星科金朋集成电路(上海)有限公司项目

1、星科金朋集成电路星科金朋集成电路(上海上海)有限公司项目有限公司项目 环境影响报告书环境影响报告书 ( ( (简写本简写本简写本简写本) ) ) 委托单位委托单位委托单位委托单位: : : 星科金朋集成电路星科金朋集成电路(上海上海)有限公司有限公司 环评单位环评单位环评单位环评单位: : : 上海市环境科学研究院上海市环境科学研究院上海市环境科学研究院上海市环境科学研究院 证书编号证书编号证书编号证书编号: : :国环评证甲字第国环评证甲字第国环评证甲字第国环评证甲字第180118011801号号号号 200620062006 年年年年 101010 月月月月 星科金朋集成电路星科金朋集成电

2、路(上海上海)有限公司项目有限公司项目 环境影响报告书简写本环境影响报告书简写本 1 建设项目概况建设项目概况 1.1 项目名称和项目名称和位置位置 星科金朋集成电路(上海)有限公司项目 选址上海市松江试点园区西区台积电公司内，台电积公司厂址位于文翔路 北侧，属于上海市黄浦江上游水源保护区范围。 松江区位于上海市区西南部，黄浦江上游，与闵行、金山、奉贤、青浦区接壤。 地处长江三角洲东北部，与“冈身”以西，是长江三角洲平原成陆较早的部分，松 江区城位于北纬 31，东径 12114，距上海市中心约 40km。 项目所地的松江试点园区西片规划范围为西至斜塘，东靠油墩港，北到花辰 公路，南至沪杭铁路。

3、 建设项目在上海市的地理位置见图 1-1。 项目在松江工业区西区的地理位置和周边环境见图 1-2。 1.2 项目性质和规模项目性质和规模 本项目为新建项目，为外资独资经营。以台积电生产的 8 英寸芯片为原件， 在其上面的无数的集成电路上制作金凸块，8 英寸芯片金凸块月产 15000 片，其 中 4000 片再在金凸块的上面电镀镍凸块。 1.3 主要建主要建设设内容：内容： 表表 1-1 星科金朋集成星科金朋集成电电路路(上海上海)有限公司主要建有限公司主要建设设内容内容 序号设施名称建设内容建设状态 1生产设施金凸块生产设施，包括电镀金、镍设施新建 2动力设施 纯水制备、循环冷却水、暖通及空调

4、净化、化学品配制 与输送、高（低）压变配电 依托台积电 3辅助设施 更衣室、技术管理、质量管理及产品开发、设备维修、备 品备件库、原材料库、成品库及化学品库等 新设 4环保设施废水处理、废气处理、废液、固体废物回收、绿化维护依托台积电 5安全设施消防设施、职业安全防护设施依托台积电 6服务设施办公楼、食堂、停车场依托台积电 7室外工程排水管线、蒸汽管线、工艺物料外管线、高压输电线依托台积电 、 n 图图 1-1 本本项项目在上海莘庄工目在上海莘庄工业业区的地理位置和周区的地理位置和周边环边环境境 星科金朋上海星科金朋上海项项目目 台台 积积 电电 本项目 长长 兴兴 港港 打打 铁铁 浜浜 佘

5、山国家旅游度假区佘山国家旅游度假区 彩色滤光片是液晶显示器关键配套件之一，为配合上海广电-nec 液晶显示 器有限公司的投产，项目拟于上海市闵行区莘庄工业区（市级）上海广电-nec 液 晶显示器有限公司南侧空地上建设。闵行区位于上海市中部，莘庄工业区位于闵 行区的颛桥镇，中心城区外，本项目位于莘庄工业区的西南面，厂区西侧为林地， 东距华宁路 200m，北与上海广电-nec 液晶显示器有限公司相邻，南与联农路相 接。厂区总占地面积 7.794ha，其中绿化面积 2.32ha。建设地点距上海中心城区边 界外环线尚有约 7km 距离，地理位置优越。 1.2 公司股东公司股东 上海广电富士光电材料有限

