CDG025D /-S 技术规范全里程范囤i10001001010 1IPS1333221

10、33321333213313SB100100 1%读值Q.20.5雷点的漏度馥应0.0050.0050.0050.0150.02蕎星程的温屋效应號读值兀0.010.01D.01cyr0.03鳴全塾呈0.0030.D030.003O.OD30.003环境工怎遍度+ 1口至出贮存* J8-40 至+B5达兰处杲鬲漏度110吐浦电+14 S30sb耗瓦1褊出讯是0至+汕|向应时问30保护类型IP30标准CE.ENS10D电连摄件15唧D-Sub陆头2个设有雒电.器-倚安占 SO0 5设点蒂后*粘全童程1显靈于过翟佥质的相料氧化铝闺瓷网；0.不嫌的（AISI316L円aconXP；

11、ACuTi 趣焊料.密封顼甥、琏 世总旨生St虚性:帖 停境工作鼻虾 馬于时至疔廂血奩毀应 518% Cf, 10%Mm Be% F12S* Mi 23* Cc,用 Fe对 CDG025D-S57i5. 加热型薄膜规CDG045CDG100CDG160CDG2006. 加热型优点z 零飘极小0.1%FS/年（干净真空环境）z 更高的精度z 环境温度变换/环境压力变化/环境气流变化对精度无影响z 比工艺更快的预热启动时间z 快速恢复时间 大气压fB 5diD-subi5 pinD-subl5r9 pinD-E-ulb15 pin micTDErtyle ficinD-s-ubllS pinD-s

12、ub1&9pinD-sub15 pin miicraslyle 5cmD-aubliSrQ pinloom RS23230 m)1D0mSOD m1OTm100m(RS23230m)10Qim500 m100m(R.S23230 m)100m500 m100m (RS23230m104JmSDO m100mo.an.40 B/1.40.SH.40-5/1.4Wie w18W18 WW20W18 WM佃WRS232Profibus DP| OeiiceNelRS232ProfiEMi& DP | DeiceNelRS232Profi bus lDP| Dmd ceNelRS232Praibus

13、DPDeviceNetRS485g堰0-5DJ1ZD1SBW1508Q/15D3-0/1502525LCEWGC4 to PCPLC PCvGC4*tLCD/VGC4O x PCPLC PC VGC 血LCLMVQC4 OiPCPLC PC GC 40xPLC PC VGC 4(k四，冷电离规（潘宁规）1.冷电离规原理通过气体放电方式产生电子，通过磁场使电子获得能量将气体分子电离2.潘宁规特点与应用z 测量范围：5 x 10-9 to 1 x 10-2 mbar z 全金属密圭寸z 无灯丝z 易清洗z 应用于普通的高真空测量3.冷规复合规MPG4O0寺点与应用z冷规与皮拉尼规的复合z测量范围广：5x10-1000 mbarz易于保养清洗z无高真空灯丝，4.冷规及复合规性能比较z应用于普通高真空测量PEG100PEG100-D PEG100PMPG400MPG401测量范围（mbar）1 x 10-9 to 1 xW25x10-9 . 1000测量精度（读值）lOtolO-4 +30%1 x IO-6 .,. 100 30%重复性4%5%输出言号0-10.60