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文档简介
1、第二章 薄膜的力学性质 第三讲,1.2 薄膜的附着性质(重要) 理论上需对结合界的了解。 使用上决定了薄膜元器件的稳定性和可靠性。 现无统一的测量薄膜附着性能的准确测量技术. 薄膜的附着性能直接与附着的类型、附着力的性质、工艺、测量方法有关,中间层附着在薄膜与基片之间形成一个化合物而 附着,该化合物多为薄膜材料与基片材料之间的化 合物,2.1.1 附着力的性能(性质) 三种附着力: 范德华力、化学键力、静电力(机械锁合) (氢键,范德华力(键能0.04-0.4eV,氢键(键能0.1eV)离子性的静电吸引不普 遍,仅在电负性很强的原子之间,静电力薄膜和基体两种材料的功函数不同, 接触后发生电子转
2、移界面两边积累正负 电荷 静电吸引,2.1.3 影响附着力的工艺因素 包括材料性质、基片表面状态、基片温度、淀积方式、淀积速率、淀积气氛等,基片材料的性质对附着力影响很大 微晶玻璃上淀积铝膜氧化铝与玻璃中硅氧 化学键附着力强。 铂、镍、钛等金属基片上淀积金膜金属键 附着力强,选基片能与薄膜形成化学键附着力强,基片的表面状态对附着力影响也很大 基片清洗去掉污染层(吸附层使基片表面的化学键饱和,从而薄膜的附着力差) 提高附着性能,提高温度,有利于薄膜和基片之间原子的相互扩散 扩散附着有利于加速化学反应形成中间层 中间层附着,须注意:T薄膜晶粒大热应力其它性能变,淀积方式:溅射强于蒸发,电压(溅射)
3、高 附着好 溅射粒子动能大,轰击表面清洗且使表面活化 附着强 电镀膜的附着性能差(有一定数量的微孔,淀积气氛对薄膜附着力的影响 淀积初期氧和水蒸气分压氧化膜中间层附着,2.2 附着力的测试方法,机械方法数种如下: 条带法(剥离法)、引拉法(直接法)、 划痕法、 推倒法、摩擦法、扭曲法、 离心法、超声法、振动法等,2.2.1 条带法 三种可能: 薄膜随附着带全部从基片上剥离下来; 仅部分剥离下来; 未剥离说明薄膜附着好定性测量,2.2.2 引拉法(定量测量) 用拉力机或离心、超声振动仪给样品加上垂直拉力; 单位面积的附着力fb=Fb/A,2.2.3 划痕法 用尖端圆滑钢针划过薄膜表面,尖端半径约
4、为0.05nm。临界负荷薄膜刻划下来时。 作用薄膜附着力的一种量度。 用光学显微镜观察和分析划痕,必须确定临界负荷。薄膜的临界负荷一般为几-几百克。 单位面积临界剪切力为,单位面积的剥离能,2.2.4 摩擦法 用标准的负荷橡皮(含有金刚砂)擦 用已知高度点矢落下的磨粒(如SiC细砂)擦,2.3 薄膜的内应力 内应力定义:薄膜内部单位截面上所承受的力, 称为内应力。在内部自己产生的应力。 张应力过大薄膜开裂、基片翘曲。 压应力过大薄膜起皱或脱落。 + 在张应力作用下,薄膜自身有其收缩的趋势 过大薄膜开裂。 - 在压应力作用下,薄膜内部有向表面扩散的趋势 过大脱落。 薄膜内应力的来源尚未形成定论,2.3.1 内应力的类别与起源 按起源分:热应力薄膜和基片的热胀系数不同 而引起的。 本征应力-来自于薄膜的结构因素 和缺陷,按应力
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