静电防护指南

1、第第1节节 防静电系统的构成防静电系统的构成 微电子生产与使用环境中的防静电系统大体分为硬件部分和微电子生产与使用环境中的防静电系统大体分为硬件部分和 软件管理部分，在实际工作中忽略任何一个方面或者是一个环节，软件管理部分，在实际工作中忽略任何一个方面或者是一个环节， 都有可能导致静电防护的失败或效果不显著。都有可能导致静电防护的失败或效果不显著。 （一）硬件部份（一）硬件部份 1、人体静电防护用品：、人体静电防护用品：防静电工作服、防静电鞋（鞋束）、防静电工作服、防静电鞋（鞋束）、 手腕带、手套（指套）、帽子、袜子。手腕带、手套（指套）、帽子、袜子。 2、防静电物流传递用品：、防静电物流传递

2、用品：防静电包装（盒、箱、托盘等）、防静电包装（盒、箱、托盘等）、 充填材料（泡沫塑料、发泡材料）、运转车、周转器具、存放柜充填材料（泡沫塑料、发泡材料）、运转车、周转器具、存放柜 （架）、传输带等。（架）、传输带等。 3、防静电地坪：、防静电地坪：地坪可以是多种类型，像地坪可以是多种类型，像PVC地板砖，高地板砖，高 架防静电活动地板、环氧树脂类、橡胶（塑）地面、水泥类等。架防静电活动地板、环氧树脂类、橡胶（塑）地面、水泥类等。 4、防静电操作系统：、防静电操作系统：工作台、工作椅、工具类（电烙铁、工作台、工作椅、工具类（电烙铁、 吸锡器、分路棒、维修工具、吸锡器、分路棒、维修工具、ESD防

3、护夹具）等。防护夹具）等。 5、防静电接地：、防静电接地：防静电独立接地系统或其它几种接地共用防静电独立接地系统或其它几种接地共用 系统。系统。 6、环境控制系统：、环境控制系统：温度和湿度控制设备、环境洁净度控制温度和湿度控制设备、环境洁净度控制 系统。系统。 7、专用生产装联设备：、专用生产装联设备：采取防静电措施的生产装联设备。采取防静电措施的生产装联设备。 8、特殊防静电用具（品）：、特殊防静电用具（品）：各类静电消除器（离子风静各类静电消除器（离子风静 电消除器、静电消除刷等）、防静电剂（喷剂、腊、胶等）。电消除器、静电消除刷等）、防静电剂（喷剂、腊、胶等）。 这类用品配置或使用并不

4、是必需的，根据实际需要来确定。这类用品配置或使用并不是必需的，根据实际需要来确定。 9、静电测量（监控）系统：、静电测量（监控）系统：静电电压（量）表、高阻测静电电压（量）表、高阻测 试仪、静电衰减时间测试仪、静电屏蔽性能测试仪、接地电试仪、静电衰减时间测试仪、静电屏蔽性能测试仪、接地电 阻测试仪等配套的测试用具和各种电极。阻测试仪等配套的测试用具和各种电极。 （二）软件部分（二）软件部分 1、培训大纲与人员培训；、培训大纲与人员培训； 2、防静电工艺和设计文件；、防静电工艺和设计文件； 3、有关防静电专业标准；、有关防静电专业标准； 4、规章制度和操作规程；、规章制度和操作规程； 5、完整质

5、量保证体系（包括检查和试验）；、完整质量保证体系（包括检查和试验）； 6、各种防静电警示标志；、各种防静电警示标志； 7、贮存和运输要求。、贮存和运输要求。 第第2节节 防静电装备（产品）与防静电工作区防静电装备（产品）与防静电工作区 （一）防静电工作区（一）防静电工作区 Electrostatic Discharge Protected Area （EPA）定义）定义 配备各种防静电设备和器材、能限制静电电位，具有确定边界配备各种防静电设备和器材、能限制静电电位，具有确定边界 和专门标记的适于从事静电防护操作的场所叫防静电工作区。和专门标记的适于从事静电防护操作的场所叫防静电工作区。 凡是操

6、作或生产静电放电敏感电子产品（元器件）的场所，都凡是操作或生产静电放电敏感电子产品（元器件）的场所，都 应视为防静电工作区。在该区域内不论是硬件还是软件管理都应符应视为防静电工作区。在该区域内不论是硬件还是软件管理都应符 合防静电系统构成的要求。同时在工作区内任一指定空间所允行的合防静电系统构成的要求。同时在工作区内任一指定空间所允行的 对大地（接地）的静电电位值不超过对大地（接地）的静电电位值不超过100伏（伏（A级），或者不超过级），或者不超过 1000伏（伏（B级）。级）。 （二）防静电装备（用品）（二）防静电装备（用品） 1、防静电地坪、防静电地坪 防静电工作区地面应具有静电耗散性能所

7、以又叫防静电地坪。种防静电工作区地面应具有静电耗散性能所以又叫防静电地坪。种 类有橡胶（塑）、类有橡胶（塑）、PVC地板块、环氧树脂、高架活动地板（铝制、钢地板块、环氧树脂、高架活动地板（铝制、钢 质、木质等）和水泥类等。防静电地坪主要作用是耗散人体和防静电质、木质等）和水泥类等。防静电地坪主要作用是耗散人体和防静电 装备的静电。地面一般设置接地网络，并和防静电接地系统相连接。装备的静电。地面一般设置接地网络，并和防静电接地系统相连接。 静电泄漏电阻小于静电泄漏电阻小于1108欧。欧。 2、防静电工作服、防静电工作服 防静电工作服采用导电纤维和棉等混纺制成，也有用渗碳或导电防静电工作服采用导电

8、纤维和棉等混纺制成，也有用渗碳或导电 合成纤维布制作。当与其它物体摩擦时，产生的静电通过导电纤维与合成纤维布制作。当与其它物体摩擦时，产生的静电通过导电纤维与 人体的接触泄露或通过导电纤维间的电晕放电耗散，从而防止服装的人体的接触泄露或通过导电纤维间的电晕放电耗散，从而防止服装的 静电积累。静电积累。 在使用防静电工作服时应注以下几点：在使用防静电工作服时应注以下几点： 一般不使用非防静电织物作衬里。必须使用时，所用衬里不得一般不使用非防静电织物作衬里。必须使用时，所用衬里不得 超过总衬里面积的超过总衬里面积的20%。操作人员在防静电工作区时不得穿脱服装。操作人员在防静电工作区时不得穿脱服装。

