电子厂静电防护管理程序

1、.1.0 目的1.1 建立一个良好的ESD控制工作环境，减少或消除ESD对电性产品的破坏。1.2 提高产品在客户端的信赖性，维护公司在客户端的信誉，保证产品的品质。 1.3 维护公司员工的身体健康。2.0 范围适用于XXX事业部，保护ESD敏感性电子元件及产品之全过程，具体包括材料或产品之来料检查、制造、测试、组装、包装、检查、运输及存储等。3.0 权责3.1 工程部：负责公司ESD控制之技术标准的建立，并针对重大ESD事件进行追踪，同时提出改善措施,负责员工的ESD培训。3.2 质量部：负责对ESD控制之执行品质进行督导及稽核。3.3 计划部：负责在仓储期间及发料过程对ESD敏感性元器件进行

2、重点防护以及防静电辅材（7.4.2.5中规定)的来料检查与管控。3.4 生产部：负责ESD控制标准的执行及日常点检与测量。3.5 企管部：负责安排ESD人员培训和认证考核，及相关资料归档。4.0 参考文件4.1 ANSI/ESD S20.20-20074.2 IEC 613404.3 ANSI/EIA-6255.0 定义及相关术语5.1 ESD（Electrostatic Discharge）：静电放电由于电子不均匀分布使电荷在不同电位物体间相互转移的现象。5.2 EOS（Electrical Over Stress）:电压过应力 即当外加电压超过零件所能承受的电压范围时，造成零件的崩溃。5.

3、3 导电材料：材料表面电阻率低于1.0x105/SQ或体电阻系数低于1.0x105/CM的材料。5.4 绝缘材料：材质表面阻值至少是1.0x1012/SQ或电阻系数至少是1.0x1012/CM的材料。5.5 静电耗散材料：一个材料其表面电阻率大于1.0x106/SQ，小于1.0x109/SQ.（如防静电手套、防静电工作台等）。5.6 抗静电材料：指表面电阻率大于1.0x109/SQ,小于1.0x1011/SQ的材质。5.7 CPG（Common Ground Point）共同接地点5.8 EPA（ESD Protected Area）静电防护区域5.9 ESD接地：静电充电物（人）经由汇流排、

4、金属支板或系统传导至地面。5.10 设备接地：从电子设备到硬接地电极之低阻抗路径。6.0 流程图静电防护管理程序流程图7.0 内容7.1 长城电脑电源事业部ESD组织结构7.1.1 主要职责7.1.1.1 解决本公司重要的ESD事件，对ESD执行进行技术性指导。7.1.1.2 每月对本公司ESD控制环境进行考核评估。7.1.1.3 按国际标准和客户要求，保证ESD防护设施的导入。7.1.1.4 定期对本公司员工进行ESD教育训练和考核，加强员工的ESD意识。7.1.2 组织结构7.1.2.1 ESD管控区域分布7.1.2.2 ESD team 组织图7.2 ESD教育培训 7.2.1 所有从事

5、处理或接触静电敏感器件的工作人员，都必须接收ESD培训，并经检定考试合格者方可从事该项工作。7.2.2 认证共分为A,B,C三级A级-公司培训讲师，稽核员及各工作区主管级以上干部皆属之。B级-工作区之工程师，技术员，领班，线组长，QC人员需具备之。C级-一般作业人员及新进人员。 7.2.3 培训计划的安排及每次个人培训档案的收集，汇总将由企管部做统一统筹。7.2.4 重新培训认证：凡经认定为认证资格已失效者（违反ESD规定二次以上者）及所有人员每年都必须接收一次重新培训及认证（公司内部讲师每年不需要重新受训一次）7.3 ESD、设备接地之要求 7.3.1 静电ESD接地采用2mm*4cm的扁铁

6、埋入地表面以下0.8m深度，接地极与接地线必须用高温熔接保证电性连接良好，且用50mm2的电线接出引至厂房各控制区域，再用6mm2的电线连接至各线体；设备接地线由三相五线制的保护地线引出，连接至各区域线体作为设备接地使用，起到双重接地保护作用。7.3.2 为确保人员的安全性，车间设备地线必须为独立，不可与ESD地线共用。工程部ME组技术员须每半年对厂区设备地进行全规模检测，用一根6m2电缆线一端牢固接在厂房配电箱主设备地，一端接在万用表一端，万用表另一端接在各线体设备地末端进行检测，此时用万用表“”档位进行测量，测量阻值应4；ESD接地需ME技术员每半年检查一次，用一根6m2电缆线一端牢固接在