6、公司由上海广电电子股份有限公司、占本项目 注册资金比例为 75%；日本富士胶片株式会社，占本项目注册资金比例为 25%等 2 家著名的中外大型公司投资组成。 工程总投资为 21.36 亿元。注册资本金额：1.0 亿美元。 总投资中，设备投资 10.96 亿元，环保投资 3000 万元，环保投资占总投资 的 1.40%。 1.3 规模和规模和组成组成 (1) 生产规模 主要为上海广电-nec 液晶显示器有限公司第 5 代 tft-lcd 显示面板生产 线配套，并承担 oem 委托加工。 产能：彩色滤光片加工能力：玻璃基板 8 万张/月。每张基板玻璃 1100mm1300mm，厚度：0.7mm。

7、(2) 建设项目组成 建设项目组成见表 1-1。 图图 1-2 本本项项目在松江工目在松江工业业区西区的地理位置和周区西区的地理位置和周边环边环境境 1.4 主要工艺方法 本工程采用的工艺路线简化后如图 1-3 所示。污染主要来自于电镀金和电镀 镍。 图图 1-3 芯片金凸芯片金凸块块生生产产工工艺艺流程流程简图简图 2 建设项目对环境可能造成的影响建设项目对环境可能造成的影响 2.1 对环对环境空气境空气的影响的影响 2.1.1 环境空气质量现状 按照上海市环境空气质量功能区划，当地环境空气执行环境空气质量标 准(gb3095-1996)二级标准。 利用松江工业区区域环评资料描述当地环境空气

8、质量现状。项目区域环境 空气质量良好，除徐庄监测点 pm10浓度略有超标外，其余监测点 so2、no2 、pm10、氟化物指标均达到国家环境空气质量二级标准， hcl 浓度符合tj36- 79 工业企业设计卫生标准中的“居住区大气中有害物质的最高容许浓度”一次 浓度限值要求，均符合项目区域环境空气功能区要求。 芯片薄膜溅镀光阻覆盖曝光显影电镀金 光阻剥离光阻覆盖曝光显影 电镀镍 光阻剥离ti/w 蚀刻 检查产品 2.1.2 拟采取的废气污染治理措施 星科金朋集成电路(上海)有限公司的环境保护措施，废气中有机废气利用台 积电沸石转轮浓缩、燃烧的方法进行处理后经 32m 排气筒外排；酸性废气利用台

9、 积电碱性喷淋洗涤塔处理后经 32m 排气筒外排。 2.1.3 对环境空气的影响预测 (1) 预测因子：本项目特征污染物 nmhc、voc、氰化物和镍。 (2) 预测内容: 风速为 2.5m/s、1.5m/s 以及静风时，b、d、e 稳定度下单个污 染源各污染物最大落地浓度及落地距离；东南风，风速为 2.5 m/s、1.5m/s 以及静 风时，b、d、e 稳定度下各污染物一次浓度分布；熏烟条件下，各污染物一次浓度 分布；各环境敏感点的浓度增量。 (3)预测结果： 建设项目各排放源可能造成的污染物最大一次浓度贡献值比较小。氰化 氢、镍、nmhc、voc 的最大落地浓度分别为 5.7210-6mg

10、/m3、3.7610- 7mg/m3、5.8710-5 mg/m3、5.8710-5mg/m3，hcn、ni 最大落地浓度分别 占前苏联标准的 0.02%和 0.01%，nmhc 最大落地浓度占大气污染物 综合排放标准gb16297-1996 新污染源二级无组织排放监控浓度限值 的 0.001%，voc 最大落地浓度为室内环境空气质量标准gb18883- 2002 中“8 小时均值限值的 0.01%。 氰化物、镍一次浓度贡献值远远低于前苏联标准的一次值和日均浓度要 求。 熏烟条件下氰化物最大落地浓度为 8.9310-7mg/m3，仅占前苏联标准的 0.003%，镍最大落地浓度为 5.8610-