9、 整件服装一般不得使用任何金属附件。必须使用时应不直接外整件服装一般不得使用任何金属附件。必须使用时应不直接外 露到服装表面，以免金属放电。露到服装表面，以免金属放电。 防静电工作服结构应为防静电工作服结构应为“三紧式三紧式”而且耐磨性较好不起尘。而且耐磨性较好不起尘。 穿用工作服时必须与防静电鞋配套使用，并每隔一年按国家标穿用工作服时必须与防静电鞋配套使用，并每隔一年按国家标 准对其进行复检，当带电量超过规定值时，则不得继续使用。准对其进行复检，当带电量超过规定值时，则不得继续使用。 纯棉服装在相对湿度低于纯棉服装在相对湿度低于40%环境中，不适于作防静电工作服。环境中，不适于作防静电工作服

10、。 3、防静电鞋（导电鞋）、防静电鞋（导电鞋） 该鞋鞋底是用加入导电材料的合成橡胶（橡塑）制成，用以将该鞋鞋底是用加入导电材料的合成橡胶（橡塑）制成，用以将 ESDS器件操作人员所带静电荷泄露大地，防止人体静电积极累。器件操作人员所带静电荷泄露大地，防止人体静电积极累。 国家标准国家标准GB4368-95防静电胶底鞋，导电胶鞋安全技术条件防静电胶底鞋，导电胶鞋安全技术条件 规定的防静电鞋鞋底电阻值为规定的防静电鞋鞋底电阻值为11051109欧，导电鞋电阻不大欧，导电鞋电阻不大 于于1 105 欧。防静电鞋和导电鞋在使用方面区别是，防静电鞋可欧。防静电鞋和导电鞋在使用方面区别是，防静电鞋可 以用

11、于有电气设备的环境中，能预防以用于有电气设备的环境中，能预防220伏电压对人体的电击，而伏电压对人体的电击，而 导电鞋则不能用于有触电危险的环境中。导电鞋则不能用于有触电危险的环境中。 在穿用过程中，鞋底部不得沾有任何绝缘物，并且禁止穿用绝在穿用过程中，鞋底部不得沾有任何绝缘物，并且禁止穿用绝 缘性袜子。缘性袜子。 4、防静电腕带和脚带、防静电腕带和脚带 操作操作ESDS器件的人都应使用防静电腕带或脚带，腕带和器件的人都应使用防静电腕带或脚带，腕带和 脚带的作用是防止人体双脚离地时与地绝缘，迅速将人体静脚带的作用是防止人体双脚离地时与地绝缘，迅速将人体静 电荷泄露到大地。电荷泄露到大地。 一般

12、的防静电腕带由带扣、带子和接地连接线组成。带子、一般的防静电腕带由带扣、带子和接地连接线组成。带子、 带扣和接地连接线具有良好的电气接触。为了保证操作人员带扣和接地连接线具有良好的电气接触。为了保证操作人员 安全，通常在腕带的连接线上串有一只安全，通常在腕带的连接线上串有一只1兆欧电阻，以限制人兆欧电阻，以限制人 体触电时流过的电流不大于体触电时流过的电流不大于5毫安。毫安。 使用腕带时，要保证腕带和人手腕、接地连接线和地线良使用腕带时，要保证腕带和人手腕、接地连接线和地线良 好的接触。脚带和防静电鞋的作用相同故不作介绍了。好的接触。脚带和防静电鞋的作用相同故不作介绍了。 5、防护指套、防护指

13、套 操作操作ESDS的器件的人所使用的指套，是用加入抗静电剂的器件的人所使用的指套，是用加入抗静电剂 的乳胶制成，用以预防的乳胶制成，用以预防ESDS器件因不等电位造成损失。指套器件因不等电位造成损失。指套 的表面和体积电阻应低于的表面和体积电阻应低于1 109 欧。欧。 6、防静电袜子、防静电袜子 防静电袜子是在袜底材料中植入导电丝制备而成，用来实防静电袜子是在袜底材料中植入导电丝制备而成，用来实 现人体和导电鞋的电气接触。袜底电阻不应大于现人体和导电鞋的电气接触。袜底电阻不应大于1 108欧。欧。 7、工作帽、工作帽 制作帽子材料和工作服一样，不仅用于防静电，而且具有制作帽子材料和工作服一

14、样，不仅用于防静电，而且具有 防止操作人员头部尘埃，毛发掉落防止操作人员头部尘埃，毛发掉落ESDS器件的防尘作用。器件的防尘作用。 8、防静电包装（袋、周转箱、托盘、盒、泡沫充填物、发泡、防静电包装（袋、周转箱、托盘、盒、泡沫充填物、发泡 材料）材料） 防静电包装种类繁多，其大多是用防静电改性的高分子静电耗防静电包装种类繁多，其大多是用防静电改性的高分子静电耗 散材料制作，像聚乙烯（散材料制作，像聚乙烯（PE）、）、ABS、玻璃钢、聚丙烯（、玻璃钢、聚丙烯（PP）等。）等。 静电敏感器件的存放、运输必须使用防静电包装。防静电包装静电敏感器件的存放、运输必须使用防静电包装。防静电包装 对对ESD

15、S器件提供等电位保护，并对器件提供等电位保护，并对ESDS器件绝缘表面的静电起泄器件绝缘表面的静电起泄 漏和耗散作用。静电屏蔽包装材料对静电感应提供屏蔽以保护漏和耗散作用。静电屏蔽包装材料对静电感应提供屏蔽以保护 ESDS器件。包装材料的使用应无腐蚀性和毒性并防尘。器件。包装材料的使用应无腐蚀性和毒性并防尘。 其表面电阻率应小于其表面电阻率应小于1010欧，欧，1000V100V的衰减时间小于的衰减时间小于2S。 9、运转车、存放柜（架）、传输带、运转车、存放柜（架）、传输带 运转车和存放柜（架）结构为金属架。台面为静电耗散材运转车和存放柜（架）结构为金属架。台面为静电耗散材 料制备并和金属架

