真空镀膜机安全管理规定（正式版）

1、 专业技术文件 / Technical documentation 编号： 真空镀膜机安全管理规定Through the process agreement to achieve a unified action policy for different people, so as to coordinate action, reduce blindness, and make the work orderly.编制：_日期：_真空镀膜机安全管理规定温馨提示：该文件为本公司员工进行生产和各项管理工作共同的技术依据，通过对具体的工作环节进行规范、约束，以确保生产、管理活动的正常、有序、优质进行。

2、本文档可根据实际情况进行修改和使用。 真空镀膜设备是电阻加热式蒸发真空镀膜设备。操作人员必须详细阅读该机说明书, 了解设备结构、工作原理、操作程序并由专业人员指导培训, 熟练掌握各操作要领。经有关专业人员确认符合操作规范, 方能独立上岗操作。一、该机开机前应先检查电控柜的接线是否有松脱现象, 接上电源, 并检查真空室内电极绝缘性, 钨丝接触是否可靠, 工件架转动是否自如。联轴器, 输入电极接触是否良好, 各密封处特别是动密封处是否良好。还需检查扩散泵、旋片泵、罗茨泵、滑阀泵等的油量是否满足要求。提供的电源、气源, 各种机械泵转向都应正确。注意：试验罗茨泵转向一定要在真空状态下进行。经过上述检查

3、, 各项性能良好, 才能进行抽气试机。如果镀膜室长期暴露大气, 还必须进行炼气, 就是按照操作规程, 不进行镀膜, 只让机械泵、扩散泵等连续抽气, 察看真空度上升的稳定情况, 若真空度保持稳定, 才能进行下一步操作。一般炼气时间要达10小时以上。调试时主要检查：1.真空检漏 2.检查极限压强 3.抽气时间二、满足以上各项检查后, 进入操作和使用：1.在非特殊情况下, 请勿以断拉闸(断电)方式停机。2. 本设备通电及运行过程中, 请勿触摸电气控制柜内部和外部用电器件, 注意安全。3. 确认安全无误时才能操作设备。4. 不要将设备交给非本设备操作人员操作。5. 设备及电源控制柜必须良好接地。6.

4、非专业人员请不要维修本设备。三、工作中还必须注意以下几点：1.平时, 整个系统要保持真空状态, 工作前才充入气体, 不要使真空室长期暴露在大气中;2.真空室镀膜200-250次后, 要清洗真空室和工作支撑架;3.经常检查胶封是否良好, 特别是动密封圈, 定期给动密封圈加上真空脂;4.定期检查电气元件, 清除灰尘, 更换烧坏的电器元件;5.在真空状态下不得拆卸扩散泵和阀门;6.罗茨泵、粗抽泵、维持泵要定期加油, 换油(保持油面在油镜中心为佳);7.充气阀门充气动作失灵时, 必须进行检修;8.镀膜完毕时先关闭真空测量计, 再关闭精抽、前置阀, 待精抽阀、前置阀完全关闭后才能充入大气, 否则会烧坏电离规管, 氧化扩散泵油及发生不必要的以外;9.镀膜机在工作过程中, 不得断水, 若在工作过程中突然停电, 应马上关闭精抽阀门, 减少因系统漏气泵油