11、7mg/m3，仅占前苏联标准的 0.02%。 由预测结果可见，本项目的投产运行，不会改变各环境敏感点的大气质 量等级。 2.2 废水废水 2.2.1 地表水环境质量现状 根据上海市水环境功能区划要求，长兴港面丈港桥断面属于黄浦江上游水 源保护区，执行国家地表水环境质量标准(gb3838-2002)的 ii 类标准；而油墩港 老油墩港断面执行 iv 类标准。对项目区域长兴港面丈港桥断面和油墩港老油墩 港断面进行了水环境质量现状监测结果表明，长兴港面丈港桥水质参数超过了 规定的水质标准，已经不能满足相应功能使用要求；油墩港水质参数符合规定的 水质标准，可以满足相应功能使用要求。 2.2.2 废水拟

12、采取的治理措施 废水中含镍废水拟采用聚乙烯亚胺基乙酸阳离子环氧树脂离子交换树脂吸 附回收镍，然后调节ph后与其他废水一起再排向松江西部污水处理厂作进一步 的处理。含氰废水拟先采用环氧树脂回收废水中的贵金属金，接着用阳离子环氧 树脂吸附氰，然后返回到水洗槽继续作循环清洗水。其他清洗废水因污染物浓度 极低，与其他废水一起直接排向松江西部污水处理厂作进一步的处理。 2.2.3 对当地地表水的影响 本项目的废水经处理达标后最终全部纳入松江西部污水处理厂，对当地地 表水不产生污染影响 2.3 噪声噪声 2.3.1 环境噪声现状 按照城市区域环境噪声标准适用区划，当地环境噪声执行城市区域环境 噪声标准(g

13、b3096-93)iii 类标准。 根据台积电厂界验收监测资料，台积电所在区域基本符合 3 类功能区要求， 只是在北厂界夜间出现超标现象，超标 1.7db(a)。 2.3.2 噪声拟采取的控制措施 本项目借助台积电的厂房，车间为房中房。工艺设备全部安装在室内，噪声 源低于 65laeq(db)，公辅设施全部依托台积电，不会对厂界产生污染影响。 2.3.3 对厂界噪声的影响 本项目为厂中厂，本身噪声值不高，经车间建筑隔声，噪声值更低。经预测， 本项目新增噪声源对东厂界和北厂界基本不产生影响，因此，本项目投产后，各 厂界昼间噪声仍符合工业企业厂界噪声标准iii 类标准要求；夜间噪声由于北 厂界现状

14、噪声超标，造成本项目投产后北厂界夜间仍超标，北厂界北面为工业区 预留工业用地，1000m 范围内已无敏感目标，因此基本不会对周边环境造成污染 影响。 2.4 固体废物固体废物 对于各类固体废物，本着资源化、无害化、减量化的理念进行处置。对于危 险废物，分类收集后委托给经上海市环保局审核确定有危险废物处理资质的上 海洁申实业有限公司、苏州顺惠公司和苏州贵金属回收有限公司集中处置。生活 垃圾由松江工业区环卫部门清运，可回收的 ti/w 靶材、au 靶材等交光洋化学 材料回收。 3 预防或者减轻不良环境影响的对策和措施预防或者减轻不良环境影响的对策和措施 3.1 环环境空气境空气污污染防治染防治对对

15、策建策建议议 项目产生有机废气、及酸性废气，工程设计上采取相应的沸石浓缩转轮吸附 +燃烧和湿式酸碱洗涤的处理净化技术，有关废气污染物的排放浓度远低于国家 排放标准，其技术上是可行的，但在工程设计和运行时必须确保湿式酸碱洗涤塔 水流的连续性，均匀性及保证废气与吸收液接触时间气、液接触时间；在有 机气体燃烧装置重要保证有足够的燃烧温度和气体在炉内的充分停留时间，以 确保有机废气能在燃烧炉内充分燃烧变为无害的 co2和水。对于排气中残留的 有机污染物，要根据他们的热分解或燃烧温度，适当地控制燃烧炉温度和气体流 速，以保证排气中各类有机污染物浓度达标。 对废气净化装置处理，应制定管理规程，定期检修，确