7、静电接地主线，一端接在万用表一端，万用表的另一端接在各线体ESD接地末端检测点进行检测，此时用万用表“”档位进行测量，测量阻值应10。检测结果记录于接地线点检记录表中。7.3.3生产线的ESD、设备接地末端接地电阻均需小于10，此设备接地与ESD接地状况的检测由使用部门各负责人每月自行测量一次，并分别记录于ESD接地检测记录和设备接地检测记录中。7.3.4 为避免ESD/EOS的发生，所有设备（AI/RI/SMD，加工成型机、测试设备、锡炉、烙铁电动起子等）请一律使用美式或欧式三芯电源插头，确保设备工具良好接地，同时，为了确保设备的接地可靠性与避免EOS的发生，所有的带电仪器设备与电动治工具都

8、需连接设备接地线。7.3.5 所有测试治具（ICT、INT与保护站）需采用抗静电材料如电木制成，外加工治具一律用防静电或抗静电材料制成，且机台需做好接地处理。7.3.6 ESD接地主线尾端需贴ESD共同接地测试点标签见标识图C。7.4 ESD防护区域及ESD防护工作站要求7.4.1 ESD防护区域的要求：7.4.1.1 凡是有对半导体材料进行存放、加工、组装、包装与检验的区域均为ESD防护区域，包括：IQC、IC仓、AI、HI、T/H段、组装段与维修站等。7.4.1.2 ESD防护区域内如有铺设导电地板，其接地阻抗需保持在2.5x104/SQ至1.0x106/SQ之间；且需每月对其进行清洁及检

9、测，并落实填写记录于导电地板检测记录表上。7.4.1.3 所有人员（包括间接人员、来宾）进入铺设导电地板之ESD防护区时，必须穿静电鞋，且经检测合格后，方可进入。7.4.1.4 所有人员（包括间接人员、来宾）进入ESD防护区时应依静电环点检说明书自觉点检，并落实填写点检记录表。7.4.1.5 为避免检测仪器不良引起人员误测，故各部门负责人应每日对仪器进行检查，使其处于设备良好状态。（如接法是否良好，电量是否足够）7.4.1.6 所有人员进入生产线之ESD管制区域时头发过肩的人员必须将其放入静电帽内，头发过腰的人员可将头发盘起或放入静电衣内，否则严禁进入生产区。7.4.1.7 所有需穿静电衣的人

10、员（包括间接人员、厂商及参观者）在穿静电衣时其袖子严禁挽起，静电衣之扣子或拉链必须系好，且所穿的便装之衣领/衣帽严禁外露。7.4.1.8 静电衣清洗时需使用小于30的中性水配合中性洗洁剂轻揉后晾干即可；其标准阻抗值为106109之间；需每月抽检一次并记录于静电衣检测记录上。7.4.2 ESD防护工作站要求：7.4.2.1 ESD防护工作站指ESD防护区域内所有具有防静电功效之工作站。7.4.2.2 ESD安全工作站之静电环、静电桌垫接地方式必须并联，绝不能串联于ESD主线上。且必须接到ESD接地线上，不可夹在设备接地线或各种被误认为已接地设备上。7.4.2.3 静电桌垫需经串联1M电阻的接地扣

11、接至ESD地，而非设备地；且接地采用之鳄鱼夹与香蕉插头不能混合使用。 7.4.2.4 防静电桌垫需每月进行点检一次，贴点检标签如标识图D，并将检测结果记录于防静电桌垫点检记录中；标签应横向贴在工作台靠近静电接地扣处。7.4.2.5 公司所有新购之防静电辅材（防/抗静电袋、静电手腕带、静电手套、静电衣/鞋/帽、导电桌垫、静电车、静电盒/箱/框、PCB挂篮、静电泡棉、静电毛刷、导电镊子、防静电溶剂瓶等）进厂或铺设时，必须经由仓库ESD人员对来料进行抽检（抽检比例：样品数N100时，抽检20%；100N500时，抽检10%；N500时,抽检5%）,待检验合格后，方可导入使用，检测报告记录于防静电材料

12、来料检测记录表中，且所有防静电材料在使用前由各使用部门负责全检。7.4.2.6 静电安全工作站30cm以内的所有物体、材料表面及人体所带静电量（即放电模式）应小于100V。7.4.2.7 对于生产线上具有静电发生源之工位（如：撕贴胶纸、HI处物料之绝缘包装盒）等，应增设离子风扇有效中和静电。7.4.2.8 针对已组装好外壳的成品所进行的操作，原则上操作人员不需要佩戴静电环；但针对个别使用高静电物料的工位（如包装塑料袋等），需要用离子风机对吹，以消除静电。离子风机每班巡检一次，结果记录于离子风扇巡检记录表中；领班应每周对离子风机平衡电压进行检测，平衡电压应小于100V，检测结果记录于离子风机平衡