16、有良好的电气连接。小车车轮和存放柜（架）料制备并和金属架有良好的电气连接。小车车轮和存放柜（架） 支脚用导电橡胶制作。传输带采用防静电橡胶制作，并和接地支脚用导电橡胶制作。传输带采用防静电橡胶制作，并和接地 装置连接。这些装备用于静电耗散和泄漏。对地电阻应小于装置连接。这些装备用于静电耗散和泄漏。对地电阻应小于 1 109欧。欧。 10、工作台、工作椅、工作台、工作椅 工作台面用静电耗散材料制备并和工作台接地线相连，台工作台面用静电耗散材料制备并和工作台接地线相连，台 面摩擦产生静电可从接地线泄漏。工作椅表面为静电耗散材料。面摩擦产生静电可从接地线泄漏。工作椅表面为静电耗散材料。 椅的结构为金

17、属，脚轮为防静电脚轮和大地形成静电泄漏通路。椅的结构为金属，脚轮为防静电脚轮和大地形成静电泄漏通路。 其静电泄漏电阻小于其静电泄漏电阻小于1108欧。欧。 11、防静电工具类、防静电工具类 防静电电烙铁；有将烙铁头和壳体与地线连接的和低压防静电电烙铁；有将烙铁头和壳体与地线连接的和低压 （DC36V、48V等）恒温的两种。用来防止烙铁头和壳体感应等）恒温的两种。用来防止烙铁头和壳体感应 带电或漏电损坏带电或漏电损坏EDSD器件。器件。 吸锡器：吸锡头与地线相连防止感应带电。吸锡器：吸锡头与地线相连防止感应带电。 维修工具：有钳子、镊子、夹具、剪子、螺丝刀、线夹、维修工具：有钳子、镊子、夹具、剪

18、子、螺丝刀、线夹、 分路棒等。用非铁磁性的静电耗散材料制作，用于静电耗散和分路棒等。用非铁磁性的静电耗散材料制作，用于静电耗散和 防止静电放电。防止静电放电。 12、专用生产装联设备、专用生产装联设备 像插装、贴片、焊接、组装、检测和某些高压电源外壳和像插装、贴片、焊接、组装、检测和某些高压电源外壳和 接触接触ESDS器件的部位都要采取静电接地或静电屏蔽措施。器件的部位都要采取静电接地或静电屏蔽措施。 13、防静电接地系统、防静电接地系统 为使各种防静电措施起到作用，在防静电工作区必须设置防为使各种防静电措施起到作用，在防静电工作区必须设置防 静电接地系统。一般情况下防静电接地系统应与下列防静

19、电装备静电接地系统。一般情况下防静电接地系统应与下列防静电装备 （用品）和设备相连接：防静电地坪、工作台、存在放柜（架）、（用品）和设备相连接：防静电地坪、工作台、存在放柜（架）、 手腕带、波峰焊机、微电子装联设备、喷雾清洗油漆喷砂设备、手腕带、波峰焊机、微电子装联设备、喷雾清洗油漆喷砂设备、 焊接设备、高压设备、专用测试设备。焊接设备、高压设备、专用测试设备。 14、环境控制系统、环境控制系统 在防静电工作区内，应有环境温度和湿度控制设备，使环境在防静电工作区内，应有环境温度和湿度控制设备，使环境 温度控制在温度控制在2025左右，湿度左右，湿度RH50%75%左右，以防温度左右，以防温度

20、过低和湿度过低使静电明显产生。另外对有特殊要求的过低和湿度过低使静电明显产生。另外对有特殊要求的ESDS器件器件 生产组装车间要配置风淋室和空气净化系统，使生产环境达到相生产组装车间要配置风淋室和空气净化系统，使生产环境达到相 应的净化级别（见表应的净化级别（见表3-1） 级别级别 检测的粒径检测的粒径 0.10.20.30.55.0 0.1m1级级351(350.2) 0.1m5级级355351 0.1m10级级3510352350.86 1级级(0.1m35级级)3535357.5353351 10级级35350357535303510 100级级357503530035100 1000级

21、级351000357 10000级级35100003570 100000级级35100000357000 表表3-1 粒粒/立方米立方米 注注:表中表中“”号后面的数字为每立方米空气中的粒子数号后面的数字为每立方米空气中的粒子数.括号内的数字为参值括号内的数字为参值 15、静电消除器（电离器）、静电消除器（电离器） 在不能进行有效接地的地方，可以使用电离空气来泄放静电荷，在不能进行有效接地的地方，可以使用电离空气来泄放静电荷， 或耗散不能有效接地的绝缘体上的静电荷。电离器对进行过喷涂工艺或耗散不能有效接地的绝缘体上的静电荷。电离器对进行过喷涂工艺 之处的电荷耗散也是有用的。之处的电荷耗散也是有

22、用的。 电离器耗散电荷可能需要用几秒钟，甚至几分钟，这取决于带电电离器耗散电荷可能需要用几秒钟，甚至几分钟，这取决于带电 体的电荷量和静电消除器的消电能力。消电后可能会遗留很高的残余体的电荷量和静电消除器的消电能力。消电后可能会遗留很高的残余 电压，足能损坏一些电压，足能损坏一些ESDS产品。为适当的控制产品。为适当的控制ESD，选择和放置电离，选择和放置电离 器时，则需测量被保护面积上的残余电压，并与被操作的器时，则需测量被保护面积上的残余电压，并与被操作的ESDS产品的产品的 电压敏感电平相比较。电压敏感电平相比较。 从职业卫生观点说，某些电离器产生高压，会对人引起危险的电从职业卫生观点说