16、保净化系统正常运行。 3.2 废废水水污污染治理染治理对对策建策建议议 本项目金电镀废水采用离子交换后循环使用，但后续清洗废水因污染物含 量低而直接排入松江西部污水处理厂。清洗废水中含有少量的重金属 pb 和氰离 子，这两种物质均能使微生物中毒，从而影响污水厂处理效果，因此对这两种物 质都有进水限制浓度。根据工程分析，这股废水的 pb 和氰离子浓度均低于污水 厂进水限值。为保证污水厂正常运行，建议对这部分废水进行监测，以保证这两 种污染物浓度不超过进水限值。 为确保污染防治设施正常运行，建议设置中央监控控制和传感器系统，整个 废水处理系统的自动控制均应由 plc 程序控制，ph 及流量自动控制

17、，以严格控 制处理后的废水排放要求，避免人工操作可能产生的人为污染事故。 为避免废水处理站的机电设备在运行中发生故障，导致水污染事故的发生， 废水处理站中的有关机电设备拟采用一用一备方式。工程设计时应考虑回流处 理缓冲能力。 废水处理应急措施设计时，应合理确定工艺参数，在主要水工建筑物的容积 上留有缓冲池并配备优质处理设备。 3.3 固体固体废废物、物、废废液液污污染染对对策建策建议议 推行清洁生产，实施废物减量化是当今国际上工业污染预防和企业推行环 境保护工作的趋势，符合我国环境保护的现行政策和总体战略目标，是实行源头 削减和全过程控制的主要措施和基本发展方向。本项目排放的固体废物、废液有

18、17 种，每年产生 84.86t，其中危险废物占了大部分，种类多且量大，一定要加强 管理，并制定减量化计划。 4 环境影响评价环境影响评价结论结论 4.1 与国家与国家产业产业政策的一致性政策的一致性 星科金朋集成电路(上海)有限公司的主产品为 8 英寸芯片 0.35 微米集 成电路制作金凸块，属于国家发改委 2004 年 11 月 30 日公布的第 24 号令外商 投资产业指导目录确定的鼓励类“集成电路设计与线宽 0.35 微米及以下大规模 集成电路生产”和 2005 年 12 月 2 日公布的第 40 号令2005 年版产业结构调整 指导目录中确定的鼓励类“线宽 1.2 微米以下大规模集成

19、电路设计、制造”，因此 本项目与国家相关产业政策是相符的。同时也符合上海市 2003 年修订的上海 工业产业导向及布局指南中鼓励类：“一、电子信息产品制造业”中的“线宽 0.35 微米以下超大规模集成电路”。因此，本项目建设符合国家技术进步和工业发展 产业政策要求。 同时，为 8 英寸芯片 0.35 微米集成电路制作金凸块的工艺之一氰化金 钾电镀，为含氰电镀工艺，属于2005 年版产业结构调整指导目录中确定的淘汰 类“一、落后生产工艺装备”中“含氰电镀工艺（电镀金、银、铜基合金及予镀铜打 底工艺，暂缓淘汰）”。 要求星科金朋集成电路(上海)有限公司承诺仅过渡性采用氰化金钾镀金工 艺，一旦有成熟

