透明导电氧化物薄膜ppt课件

1、透明导电薄膜透明导电薄膜透明导电薄膜开展历史透明导电薄膜开展历史透明导电薄膜构造透明导电薄膜构造透明导电氧化物薄膜的根本特性透明导电氧化物薄膜的根本特性透明导电氧化物薄膜的制备方法透明导电氧化物薄膜的制备方法透明导电薄膜运用透明导电薄膜运用透明导电膜运用阐明透明导电膜运用阐明透明导电薄膜概述透明导电薄膜概述 透明导电薄膜是一种既能导电又在可见光范围内具有高透明率的一种薄膜，主要有金属膜系、氧化物膜系、其他化合物膜系、高分子膜系、复合膜系等。金属膜系导电性能好，但是透明率差。半导体薄膜系列刚好相反，导电性差，透明率高。当前研讨和运用最为广泛的是金属膜系和氧化物膜系。透明导电薄膜主要用于光电器件如

2、LED，薄膜太阳能电池等的窗口资料。常见的透明导电薄膜为ITO锡掺杂三氧化铟、AZO(铝掺杂氧化锌)等，它们的禁带宽度大，只吸收紫外光，不吸收可见光，因此称之为“透明。透明导电膜是经过真空溅射方法，在透明聚脂膜片上堆积含银等金属的高导外表，透明导电薄膜有较好的导电性，并且具有优良的可见光透光性。透明导电薄膜开展历史透明导电薄膜开展历史 20世纪初，透明性与导电性可以共存初次在Cd的氧化物中发现。 60年代ITO成为透明导电资料的主。 70年代光学多层膜研讨开辟了透明导电多层膜的研讨领域。 80年代掺杂ZnO作为ITO的最正确替代资料而广泛研讨。 到90年代随着光电子产业的快速开展，对透明导电膜

3、的物理化学性能提出更高的要求，这样多组元TCO资料的开发就应运而生，与此同时，TCO与金属复合的多层膜系也获得了一定的研讨成果。目前研讨的焦点主要集中在金属基复合多层膜和多组元TCO上，构成两个平行的开展方向。透明导电薄膜构造透明导电薄膜构造透明导电氧化物薄膜的根本特性透明导电氧化物薄膜的根本特性 透明导电氧化物薄膜的根本特性之一是良好的导电性。 透明导电氧化物薄膜的另一重要根本特性是对可见光的高透射率。 透明导电薄膜对光线还具有选择性。透明导电氧化物薄膜的根本特性之透明导电氧化物薄膜的根本特性之一是良好的导电性。一是良好的导电性。 其导电性能主要是经过氧缺位和掺杂来提高。其中，氧缺位可以由化

4、学计量偏离、改动生长和退火条件来实现；适当的掺杂不仅可以提高薄膜的电导率，还可以提高薄膜的稳定性。TCO薄膜的低电阻率特性由载流子浓度决议，但由于多晶膜的导电机理比较复杂，低电阻率成因仍待进一步研讨。透明导电氧化物薄膜的另一重要根透明导电氧化物薄膜的另一重要根本特性是对可见光的高透射率。本特性是对可见光的高透射率。 透明导电薄膜普通具有大于可见光子能量(31eV)的光学禁带宽度，在可见光照射下不能引起本征激发，所以它对可见光透明，而且其光学带隙与载流子浓度亲密相关。透明导电薄膜对光线还具有选择性透明导电薄膜对光线还具有选择性 人们发现：透明导电薄膜对可见光高透射，但对红外光高反射，其反射率70

5、。此外，透明导电薄膜的光电导会随外表吸附的气体种类和浓度不同而发生很大变化，它还具有对微波的衰减作用。透明导电氧化物薄膜的制备方法透明导电氧化物薄膜的制备方法 磁控溅射技术是目前透明导电薄膜制备中采用最为广泛的技术。 脉冲激光堆积(PLD)工艺是薄膜制备中常见方法之一， 溶胶一凝胶工艺是一种制备多元氧化物薄膜的常用方法。 放射热分解法是由制备太阳能电池透明电极而开展起来的薄膜制备方法。 其它一些薄膜制备技术，如化学气相堆积等也被运用于制备透明导电薄膜透明导电氧化物薄膜的运用及市场透明导电氧化物薄膜的运用及市场前景前景透明导电氧化物薄膜目前主要的运用领域有平面液晶显示(LCD)、电致发光显示(E

6、LD)、电致彩色显示(ECD)、太阳能光伏电池透明电极22,231；它对光波的选择性(对可见光的透射和对红外光的反射)可用作热反射镜，用于冰冷地域的建筑玻璃窗起热屏蔽作用，节省能源耗费；还可用作透明外表发热器，在汽车、飞机等交通工具的玻璃窗上构成防雾除霜玻璃；同理，可用在防雾摄影机镜头、特殊用途眼镜、仪器视窗上L24j；利用TCO薄膜对微波的衰减性，可用在电子设备、计算机房、雷达屏蔽维护区等需求屏蔽电磁波的地方，以防止外界电磁波对电子设备的干扰与破坏嘲；利用TCA3薄膜光电导随外表吸附的气体种类和浓度不同会发生变化的特点，可用来制造外表型气敏器件，通过掺入不同元素检测不同的气体2朝；柔性衬底T

7、CO薄膜的开发使它的潜在用途扩展到制造柔性发光器件、塑料液晶显示器、可折叠太阳能电池以及作为保温资料用于塑料大棚、玻璃粘贴膜等。表1总结了透明导电薄膜的主要运用及其相应的性能要求。基于磁控溅射技术的商业化消费，TCO薄膜已在许多领域得到了实践运用，如ITO薄膜已被广泛运用于平面显示器件，并胜利运用于飞机风挡、双37战车及医疗喉镜等2 。我国透明导电薄膜的产业化消费已有多年，主要消费平板显示用ITO薄膜。但由于ITO透明导电薄膜的制备技术难度高、工艺复杂，国产靶材质量和消费设备程度还达不到欧、美、日本等兴隆国家，国产ITO薄膜的光电性能与国外高端产品还有差距，产品主要集中运用在低档LCD中。而Z

8、Ao靶材和薄膜的制备研讨仍未全面到达适用程度，特别是大面积成膜工艺远未成熟。目前ITO透明导电薄膜年均需求超越200万平方米，而且逐年迅速增长。由于zAO透明导电薄膜具有本钱低、无污染的优点，假设ZAO透明导电薄膜能处理目前的问题，顺利实现产业化，那么必将迅速取代ITO透明导电薄膜，其市场需求量会远远高于ITO目前的需求量。随着平面显示器件的不断普及，太阳能电池的开展及其运用的扩展，节能环保建筑的逐渐推行，国防建立需求的不断增长，置信这样一个宏大的市场会进一步加快透明导电薄膜的研讨与产品开发步伐，TCO薄膜必将博得更广泛的运用和更大的开展空间。透明导电膜运用阐明透明导电膜运用阐明1 .透明导电膜一面导电，一面不导电。运用时，为维护导电面，在设计安装时应运用导电面向里，不导电面向外。2. 透明导