23、，某些电离器产生高压，会对人引起危险的电 击。另外电离器产生的臭氧也能对人产生不良影响。因此在设计电离击。另外电离器产生的臭氧也能对人产生不良影响。因此在设计电离 器时应将臭氧浓度限制到国家有关标准规定之下。器时应将臭氧浓度限制到国家有关标准规定之下。 16、防静电剂、防静电剂 防静电剂是化学剂，加在绝缘材料的表面或内部，使其产生静防静电剂是化学剂，加在绝缘材料的表面或内部，使其产生静 电的能力降低。吸水型防静电剂，在低相对湿度条件下，其效力降电的能力降低。吸水型防静电剂，在低相对湿度条件下，其效力降 低，可以使用其它不随湿度变化的防静电剂。防静电剂可能用刷、低，可以使用其它不随湿度变化的防静

24、电剂。防静电剂可能用刷、 喷涂、滚轧、浸渍、擦或其它方法加在地板、地毯、工作台顶面、喷涂、滚轧、浸渍、擦或其它方法加在地板、地毯、工作台顶面、 零件托盘、零件运载器、椅子、墙、天花板、工具、纸、塑料和蒙零件托盘、零件运载器、椅子、墙、天花板、工具、纸、塑料和蒙 板上，使它们在不同程度上成为防静电物体。某些防静电剂也是良板上，使它们在不同程度上成为防静电物体。某些防静电剂也是良 好的清除剂，可以同水混合清洗像地板与工作台顶这样的表面，同好的清除剂，可以同水混合清洗像地板与工作台顶这样的表面，同 时其变为防静电的。时其变为防静电的。 防静电剂不适用于电路板、零件或组件、因为这种防静电剂会防静电剂不

25、适用于电路板、零件或组件、因为这种防静电剂会 增加导电性、或者可能影响焊接性。增加导电性、或者可能影响焊接性。 表表3-2防静电装备（用品）基本配置表防静电装备（用品）基本配置表 元元 件件 器器 待待 验验 元器件检验元器件检验 及老化筛选及老化筛选 元元 器器 件件 库库 房房 元元 器器 件件 预预 处处 理理 设设 计计 工工 艺艺 实实 验验 室室 装装 配配 调调 试试 机机 房房 维维 修修 外外 场场 维维 修修 运运 输输 防静电元件存放架防静电元件存放架 静电识别标签静电识别标签 防静电元件盒防静电元件盒 （袋）（袋） 防静电桌垫防静电桌垫 防静电地垫防静电地垫 防静电周转

26、箱防静电周转箱 防静电运输车防静电运输车 防静电工作服防静电工作服 防静电腕带防静电腕带 配置部位配置部位 器材名称器材名称 配置项目配置项目 注：表示必须配置项目注：表示必须配置项目 表示需要时配置项目或局部区域配置项目。表示需要时配置项目或局部区域配置项目。 元元 件件 器器 待待 验验 元器件检验元器件检验 及老化筛选及老化筛选 元元 器器 件件 库库 房房 元元 器器 件件 预预 处处 理理 设设 计计 工工 艺艺 实实 验验 室室 装装 配配 调调 试试 机机 房房 维维 修修 外外 场场 维维 修修 运运 输输 腕带监视器腕带监视器 导电鞋束导电鞋束 防静电工作鞋防静电工作鞋 防静

27、电工作手套防静电工作手套 防静电烙铁防静电烙铁 防静电吸锡器防静电吸锡器 防静电印刷板架防静电印刷板架 静电电压表静电电压表 离子风静电消除器离子风静电消除器 配置部位配置部位 器材名称器材名称 配置项目配置项目 注：表示必须配置项目注：表示必须配置项目 表示需要时配置项目或局部区域配置项目。表示需要时配置项目或局部区域配置项目。 元元 件件 器器 待待 验验 元器件检验元器件检验 及老化筛选及老化筛选 元元 器器 件件 库库 房房 元元 器器 件件 预预 处处 理理 设设 计计 工工 艺艺 实实 验验 室室 装装 配配 调调 试试 机机 房房 维维 修修 外外 场场 维维 修修 运运 输输

28、防静电维修箱（包）防静电维修箱（包） 防静电海棉泡沫防静电海棉泡沫 防静电接地线（带）防静电接地线（带） 防静电工作区标志牌防静电工作区标志牌 防静电文件袋防静电文件袋 抗静电剂（溶液）抗静电剂（溶液） 静电监测设备静电监测设备 配置部位配置部位 器材名称器材名称 配置项目配置项目 注：表示必须配置项目注：表示必须配置项目 表示需要时配置项目或局部区域配置项目。表示需要时配置项目或局部区域配置项目。 17、防静电装备（用品）图示、防静电装备（用品）图示 防静电防静电PVC材料材料 图图3-1防静静电工作服、鞋、帽防静静电工作服、鞋、帽 图图3-2防静电手腕带、手套（指套）防静电手腕带、手套（指

29、套） 图图3-3防静电活动地板、环氧树脂地坪防静电活动地板、环氧树脂地坪 图图3-4防静电包装袋（泡沫塑料等）防静电包装袋（泡沫塑料等） 图图3-5 防静电周转容器、盒防静电周转容器、盒 图图3-6离子静电消除器离子静电消除器 图图3-7离子枪离子枪 （三）防静电工作区（三）防静电工作区（EPA）构成注意事项）构成注意事项 防静电工作区（防静电工作区（EPA）的构成，如前所述。另外对防静电地坪）的构成，如前所述。另外对防静电地坪 表面涂覆的保护腊应具有防静电性能。表面涂覆的保护腊应具有防静电性能。 对于对于EPA，在有条件时还应配备下列装备：，在有条件时还应配备下列装备： 腕带监测仪：为了确保

30、腕带的静电泄露作用，在腕带监测仪：为了确保腕带的静电泄露作用，在EPA区域当设区域当设 置腕带监测仪。当置腕带监测仪。当ESDS器件操作人员佩带的腕带系统电阻值超过器件操作人员佩带的腕带系统电阻值超过 或低于仪器设定电阻范围时，仪器报警。此时应及时更换腕带。或低于仪器设定电阻范围时，仪器报警。此时应及时更换腕带。 静电电压表、欧姆表、高阻计：这些仪器的使用可以判定静电电压表、欧姆表、高阻计：这些仪器的使用可以判定EPA 区域使用的产品、装备是否满足防静电要求。区域使用的产品、装备是否满足防静电要求。 接地监测仪：这种仪器的使用，可以对接地系统完好状况进行接地监测仪：这种仪器的使用，可以对接地系