20、的无氰电镀工艺出现，星科金朋集成电路(上海)有限公司将立即 无条件地更换采用无氰工艺。 4.2 规划相容性规划相容性 根据上海市城市总体规划，上海共设有 17 个市级以上开发区，其中松江 试点园区是其中之一。规划要求松江试点园区西部园区为微电子产业基地，与张 江、金桥、外高桥组成的浦东微电子产业带和漕河泾新兴技术开发区组成核心的 上海微电子产业产业基地，形成软件设计开发和集成电路生产、封装、测试等完 整的产业链，建成全国规模最大、技术领先、世界水平的集成电路生产和研发基 地。 星科金朋集成电路(上海)有限公司属于微电子产业，公司选址符合上海市工 业向园区集中的产业布局规划要求，公司的产业类型与

21、松江试点园区产业功能 划分是相吻合的。 4.3 清清洁洁生生产产水平水平 本项目的产品为经电镀形成金凸块后的芯片，该芯片 95%应用于液晶显 示器驱动 ic 封装，5%用于智能卡与大众卡产品。随着京东方、上广电、龙腾、天 马等 tft-lcd 面板厂的建立和在建，对于 lcd 控制和驱动 ic 的需求数量激增， 电镀金凸块后的芯片，是驱动 ic 的核心元件，属于国家鼓励类的产品。 本项目的生产工艺和设备是依据星科金朋母公司工厂的工艺和设备，由 台湾等地引进。采用与星科金朋母公司工厂(简称 a 厂)的能源指标、废气污染物 排放指标和废水污染物排放指标进行比较。本项目单位芯片上制金凸块产品电 用量

22、小于 a 厂，纯水用量略大于 a 厂。综合能耗百片芯片金凸块产品比 a 厂略 小，是 a 厂的 94.78%。单位产品废水量本项目大于 a 厂 11%。单位产品废气排 放量与 a 厂相同。单位产品固体废物产生量少于 a 工厂的产生量。 通过对本项目的原材料、产品、资源和污染物产生指标的综合评价，本 项目建设清洁生产程度能达到清洁生产水平。 4.4 达标排放达标排放 本项目排放的废气、废水污染物采取的各种处理处置措施均为成熟的、可行 的，且预计的污染物排放浓度和总量远低于排放标准，经分析，全部能做到污染 物达标排放。 4.5 污污染物染物总总量控制量控制 本项目建成后，星科金朋集成电路(上海)有

23、限公司将有下列污染物排放，可 作为环保部门核定排污许可量时的参考。见表 4-1。 表表 4-1 星科金朋集成星科金朋集成电电路路(上海上海)有限公司有限公司污污染物排放量染物排放量汇总汇总(t/a) 项目污染物全公司排放量项目污染物全公司排放量 废水量10325废金电镀液0.2 codcr0.788废镍电镀液22 bod50.396废金蚀刻液22.8 ss0.788废光阻剥离液29 nh3-n0.066废光阻液4 氰化物0.06kg汞灯汞灯9 支 pb1.176gti/w 靶材0.24 ni0.001au 靶材0.08 废水 b0.172tiw 蝕刻槽滤心0.18 排气量6912 万 m3/a

24、显影机滤心0.03 氰化氢2.64 kg/a金蚀刻机滤心0.18 镍0.18 kg/a金电镀机滤心0.03 nmhc24.3 kg/a光阻剥离机滤心0.006 工艺 废气 voc24.3 kg/a 固体 废物 含金环氧树脂0.27 含氰环氧树脂0.27 含镍环氧树脂0.18 生活垃圾、厨余5.4 星科金朋集成电路(上海)有限公司为新建项目，没有总量控制指标。污染物 排放总量额度将在“三同时”验收后向市环保局进行申报。 4.6 环境风险环境风险 根据建设项目环境风险评价技术导则（hj/t179-2004）判定，本项目地处水 源保护区，环境风险评价等级为一级，主要风险源为氰化金钾等的泄漏。 在厂内