13、电压测试记录表中，同时，为保证离子风扇使用之可靠性应每两个月进行一次校准，校准结果记录于离子风扇校准记录表中。7.4.2.9 工作站使用之测试治具、电动工具需每班在上班前对其进行设备接地电阻及EOS对地电压检测，结果分别记录于EOS检测记录表及机器设备/电动治工具接地检测记录表中。7.5 工作现场ESD之要求7.5.1 静电环佩戴须知7.5.1.1 作业员在作业时必须依MOI要求佩戴静电环、静电手套或静电手指套，且静电环腕带之金属片必须与手腕皮肤紧密接触，不可松脱或套于衣袖上。7.5.1.2 为确保1M电阻之有效性，严禁用力拉扯静电环的导线。 7.5.1.3 所有人员（含间接人员、流动员）接触

14、ESD敏感性零组件时均须佩戴静电环，且静电环须处于接地良好状态。7.5.2 所有人员每日上班前应主动检测静电环/鞋接地状况，每日点检两次，加班需另进行点检一次，点检完毕后如实记录点检结果于静电环点检记录和静电鞋点检记录上，且由各区域线长或区域ESD负责人签字确认；如点检失败，应及时找线长更换新的静电环，并重新点检合格方可上线作业。7.5.3 使用静电环自动测试仪的工位，采用自主点检和线长检查的方式，自主点检方法为：不戴静电环，打开电源开关，此时测试仪上红灯亮，蜂鸣器叫；佩戴静电环后，只有绿灯亮。以上测试结果符合，表示静电环自动测试仪处于良好的实时监控状态，人员可靠接地。每日三次（上午、下午、晚

15、上）需要点检，员工在自主点检的同时，线长进行确认，并填写静电环点检记录。7.5.4 未使用静电环自动测试仪的工位，由线长使用静电环测试仪器逐工位进行点检，点检方法为：先将静电环测试仪器的接地线接地，让员工用手触摸静电环测试仪器的金属面盖，如绿色灯持续亮，表示人员可靠接地；其它灯亮表示接地不良。线长对点检结果作记录并填写静电环点检记录。7.5.5 对于操作静电敏感性零组件之工位除以上点检外还应：7.5.5.1 所有ESD敏感零组件，应使用防静电盒/框或防静电容器盛装。7.5.5.2 取放ESD敏感零件时，请使用防静电手套/镊子进行操作；对PCB清洁时必须使用防静电刷方可；装PCB清洗溶剂所使用的

16、容器必须为防静电容器；以上使用之治工具需每月对其ESD功能进行检测并记录于ESD治工具点检记录。7.5.5.3 防静电盒/防静电桌垫等各种ESD材料上必须有ESD点检标签存在。 7.5.5.4 工作台上严禁张贴胶带或防止普通塑料盒、塑料袋等绝缘材料；生产线使用的绝缘废弃物应及时清扫处理。7.6 ESD敏感性材料之来料检验、包装、储存、运输搬运过程中ESD控制要求7.6.1 所有ESD敏感材料或产品在静电防护区域外应完好封装于静电屏蔽IC管或静电屏蔽袋内，不可打开包装；不能使用易产生静电和放电的物质进行包装和储存。 7.6.2 ESD敏感器件来料检验之ESD控制要求：7.6.2.1 检验静电敏感

17、器件的人员必须佩戴静电环，并由组长用静电环测试仪器测试，每日三次（上午、下午、晚上加班），并填写静电环点检记录。7.6.2.2 检验治工具和设备(电烙铁、电批等)必须接地，并用万用表测试其接地电阻及EOS电压，每日三次（上午、下午、晚上加班），接地电阻要小于10，EOS电压要小于0.3V, 并填写EOS检测记录表与机器设备/电动治工具接地检测记录表。7.6.2.3 检验静电敏感器件如有接触IC、晶体管及PCB板时要戴防静电手套，防止手汗中的有机物氧化元器件、PCB板等。7.6.3 ESD敏感性材料之包装过程中ESD控制要求：7.6.3.1 ESD敏感元件的包装材料应为抗静电或静电消散材质，包装

18、好的ESD敏感材料其静电盒（袋）应处于密封状态，同时包装上应有静电敏感性标识。7.6.3.2 拆装过后的散装ESD敏感材料需放于密闭的静电料袋（IC管）内，不能放于普通塑料容器或保丽龙容器中。7.6.3.3 ESD敏感材料在进行包装时，应排列整齐，不能堆积摆放，不允许有产生静电的材料（泡沫、尼龙、带状物等）在包装袋中。7.6.4 本厂常见的防静电包装容器及其要求：7.6.4.1 抗静电（抗强化液处理）IC管、IC料盘、料盒、零件袋及静电箱（通常为黑色、银灰色） 7.6.4.2 静电屏蔽袋的表面电阻率在1061011/Square之间。7.6.4.3 静电消散搬运箱表面电阻率需在106109/S