31、统完好状况进行 监测。当接地系统电阻发生变化或出现断路时都可通过它发现。监测。当接地系统电阻发生变化或出现断路时都可通过它发现。 1、EPA内接地注意事项内接地注意事项 EPA接地线采用裸线或非裸线都可以。如果使用非裸线，一般应接地线采用裸线或非裸线都可以。如果使用非裸线，一般应 采用黄绿相间的封皮，并需经常检查其电气导通性。在任何时候使用采用黄绿相间的封皮，并需经常检查其电气导通性。在任何时候使用 的接地线都应具有耐腐性和一定的机械强度。接地的连接点和网络的的接地线都应具有耐腐性和一定的机械强度。接地的连接点和网络的 连接必须牢固可靠，使用接地夹钳或焊接可以保证很小的接地电阻。连接必须牢固可

32、靠，使用接地夹钳或焊接可以保证很小的接地电阻。 电子试验设备和工具的接地电位：电子试验设备和工具的接地电位：EPA区域和工作台的设计和构区域和工作台的设计和构 造，应该保证电子试验设备和电动工具的所有外部表面和屏蔽壳体，造，应该保证电子试验设备和电动工具的所有外部表面和屏蔽壳体， 在全部工作时间内都处于同一公共地电位。在全部工作时间内都处于同一公共地电位。 供带金属外壳的便携工具和设备使用的插头和方便插座，应该有供带金属外壳的便携工具和设备使用的插头和方便插座，应该有 在配接时使工具和设备的金属框架或外壳自动接地的措施，而且，接在配接时使工具和设备的金属框架或外壳自动接地的措施，而且，接 地脚

33、要首先接地，最后断开。地脚要首先接地，最后断开。 作为人身安全的附加保护措施，漏电保护器应与试验设备一起使作为人身安全的附加保护措施，漏电保护器应与试验设备一起使 用。用。 漏电保护器器可检测出故障试验设备引起的泄漏电流，当漏电保护器器可检测出故障试验设备引起的泄漏电流，当 电流达到一定的危险程度时，断路器就立即切断电路。在存在电流达到一定的危险程度时，断路器就立即切断电路。在存在 并联通路时，应特别注意，并联通路可以把人体对地的等效电并联通路时，应特别注意，并联通路可以把人体对地的等效电 阻降低到危险的程度。阻降低到危险的程度。 工作台和其它防护用品的接地；工作台表面应该用工作台和其它防护用

34、品的接地；工作台表面应该用ESD防防 护材料覆盖和接地。连接接地电缆的方法如下：护材料覆盖和接地。连接接地电缆的方法如下： 用钢螺钉，在螺钉头下放置直径约用钢螺钉，在螺钉头下放置直径约2.5cm的钢平面垫圈的钢平面垫圈,把把 ESD防护材料安装在工作台表面上，或用像安装双面毡层带那防护材料安装在工作台表面上，或用像安装双面毡层带那 样的方法，使用钢螺钉头下放置钢垫圈来安装样的方法，使用钢螺钉头下放置钢垫圈来安装ESD防护材料。防护材料。 把电阻性接地电缆的一端接到螺丝钉头和金属之间，把电把电阻性接地电缆的一端接到螺丝钉头和金属之间，把电 阻性接地电缆的另一端接到静电接地干线上。阻性接地电缆的另

35、一端接到静电接地干线上。 如果以复合材料用作工作台面，安装接地电缆的螺钉应伸到该如果以复合材料用作工作台面，安装接地电缆的螺钉应伸到该 材料层内，因为材料内层比精加工表面导电性好。材料层内，因为材料内层比精加工表面导电性好。 电缆和电阻器应具有足够的载流能力。由于工作台地线是为泄电缆和电阻器应具有足够的载流能力。由于工作台地线是为泄 放静电荷用的，通常放静电荷用的，通常0.5W电阻器足够；电阻器足够； 接地电缆连接应该是连续的和永久性的。接地电缆和接线的材接地电缆连接应该是连续的和永久性的。接地电缆和接线的材 料应具有足够的机械强度，以避免偶然的地线断开。料应具有足够的机械强度，以避免偶然的地

36、线断开。 工作台面、地板垫、接地扣带和其它用来耗散静电的工作台面、地板垫、接地扣带和其它用来耗散静电的ESDS器件器件 保护面积，均应通过限流电阻接到地。保护面积，均应通过限流电阻接到地。 手腕扣带应该通过工作台面接地点与地连接。手腕扣带应该通过工作台面接地点与地连接。 工作台不应该相互串接，因为串联电阻能附加引起较长的工作台不应该相互串接，因为串联电阻能附加引起较长的ESD 耗散时间。此外，一条接地电缆断开，会引起另外工作台的接地电耗散时间。此外，一条接地电缆断开，会引起另外工作台的接地电 缆断开。缆断开。 2、防静电工作区的其它要求、防静电工作区的其它要求 电气设备、工具、烙铁、焊料盒、波

37、峰焊设备等应该硬接地。电气设备、工具、烙铁、焊料盒、波峰焊设备等应该硬接地。 从热焊烙铁头至地的电阻值应小于从热焊烙铁头至地的电阻值应小于20，以使电压增高小于，以使电压增高小于15V。与。与 ESDS器件接触的其它电力设备也要接地。应该使用像金属喷镀或防器件接触的其它电力设备也要接地。应该使用像金属喷镀或防 静电这样的静电这样的ESDS器件保护焊料吸管。对手工工具的绝缘把，应该进器件保护焊料吸管。对手工工具的绝缘把，应该进 行静电检测，如果需要的话，应定期用防静电剂处理。行静电检测，如果需要的话，应定期用防静电剂处理。 试验设备全部裸露在外面的金属面，应通过接地插头通至试试验设备全部裸露在外

