真空测量仪表的维护

1、真空测量仪表的维护 真空仪表的维护和保管 工作是保证测量结果的准确、可靠以及延长使用寿命的一个重要环节。在应用中，通常应注意如下几点。在使用前应进行检查 外观检查：检查规管电极有否变形、脱焊和污染，管壳玻璃是否有裂纹。仪器的表面有否锈蚀，这奄仪器长期存放时更应注意，仪表的机械零点是否正确等。对于玻璃真空仪表则检查有否破裂、工作液是否氧化以及沾污器壁等。 基本电性能检查：一般可用一只预先封于一定真空度(或未开封)的规管进行检查，检查的步骤基本与真空测量时一样。通过这种检查，大致可明确仪表的电性能是否正常，它对于新真空仪表尤为重要，通过检查还能熟悉和掌握操作技术。 必要时可进行校准，以检查准确度。

2、 对长期存放不用的仪器，必要时应先进行内部检查，然后再检查基本性能或准确度。如带磁钢的，还应检查其磁性有否消失以及其装在规管上的位置有否变动。对于超高真空和极高真空规管的收集极应检查与其他电极之间的漏电是否增大。仪器在使用过程中应注意如下几点 应正确操作，并加以必要的维护，以防止灰尘、油污以及潮气的侵入和超过容许的振动。 应注意仪器的稳定性(如零点漂移、发射电流以及阳极高压等的稳定性)是否变坏以及其他不正常情况的出现，以便及时检修。 经长期使用后，应对规管和仪器部分进行内部检查，以清除可能集积的尘污，必要时可进行基本性能的检查和校准。真空测量仪表的贮存环境 一般温度为+1040；相对湿度133

3、Pa)2热电偶部分被污染1检查被测系统真空度2更换或清洗规管无热偶电流指示而有测量读数分流器中与指示电表串连的电阻断路更换电阻，重新校准电流值加热电流失控(1)加热电流过大，且不能调小(2)加热电流过小，且不能调大或无法调节 1调节晶体管击穿(晶体管式)2调节晶体管与散热器之间的绝缘破坏3加热电流调节电位器一端断路1更换调节晶体管2检修绝缘部分3更换电位器或检修调节电位器电路加热电流不稳定1线路板接插件、规管管座或电缆接头等接触不良2稳压电源失效3交流供电电压低而且波动大 1检修相关部分2检修稳压电源3检查供电电源电压一档量程能正常工作，另档工作不正常或无指示1量程转换开关损坏或接触不良2另一

4、量程的加热电路或热偶测量电路的元件损坏 1更换转换开关2检修相关电路及更换损坏元件 表11电离真空计的故障诊断及检修方法故障现象可能产生的原因维修方法电源开关接通后，指示灯不亮同表9第1项内容规管电源接通后，灯丝不亮1真空度过低。规管灯丝烧断2规管插座、开关、电缆或管座等损坏或接触不良3规管保险丝断或由于真空度远低于被测量程，规管自动过载保护装置已经动作4规管灯丝电路继电器的触头接触不良5规管稳发射电流装置损坏，无电压输出 1更换规管2维修或更换相关部件3更换保险丝，检查和调整离子流测量放大器零位及过载保护灵敏度4维修或更换继电器5检修稳发射电路及其元件规管灯丝很暗，无发射电流1电源变压器短路

5、2晶体管稳流器的检出放大管无集电极辅助电压3检测放大器或基准参考电压部黼4过流保护电路晶体管损坏或元件变值，致使稳流器过流保护装置非正常工作 1检修电源变匪器2检修集电极辅助电源3维修险测放大器和比较基准电路4更换有关元件规管灯丝较暗，发射电流调不到额定值(10-1Pa)5交流供电电压过低(远低于200V) 1检修电源变压器2更换规管3清洗或更换规管4检查被测系统真空度5检查供电电压，采用交流稳压器供电规管灯丝超过正常亮度又无发射电流 无加速极电压检修高压部分有无电压输出并更换有关元件调节发射电流时规管灯丝亮度有变化，但是无发射指示1发射电流指示表动圈断路或卡表2分流器中与指示表串连的电阻断路