19、quare之间。7.6.4.4 导电料盒/隔板表面阻抗需在106109/Square之间则有效。 7.6.4.5 导电容器需有静电防护标签做有效管控，且需每三个月进行全检一次，并填写导电容器检测记录。7.6.5 ESD敏感性材料储存过程中的ESD控制要求：7.6.5.1 存放静电敏感性材料的仓库，需用温湿度计进行监控，检查温度应在5-28度，湿度应在40%-75%，每两小时记录一次(8:20-22:20）,并填写库房温湿度记录表。7.6.5.2 公司ESD产品进行存放，应使用石墨型褐色导电盒/箱/隔板；其有厂商提供之品质证明，具有永久性防静电之功能。 7.6.5.3 存放ESD敏感材料所使用之

20、固定或移动的物料架须具备良好接地（如：使用接地链或导电轮）7.6.5.4 对与晶体管、IC等具有ESD敏感之电子零件均需作好ESD防护动作（如摆放时的物料架铺设防静电桌垫）。7.6.6 ESD敏感性材料运输搬运过程中ESD控制要求：7.6.6.1 静电敏感性材料的运输，必须使用用防静电包装袋或防静电料盒盛装，防静电料盒必须每季度点检一次, 使用表面阻抗测试仪，表面阻抗为106109，点检结果记录在标签上并粘贴在对应的料盒上，并填写导电容器检测记录。7.6.6.2 所有ESD敏感材料或产品必须用防静电（导电）车来运送。7.6.6.3 导电车接地阻抗正常在106109/ SQ之间，需每月检测一次贴

21、上点检标签并记录于到电车检测记录表或须有厂商提供材质的有效性证明，以作时间管制。 7.6.6.4 推车上之产品尽可能不要重叠放置，如需重叠放置时，层与层之间须使用静电隔板隔开。7.6.6.5 推车进入非ESD区域进行产品零件的运输时，需使用静电防护罩（袋）做屏蔽。7.6.7 在使用普通纸箱包装、储存、运输搬运ESD敏感性材料时，箱内需设置防静电防护（如铺设抗静电袋、静电泡棉及静电隔板）。 7.6.8 所有人员在发料、点料、配料、包装及取放ESD敏感性材料时均须佩戴静电环并确保良好接地；在使用修理料时ESD敏感性材料应放于抗静电料盒内。7.7 标识7.7.1 静电警示标签说明：7.7.1.1 图

22、A为静电敏感标识（ESD Susceptibility Symbol）,主要用于ESD敏感元件之外包装及ESD敏感区。7.7.1.2 图B为静电防护标识（ESD Protective Symbol），用于静电安全区域或ESD安全工作站。7.7.1.3 图C为ESD共同接地测试点（ESD Common Ground Point Symbol），用于ESD接地线末端。7.7.1.4 图D为ESD点检标签，使用作为各种ESD材料检测标识；标签日期的填写格式需均为：XX年XX月XX日，标签统一为浅蓝色底纸制作，并贴于ESD材料之显眼处。7.7.1.5 图E为静电敏感区标识（ESD Susceptibl

23、e Area Symbol）,主要用于全厂各ESD敏感区域。7.7.2 ESD注意标识应明确标识于ESD防护区及工作站告知所有进入人员；一般视力下标识应在1米内可读见。7.7.3 在ESD敏感性零组件作业工位上，其防静电零件盒和防静电盒/板、晶体元件之料盒及MOI上都应由静电敏感性标识。7.8 各种元器件的静电敏感度（以人体模型HBM为例）7.9 稽核7.9.1 每月内部稽核7.9.1.1 稽核小组分别由AI、生产部、工程维修、售后、IC仓库、质量部&IQC与DQA各派一员组成，且ESD稽核人员须经培训考核并有ESD稽核经验。7.9.1.2 稽核时依据稽核计划进行，稽核项目依ESD内部稽核查检表为参考依据。7.9.1.3 对稽核不符合项目由ESD Team发出稽核不符合项目报告，请各责任部门及时提出整改措施，最后由部门ESD负责人报告，存档保存。7.9.2 对ESD稽核过程中发现因人为因素违反ESD规定者，将按员工奖惩管理办法对其责任人进行处罚。7.10 ESD规划项目种 类检测周期检测责任人标准范围1静电环每天所有人员万用表测静电环内阻：1.0M10%人体综合测试仪：