38、面的金属面，应通过接地插头通至试 验设备的电源系统，或是其它的硬接地。为了人身安全免遭电冲击、验设备的电源系统，或是其它的硬接地。为了人身安全免遭电冲击、 试验设备不应置于导电工作台表面上，因为它可能导致这个表面硬试验设备不应置于导电工作台表面上，因为它可能导致这个表面硬 接地。根据附近电压源的大小，可以把实验设备放在较大电阻的防接地。根据附近电压源的大小，可以把实验设备放在较大电阻的防 静电材料上。在用来给试验设备供电的电插座内，应该使用漏电保静电材料上。在用来给试验设备供电的电插座内，应该使用漏电保 护器作为附加的人身安全措施。护器作为附加的人身安全措施。 温箱应配备接地导流片，以耗散循环

39、空气中的电荷。另一方温箱应配备接地导流片，以耗散循环空气中的电荷。另一方 面，在温箱内应该使用电离空气，以耗散由于空气流动产生的静电面，在温箱内应该使用电离空气，以耗散由于空气流动产生的静电 荷，或采用屏蔽措施，使带电空气离开温箱中的荷，或采用屏蔽措施，使带电空气离开温箱中的ESDS器件。应该器件。应该 注意，在使用注意，在使用CO2的冷冻箱内，的冷冻箱内，CO2 蒸气可以产生大量的静电电荷，蒸气可以产生大量的静电电荷， 温箱内的被试零件应置于温箱内的被试零件应置于ESDS器件保护运输斗内，或置于温箱里器件保护运输斗内，或置于温箱里 接地金属框架上的托盘内。用于温箱内的接地金属框架上的托盘内。

40、用于温箱内的ESDS器件保护材料的热器件保护材料的热 稳定性，应该适应整个试验温度范围。稳定性，应该适应整个试验温度范围。 喷雾、清洗、油漆和喷砂设备在处理喷雾、清洗、油漆和喷砂设备在处理ESDS器件时，应该使器件时，应该使 用适合于防止静电荷积聚的电离空气压缩机、导电溶剂或电离喷嘴。用适合于防止静电荷积聚的电离空气压缩机、导电溶剂或电离喷嘴。 应该采用喷射导电的或抗静电处理的净砂浆来代替干喷砂。像与正应该采用喷射导电的或抗静电处理的净砂浆来代替干喷砂。像与正 常清洁溶剂混合的乙醇这类低电阻系数的溶剂，能减少静电产生。常清洁溶剂混合的乙醇这类低电阻系数的溶剂，能减少静电产生。 湿空气通过保持表

41、面潮湿而使表面导电性增加，有助于湿空气通过保持表面潮湿而使表面导电性增加，有助于 耗散静电荷。随着相对湿度的降低，可以积累显著的静电电压。耗散静电荷。随着相对湿度的降低，可以积累显著的静电电压。 在不能维持高相对湿度水平的地方，要使用电离空气耗散静电在不能维持高相对湿度水平的地方，要使用电离空气耗散静电 电荷。对于湿度测量应采用湿球温湿计或校准的电子温湿计，电荷。对于湿度测量应采用湿球温湿计或校准的电子温湿计， 用毛发表盘式湿度计往往精度不够。用毛发表盘式湿度计往往精度不够。 在在EPA区域内保持较高空气洁净度是很重要。为保证产区域内保持较高空气洁净度是很重要。为保证产 品质量，采取一些净化空

42、气措施是非常必要的。图品质量，采取一些净化空气措施是非常必要的。图3-8示出一个示出一个 典型典型EPA工作区。工作区。 图图3-8 EPA工作区工作区 第第3节节 防静电接地及与其它几种接地的关系防静电接地及与其它几种接地的关系 （一）几种接地概念（一）几种接地概念 1、保护接地、保护接地 保护接地，就是将电气设备不带电的金属部分与接地体之保护接地，就是将电气设备不带电的金属部分与接地体之 间作良好的金属连接。间作良好的金属连接。 当没有保护接地的电气设备绝缘损坏时，其外壳有可能带当没有保护接地的电气设备绝缘损坏时，其外壳有可能带 电，如果人体触及电气设备的外壳就可能被电击伤或造成生命电，如

43、果人体触及电气设备的外壳就可能被电击伤或造成生命 危险。在中性点直接接地的电力系统中，接地短路电流经人身、危险。在中性点直接接地的电力系统中，接地短路电流经人身、 大地流回中性点；在中性点没有直接接地的电力系统中，接地大地流回中性点；在中性点没有直接接地的电力系统中，接地 电流经人、大地，并经线路对地电容构成通路，两种情况都能电流经人、大地，并经线路对地电容构成通路，两种情况都能 造成人身触电。造成人身触电。 如果装有接地装置的电气设备绝缘损坏使外壳带电时，如果装有接地装置的电气设备绝缘损坏使外壳带电时， 接地短路电流将同时沿着接地体和人体两条通路流过。我们接地短路电流将同时沿着接地体和人体两

44、条通路流过。我们 知道；在一个并联电路里，通过每条支路的电流值与电阻的知道；在一个并联电路里，通过每条支路的电流值与电阻的 大小成反比，接地装置的接地电阻越小，流经人体的电流也大小成反比，接地装置的接地电阻越小，流经人体的电流也 越小，通常人体电阻要比接地电阻大数百倍，流经人体的电越小，通常人体电阻要比接地电阻大数百倍，流经人体的电 流也比流过接地体的电流小数百倍。当接地电阻很小时，流流也比流过接地体的电流小数百倍。当接地电阻很小时，流 过人体的电流几乎等于零。过人体的电流几乎等于零。 实际上，由于接地电阻很小，接地短路电流流过时所产实际上，由于接地电阻很小，接地短路电流流过时所产 生的压降很

45、小，故外壳对大地的电压很低。人站在大地上接生的压降很小，故外壳对大地的电压很低。人站在大地上接 触外壳时，人体所承受的电压很低，不会有危险，所以，加触外壳时，人体所承受的电压很低，不会有危险，所以，加 装保护接地装置并且降低它的接地电阻是避免触电危险的有装保护接地装置并且降低它的接地电阻是避免触电危险的有 效措施。效措施。 2、工作接地、工作接地 将电力系统中的某一点（通常是中性点）直接或经特殊设备将电力系统中的某一点（通常是中性点）直接或经特殊设备 （如消弧线圈、阻抗、电阻等）与大地作金属连接，称为工作接（如消弧线圈、阻抗、电阻等）与大地作金属连接，称为工作接 地。地。 工作接地的作用如下：