6、1更换指示表2更换分流器电阻，并重新校准电流值发射电流指示超过满度，但又无法调节1调整管击穿或其集电极与散热器短路2检出放大器的采样电位器断路3规管加速极与阴极发生短路4分流器断路5阻抗变压器短路1更换调整管及检修散热器绝缘部分2维修检出采样电路，更换有关元件3检修管路电路、更换规管4更换分流器并重新校准电流值5检修或更蒯沮抗变压器发射电流不稳定1电源供电电压过低且波动剧烈2滤波电容器容量衰减3电路板及其接插件、规管管座或连接电缆接头等接触不良 1检查供电电压，采用交流稳压器供电2更换电容器3检修或更换有关部件规管除气时加速极不红除气电源开关或继电器以及电缆接头、规管管座等损坏或按啦不良 检修

7、或更换有关部件离子流测量放大器无法调零，指示表指针超过满度或反偏1差允赫吠电路晶体管损坏或严重不对称2差分放大电路元件损坏1更换晶体管2检查并更换有关元件在“校准”或“满度”档上调不到满度1离子流测量放大器的一直流工作电压过低2差分放大电路晶体管放大解懒3发射电流降低4满度电位器损坏 1检修供电电源2更换晶体管3查找茇射电流降低原因并调至额定值4更换电位器测量时指示表无指示1离子收集极电路断路或对地短路2离子收集殴无负偏压3真空魔E6荀(10-5Pa)4指示表或测量档转换开关损坏1检修有关故障2检修离子收集极电路，恢复额定偏压值（25V)3检查被测真空度4更换指示表或转换开关测量时指示表指针反

8、偏1离子收集极无负偏压，在高量程档上因电子打到收集极上形成负电流2规管中出现高频电子正栅振荡3外界干扰1检修离子收集极负偏压电路2改变电缆长度或在离子收集陂电路中串接56匝线圈加以消除3查找干扰源或对规管收集极加以金属屏蔽零点漂移显著1离子流测量放大器的输入管栅流增大2离子流测量放大器的晶体管工作特性不稳定3收集极接线的绝缘性能变坏4电源供电电压波动剧烈5离子流测量放大器的直流工作电源的纹波系数增大 1检查输入电路或更换输入管2更换有关晶体管3检修并改进绝缘陛能4采用交流稳压器供电5改善直流稳压器的工作性能或加大滤波电容器的容量商量程档的栅流影响加大输入管表面或高输入阻抗零件(量程开关、电缆接

9、头及管座等)受潮或损坏检修或更换有关器件 表12冷阴极电离真空计的故障诊断及检修方法故障现象可能产生的原因维修方法电源开关接通后，指示灯不亮同表9第1项内容接通电源后，无高压或高压很低1高压整流管损坏或衰老2高压变压器绕组断路或局部短路3高压滤波电容器击穿4高压输出限流电阻烧断 1更换整流管2更换高压变压器3更换滤波电容器4更换限流电阻测量指示表无指示1无高压(见前项)2规管的高压电缆断路3指示表断路4真空度过高(10-1Pa)2指示表分流器断路3规管电极短路 1检测被测系统真空度2更换分流器，并重新校准电流值3更换规管测量指示表明显错误 规管损坏更换规管测量指示不稳定l规管高压电极接触不良，

10、产生局部放电2规管损坏3高压稳压电源损坏4交流供电电压过低且波动剧烈5在某压力下出现CM点或放电不稳定 1检修规管高压电极接头2更换规管3维修高压稳压电源4采用交流稳压器供电5检测系统真空度及规管性能表13 BA式超高电离真空计的故障诊断及检修方法故障现象可能产生的原因维修方法电源开关接通后，指示灯不亮同表9第1项内容规管灯丝接通后，灯丝不亮同表11第2项内容规管灯丝很暗，无发射电流同表11第3项内容规管灯丝较暗，发射电流调不到额定值 同表11第4项内容规管灯丝超过正常亮度又无发射电流同表11第5项内容规管灯丝亮度正常但无发射电流指示1发射电流指示表损坏2指示表的转换开关损坏或分流器中串连电阻

