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文档简介
1、 1cos,sin ! 7! 5! 3 sin 753 sin sin 像 差 单色像差 色差 轴上点像差球差 轴外点像差 彗差 象散 场曲 畸变 位置色差 倍率色差 nm555 nm760380 )1 .546(nm )3 .589(nm )1 .486(nm )3 .656(nm )/() 1( ,CFFDD nnnn )/() 1( ,DGFFF nnnn )1 .434(nm )7 .404(nm )6 .587(nm )/ ) 1(, )/() 1( 257 , hiii AdCCC nnnn nnnn )2 .768(nm nm257 )0 .365(nm 1 2 )/() 1(,
2、 2/ )( 2121 nnnnnn lLL mm L L U L U )(Uh U U lL L l L T A 0 A 光学系统 高斯像面 mmL15024. 0sinU m U m h m U U sin sin m h h 5163. 10 . 4 815.25815.25 21 nmmd mmrmmr mmlL/ , m UU sin/sinmm L / l lL m l L T A 0 A m U m U L 0 A 当屏移到某一位置,弥散 斑为最小, 但无论屏在任何位置都不能成为一个几何 点,这种现象是由球差引起的。 T L ULTtan L T L 0)()( hh )()(
3、0 T L T L U oo )( )( )()( L y h h T L mmLmmLmml m 004. 0,005.97,009.97 mmLmmL hh 026. 0,983.96 707. 0707. 0 )( 2 1 cos)( 2 1 cos)( 2 1 cos )sin)(sinsin(sinsin IIUIUI UIIIUniL s k kkk s Uun L 1 sin2 1 0L1, 0L 0sinsinII0 II n n rLL , U r rl n n I n n Isinsinsin 0sinsinUIUI r n nn L r n nn L LnnL 2 / n
4、 n LnLn C 折射球面 入瞳 O T K B 0 B A 0 A zbaT YYYK 2 1 T B B b az C T B T K zbaT YYYK 2 1 T B B B UynUnysinsin 0 sin sin sin sin un nu Un Un Un Un U h f sin 0sinU )296(1 sin sin1 z lL L U U n n )316(1 sin sin z lL L U U n n cos )326(1 sin 1 z lL L Uf h cos UynUnysinsin )306(1 sin 1 z lL L Uf h T B 高 斯 像
5、面 T B 0 B 0 B T K T K T B B 0 B 高 斯 像 面 T B B 0 B T K T K zbaT YYYK 2 1 a b z pA B 1 p 2 p b B a B z B b Y z Y a Y T B T X T B T K zbaT YYYK 2 1 a b z pA B 1 p 2 p b B a B z B b Y z Y a Y T X s K B z B A 0 A c d z S X S B T K s K B z B A 0 A c d z S X S B T B T X ts X tTT xXL t x T X T L s x S X S L
6、 sSS xXL A B 0 A t B s B t l ts x s x s l t x l 0 B 入射光瞳 ts x ts X stts XXX stts xxx ts X s B t B 0 B 0 A t X s X t B ts X s B t B 0 B 0 A t X s X s B t B t B s B t l s l ts x A B 入射光瞳 光学系统 子午像 弧矢像 0 B 0 A s B t B s B t l s l ts x A B 入射光瞳 光学系统 子午像 弧矢像 0 B 0 A z y y yyy zz z y a B 枕形畸变C桶形畸变 q %100%100
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