25、或正常生产发生泄漏，因危险化学品库、储槽外和电镀机外均建有围 堰，不会对黄浦江水源保护区造成影响。 如果在化学品即将运入厂区时在运输过程中运输车辆发生车祸，则泄漏入 河的化学品会对地表水产生污染影响。台积电旁的河流为长兴港，与油墩港相通， 长兴港河宽 20m，深 2m；油墩港，宽 100m，深 4-5m；若化学品落入长兴港，再经 油墩港外排(完全稀释)，则化学品达到地表水 ii 类标准时将污染油墩港水面长度 氰化金钾为 160m，显影液为 80-100m，碘化钾为 30-40m。 4.7 公众意见公众意见 按照环境影响评价公众参与暂行办法环发200628 号要求进行公众 参与，首先在上海热线上

26、进行公示，网络公示的页面地址为： http:/ 建设时，周围的居民均动迁出了工业区外，因此，在作了相关的公示之后，也采 取在网络上进行公开调查。网络调查的页面地址为 http:/ 2006 年 8 月 3 日2006 年 9 月 17 日，总访问人数达 4170 人，有效调查问卷 92 分。报告书初稿完成后， 编制报告书简写本在上海市环科院网站进行 10 天公示。 经调查显示，项目知晓率为 75%，支持率为 73.91，反对率为 17.39。 反对的原因主要是认为国内芯片企业面临调整和竞争，行业遭遇周期低谷，市场 前景不如以前乐观，因此应有所控制。把芯片金凸块生产和纯芯片生产等同起来。 其次是

27、项目选址位于水源保护区，工艺过程中存在有电镀，因此不符合上海市水 源保护法律法规的要求。 许多公众提出了很好的建议和一些要求，希望本项目建设方能够积极采 纳这些建议和要求，在项目建设时予以实施。 a. 加强废气和废水的治理工作，做到安全达标排放，万无一失；同时电镀废 水必须做到零排放。 b. 加强安全管理，特别是生产工艺中的危险化学品和剧毒药品的管理，杜绝 安全事故发生。同时加强新进员工的安全培训。 c. 在条件许可的情况下，尽量多招聘本地员工。 4.8 总结论总结论 本项目在上海市市级工业区建设，从美国、台湾引进设备，产品为在 8 英寸 芯片上的集成电路上制作金凸块，废气全部经过处理达标排放

28、，预测显示，排放 的废气污染物对环境不构成污染影响，也不改变当地环境质量等级；含氰废水、 含镍废水不仅处理达标，而且微量，纳管排放，不排入当地地表水；房中房内的设 备噪声经建筑隔声后不影响厂界噪声功能区要求；固体废物全部作资源化、无害 化和减量化处置；本项目具有节能、降耗、污染负荷低的清洁生产特征，符合国家 技术进步和产业发展政策要求的建设工程。因此，本项目从环境上分析是可行的。 5 公众查阅环境影响报告书简本的方式和期限，以及公众认为必要 时向建设单位或者其委托的环境影响评价机构索取补充信息的方式 和期限 在上海市环科院网站上挂本项目环境影响报告书的简写本。 公众查阅环境影响报告书简本的时间

29、为 10 月 13 日至 10 月 23 日。 公众认为有必要可向上海市环境科学研究院索取补充信息，其方式可通过电 话传真和 e-mail，截止时间：10 月 23 日。 6 征求公众意见的范围和主要事项 主要征求公众对于星科金朋集成电路(上海)有限公司项目环境影响报告书 简写本中、建设项目概况；、建设项目对环境可能造成的影响；、预防或 减轻不良环境影响的对策和措施；、环境影响报告书提出的环境影响评价结论 等四方面的意见或看法，对本项目环境影响评价工作的建议；对本次报告书简写 本公示形式的建议。 7 征求公众意见的具体形式； 在公众看到本项目环境影响报告书简写本以后，公众可通过向指定地址发送 电子邮件、电话、传真、写信或者面谈等方式发表关于该报告书简写本及环评工 作结论的意见看法。 上海市环境科学研究院：证书等级：甲；证书编号：国环评证甲字第 1801 号 地址：上海市钦州路 508 号；邮编：200233；传真：54485031 联系人：王彪，电话：(021)640851192615