46、工作接地的作用如下： 主要是中性点接地，这是系统运行的需要。中性点接地可主要是中性点接地，这是系统运行的需要。中性点接地可 以防止零序电压偏移，保持三相电压基本平衡，对于低压系统很以防止零序电压偏移，保持三相电压基本平衡，对于低压系统很 有意义，可以方便使用单相电源。另外在两线一地供电系统中有意义，可以方便使用单相电源。另外在两线一地供电系统中,由由 于将一线工作接地，借助大地做一相导体，降低了纸路建设投资于将一线工作接地，借助大地做一相导体，降低了纸路建设投资. 降低人体的接触电压降低人体的接触电压: 在中性点绝缘的系统中，当一相接地，而人体又触及另一相时，在中性点绝缘的系统中，当一相接地，

47、而人体又触及另一相时， 人体所受到的接触电压将超过相电压而成为线电压，电压提高人体所受到的接触电压将超过相电压而成为线电压，电压提高1.73 倍。倍。 当中性点接地时，因中性点的接地电阻很小，或近似于零，与当中性点接地时，因中性点的接地电阻很小，或近似于零，与 地间的电位差亦近似于零，当一相碰地而人体触及另一相时，人体地间的电位差亦近似于零，当一相碰地而人体触及另一相时，人体 的接触电压只接近或等于相电压。因此降低了人体的接触电压的接触电压只接近或等于相电压。因此降低了人体的接触电压. 迅速切断故障设备迅速切断故障设备. 在中性点绝缘系统中，当一相接地时接地电流很小。因此，保在中性点绝缘系统中

48、，当一相接地时接地电流很小。因此，保 护设备不能迅速动作切断电源，故障将持续下去。护设备不能迅速动作切断电源，故障将持续下去。 在中性点接地系统中就不同了，当一相接地时，接地电流成为在中性点接地系统中就不同了，当一相接地时，接地电流成为 很大的单相短路电流，保护设备能准确而迅速动作切断故障线路，很大的单相短路电流，保护设备能准确而迅速动作切断故障线路， 保证其他线路和设备正常运行。保证其他线路和设备正常运行。 降低电气设备和电力线路的设计绝缘水平降低电气设备和电力线路的设计绝缘水平: 如上所述，因中性点接地系统中一相接地时，其它两相的如上所述，因中性点接地系统中一相接地时，其它两相的 对地电压

49、不会升高到相电压的对地电压不会升高到相电压的 1.73倍，而是近似于或等于相电倍，而是近似于或等于相电 压，所以在中性点接地系统中，电气设备和线路在设计时压，所以在中性点接地系统中，电气设备和线路在设计时,其绝其绝 缘水平只按相电压考虑，故降低了建设费用，节约了投资。缘水平只按相电压考虑，故降低了建设费用，节约了投资。 3.重复接地重复接地 在有重复接地的低压供电系统中，当发生接地短路时，能在有重复接地的低压供电系统中，当发生接地短路时，能 降低零线的对地电压；当零线发生断路时，能使故障程度减轻降低零线的对地电压；当零线发生断路时，能使故障程度减轻; 在没有重复接地的情况下在没有重复接地的情况

50、下,当零线发生断线时当零线发生断线时,在断线点后面只要在断线点后面只要 有一台用电设备发生一相碰壳短路有一台用电设备发生一相碰壳短路,其他外壳接零设备的外壳上其他外壳接零设备的外壳上 都会存在接近相电压的对地电压。而有重复接地时，断线点后都会存在接近相电压的对地电压。而有重复接地时，断线点后 面设备外壳上的对地电压面设备外壳上的对地电压ud的高低，由变压器中性点的接地电的高低，由变压器中性点的接地电 阻与重复接地装置的接地电阻分压决定，即阻与重复接地装置的接地电阻分压决定，即 Ud=Ux r0+rn rn 式中式中Ud设备外壳外的对地电压；设备外壳外的对地电压； Ux相电压；相电压； r0变压

51、器中性点接地电阻；变压器中性点接地电阻； rn重复接地电阻。重复接地电阻。 一航一航rn r0， ，故外壳电压仍然较高，对人体仍可造成危害。 故外壳电压仍然较高，对人体仍可造成危害。 如果是多处重复接地（并联），则接地电阻值很低，如果是多处重复接地（并联），则接地电阻值很低， 零线断路点后面碰相外壳的对地电压零线断路点后面碰相外壳的对地电压Ud也就很小，对人身也就很小，对人身 的危险就会大减轻。的危险就会大减轻。 由上述分析可知，零线断线是影响安全的不利因素，由上述分析可知，零线断线是影响安全的不利因素， 故应尽量避免发生零线现象。这就要求在零线施工时注意故应尽量避免发生零线现象。这就要求在零

52、线施工时注意 安装质量，零线上不得装设保险丝及开关设备，同时在运安装质量，零线上不得装设保险丝及开关设备，同时在运 行中注意加强维护和检查；行中注意加强维护和检查； 图图3-9示出了工作接地、保护接地和重复接地。示出了工作接地、保护接地和重复接地。 图3-9 工作接地、保护接地和重复接地示意图 4、防雷接地、防雷接地 为把雷电流迅速导入大地以防止雷害为目的的接地称作为把雷电流迅速导入大地以防止雷害为目的的接地称作 防雷接地。防雷接地。 防雷接地装置包括以下部分：防雷接地装置包括以下部分： 雷电接受装置：直接或间接接受雷电的金属杆（接闪雷电接受装置：直接或间接接受雷电的金属杆（接闪 器）如避雷针