11、断路1更换指示表2更换转换开关或分流器电路，并重新校准电流值发射电流指示超过满度，但又无法调节1晶体管式稳流器的整流滤波电容器损坏或其外壳与机壳短路2其余同表11相应项内容1更换电容器或消除短路现象2其余同表12相应项内容发射电流不稳定同表12相应项内容规管灯丝亮度闪烁，发射电流指针随之摇摆1晶体管式稳流器的检出放大级的高频去耦电容变值2基准电压稳压管电路故障3整流滤波电容器外壳漏电 1更换电容器2检修基准稳压电路并更换有关元件3更换电容器规管除气时加速极不够红，除气电源不稳定1电源供电电压过低2倍压整流的除气高压部分故障1检查供电电压，采用交流稳压器供电2检修倍压整流电路及更换有关元件有发射

12、电流指示，但无除气电流指示1转换开关损坏2除气高压电路故障3除气电流分流器中与指示表连接的电阻断路 1更换转换开关2检修除气高压电路及更换有关元件3更换分流器电阻并重新校准电流值离子流测量放大器无法调零，指示表指针超过满度或反偏1离子流测量放大器中有一级或一级以上放大电路失衡或损坏2工作直流电压过低或组损坏3静电计管衰老1检修有关电路及更换元件2检修直流电源及更换有关元件3更换静电汁管及施以防潮处理零位调节太灵敏或不稳定1离子流测量放大器的负反馈电路断路2调零电位器接触不良或损坏1检修负反馈电路2更换电位器在“满度”校准档调不到满度或仍指向零位1满度校准电压的稳压管损坏2量程转换开关部分断路1

13、检修校准电压电路及更换硅稳压管2更换量程转换开关测量时指示表无指示1离子收集极电路断路或对地短路2规管收集极断掉3离子收集极无负压4指示表损坏 1检修相应故障2更换BA式规管3检修离子收集极短路，恢复额定值4更换指示表零点漂移显著同表11相应内容高量程档(10-610-8)的棚流影响加大同表11相应内容 表14冷阴极磁控式极高真空计的故障诊断及检修方法故障现象可能产生的原因维修方法电源开关接通后，指示灯不亮同表9第1项内容高压电源开关接通后，无高压输出1高压稳压硅整流管击穿2高压整流硅堆损坏3高压滤波电容器击穿4高压输出限流电阻烧断5规管的阳极与辅助阴极或阴极短路；或电极接线短路6高压电源输出

14、接头的绝缘破坏7真空度远低于被测量程、离子流测量放大器偏离零位过大或过载保护灵敏度过高，致使规管自动过载保护装置动作1更换硅稳压管，重新校准高压(5000V)2更换高压整流硅堆3更换高压电容器4更换限流电阻5更换规管或消除接线短路6修复或更换高压电源输出接头的绝缘7检查和调整相关部分高压电源开关接通后，输出高压低1交流稳压的硅整流管损坏或变值2高压变压器绕组局部短路3高压倍压整流电路的一半发生故障4高压输出限流电阻局部烧毁 1更换硅整流管2此时变压器将发烫，更换高压变压器3检修倍压整流电路及更换有关元件4更换限流电阻离子流测量放大器无法调零，指示表指针超过满度或反偏1放大器中有一级或一级以上放

15、大电路失衡或损坏2直流工作电压过低或一组损坏3静电计管衰老1检修有关电路及更换元件2检修直流电源及更换有关元件3更换静电计管及施以防潮处理零位调节太灵敏或不稳定同表13中相应内容在“满度”校准档调不到满度或仍指向零位同表13中相应内容零点漂移显著同表11中相应内容高量程档(10 -9l0 -11)的栅流影响加大静电计管表面或高输入阻抗零件(量程转换开关、输入按钮开关、电缆接头等)受潮或被污染 解决有关器件受潮或消除污染测量时电表无指示1规管阴极电路断路或对地短路2规管阴极引线断路3指示表损坏4真空度太高，规管产生不激发1排除有关故障2更换规管3更换指示表4检查真空度并对规管进行激发测量指示不稳定同表1