53、、避雷带（网）、架空地线及避雷器等。器）如避雷针、避雷带（网）、架空地线及避雷器等。 接地线（引下线）：雷电接受装置与接地装置连接用接地线（引下线）：雷电接受装置与接地装置连接用 的金属导体。的金属导体。 接地装置：接地线和接地体的总和。雷电接受装置、接地装置：接地线和接地体的总和。雷电接受装置、 引下线和接地装置总称为防雷保护装置。引下线和接地装置总称为防雷保护装置。 各种防雷接地装置的接地电阻，一航应根据落雷时的反击条各种防雷接地装置的接地电阻，一航应根据落雷时的反击条 件来确定。防雷装置与电气设备的工作接地合用一个总的接地件来确定。防雷装置与电气设备的工作接地合用一个总的接地 网时，接地

54、电阻应符合其中最小值的要求，各类防雷专用接地网时，接地电阻应符合其中最小值的要求，各类防雷专用接地 装置的接地电阻，一般不大于下列数值：装置的接地电阻，一般不大于下列数值： *室外单独装设的避雷针，一航不大于室外单独装设的避雷针，一航不大于1 ，在高土壤电阻，在高土壤电阻 率地区，在满足不反击的条件下，也可适当增大；率地区，在满足不反击的条件下，也可适当增大； *变电所构架一允许装设的避雷针，其接地点除与主接地变电所构架一允许装设的避雷针，其接地点除与主接地 网相连外，还应做集中接地装置（接地电阻不大于网相连外，还应做集中接地装置（接地电阻不大于10），但），但 避雷针的接地点与主变压器的接地

55、点在地下沿接地体的长度避雷针的接地点与主变压器的接地点在地下沿接地体的长度 必须大于必须大于15m； *电力线路架空避雷线的接地电阻，根据土壤电阻率不同，电力线路架空避雷线的接地电阻，根据土壤电阻率不同， 分别为分别为10-30； *单独装设的阀型避雷器、管型避雷器、保护间隙其接地单独装设的阀型避雷器、管型避雷器、保护间隙其接地 电阻为电阻为10； *烟囱的避雷针接地电阻应为烟囱的避雷针接地电阻应为30； *架空引入线瓷瓶脚接地电阻为架空引入线瓷瓶脚接地电阻为20。 5、静电接地、静电接地 将带静电物体或有可能产生静电体与大地构成电气回路的将带静电物体或有可能产生静电体与大地构成电气回路的 接

56、地叫静电接地。静电接地电阻一般不大于接地叫静电接地。静电接地电阻一般不大于100。 （二）防静电接地和其它几种接地关系（二）防静电接地和其它几种接地关系 防静电工程中静电防护区的地线较为常用的敷设方法有两防静电工程中静电防护区的地线较为常用的敷设方法有两 种：一种是专从埋设的地线接地体引出的接地线，单独敷设到种：一种是专从埋设的地线接地体引出的接地线，单独敷设到 生产线的防静电作业岗位。以便作静电泄漏之用，单独敷设的生产线的防静电作业岗位。以便作静电泄漏之用，单独敷设的 接地导线通常使用大于接地导线通常使用大于1mm厚，约厚，约25mm宽镀锌皮或用截面大宽镀锌皮或用截面大 于于46mm2的钢芯

57、线单独引入；二是采用三相五线制供电系统的钢芯线单独引入；二是采用三相五线制供电系统 中的地线、引出电源零线的同时，单独引出大地地线作防静电中的地线、引出电源零线的同时，单独引出大地地线作防静电 接地母线，工程上称谓接地母线，工程上称谓“一点引出电阻隔离一点引出电阻隔离”，电源主变电箱，电源主变电箱 到大地的接地电阻应小到大地的接地电阻应小4，如图，如图3-10所示。所示。 图图3-10 三相五线制地线引出图三相五线制地线引出图 在一航情况下静电接地可以和保护接地或有重复接地在一航情况下静电接地可以和保护接地或有重复接地 的工作接地共用一个接地体。的工作接地共用一个接地体。 静电接地应尽可能避开

58、和某些精密仪器的信号接地、静电接地应尽可能避开和某些精密仪器的信号接地、 微小参量仪器的接地共用一个接地体。因为静电接地微小参量仪器的接地共用一个接地体。因为静电接地 泄放静电有时可产生较高脉冲，对仪器产生干扰。泄放静电有时可产生较高脉冲，对仪器产生干扰。 静电接地应尽可能避开某些精密仪器的信号接地、微小参静电接地应尽可能避开某些精密仪器的信号接地、微小参 量仪器的接地。因为静电接地泄放静电时可能产生较高脉冲，量仪器的接地。因为静电接地泄放静电时可能产生较高脉冲， 对仪器产生干扰。对仪器产生干扰。 静电接地应和防雷接地分开。因为防雷接地在泄放雷电流静电接地应和防雷接地分开。因为防雷接地在泄放雷

59、电流 时，可产生较高反击电压，通过静电接地能将反击电压引入静时，可产生较高反击电压，通过静电接地能将反击电压引入静 电防护区造成安全事故或将仪器设备损坏，在工程中静电接地电防护区造成安全事故或将仪器设备损坏，在工程中静电接地 应与防雷接地相隔应与防雷接地相隔20m距离。距离。 对于某些建筑物，由于在设计中已将防雷接地和其它接地对于某些建筑物，由于在设计中已将防雷接地和其它接地 共用一个接地体，此时系统接地电阻必须小于共用一个接地体，此时系统接地电阻必须小于1。另外在其它。另外在其它 地线支路（不包括防雷地线支路）必须装设防反击的装置（压地线支路（不包括防雷地线支路）必须装设防反击的装置（压 电

60、元件等）和防雷接地连接，形成等电位体。电元件等）和防雷接地连接，形成等电位体。 （三）（三）EPA外静电接地要求外静电接地要求 接地装置是连接电器与大地间的过渡装置，是专为泄放雷接地装置是连接电器与大地间的过渡装置，是专为泄放雷 电流和接地短路电流而设置的。一航来说，直接埋入地中并且电流和接地短路电流而设置的。一航来说，直接埋入地中并且 与大地接触的金属导体或导体组叫做接地体或接地极。与大地接触的金属导体或导体组叫做接地体或接地极。 连接接地体和电气设备接地端子之间的金属导体叫接地线。连接接地体和电气设备接地端子之间的金属导体叫接地线。 接地体和接地线的总和称为接地装置。接地体和接地线的总和称