无尘室相关标准

1、无尘室相关标准,无尘室原理 无尘室衡量标准 无尘室验收标准,Contents,无尘室原理,无尘室概念: 以工业铝材(或不锈钢方通、铁方通喷塑)作为框架,采用风机滤网机组FFU送风,四周用防静电垂帘(或钢化玻璃),内部净化级别可达100100K级,适用局部净化级别要求高的区域。 对微粒控制、温度、湿度、照明、噪声、静电、微振的多功能综合整体。,无尘室原理,依据送风方式的不同： 可分为乱流式(非均匀流型)和单一方向式(均匀流型)。 Class 1100 均采用单向流送风方式，即在同一截面的任一点，气流的方向和速度均保持一致，将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。靠送风气活塞般的挤压作用。新风量不小于总

2、风量的2%4%。 Class 1000 100000采用非单向流送风方式，以不均匀的速度呈不平行流动，伴有回流或涡流，主要靠气流不断稀释室内空气，将室内的污染逐渐排出，以实现净化。靠气流扩散来稀释。新风量不小于总风量的10%30%。 测量单位：微米(micrometer),1um=1m的百万分之一。,无尘室衡量标准,洁净度参照 STD-209E,无尘室衡量标准,Air Change & HEPA 遮蔽率,Air change: FFU的表面积*风速*FFU数量/Clean Room体积,HEPA遮蔽率： FFU的表面积* FFU数量/Clean Room面积,无尘室衡量标准,风速、温湿度 气流

3、速度为：0.30.5m/s(60100ft/min) 。 一般之温度控制范围：T=(212) 一般之湿度控制范围：(455)RH,无尘室衡量标准,压差 在两个无尘室间合理的设计压力差应为10Pa，而在无尘室和未确认洁净等级的区域应保持有15Pa的压力差。当产生这些压力差有实际困难时，维持5Pa的最小压力差是可以接受的。,无尘室验收标准,用Particle Counter (Met One）测空气中之粒子总数及大小(离作业面为30公分)。 依据ISO14644-1可分为三种操作状态：完工状态-无制程设备、原料或工作人员。完工后停止生产状态-室内有制程设备，不含工作人员。运转状态-三者皆在工作状态

4、。,无尘室验收标准,取样次数要求 单一方向气流的测试数量,方法一、气流的流入体积/25 方法二、气流的流入体积/洁净度等级的平方根,选数字小者,非单一方向气流的测试数量,方法：气流的流入体积/洁净度等级的平方根,例如：计算iMac所使用的洁净室的测试数量 (1.6*3+2.3*2.4+2.7*7.01+1.3*2.44+1.66*3.2)*2.2m/ =3次,例如：计算M97所使用的洁净室的测试数量 方法一、(16*1.9*2.1)m/25=3次 方法二、(16*1.9*2.1)m/ =7次,无尘室验收标准,洁净度取样要求 取样需两点以上 测试点要平均分布 各测试点须一个以上的取样数 全体需5

5、个以上的取样数 各测试点的取样数不一样也可以,无尘室验收标准,洁净度判断标准 两个条件需同时满足： 在每个测试点的粒子浓度平均值应在CLASS上限值以下 这些平均值的平均在95%的信赖界限的上限值在CLASS上限值以下,无尘室验收标准,实例说明 在Ring Room空态下，共取3个点，每个点测量0.5um的粒子，测量记录如下： 第一点 8、0 第二点 20、8 第三点 11、23、14 判断依据一、 在各测试点的粒子浓度平均值应在CLASS上限值以下 第一点的平均值 （8+0)/2=4 第二点的平均值 （20+8)/2=14 第三点的平均值 （11+23+14)/3=16 小结：满足,无尘室验

6、收标准,判断依据二、 这些平均值的平均在95%的信赖界限的上限值在CLASS上限值以下 上限值UCL=M+SE*UCL系数 M：平均值的平均 M =(4+14+16)/3=11.3 SE：标准误差 SE=SD/ SD：标准偏差 L：测试点数量 SD= =6.429 SE=6.429/ =3.71,无尘室验收标准,UCL系数： 95%信赖界限的UCL系数 上限值UCL=M+SE*UCL系数 =11.3+3.71*2.9=22.1 总结：满足,无尘室验收标准,其余要求,注：1.PVC窗帘与地面高度为1520cm，且应该在立柱内侧。 2.配电箱是三相电，电压380V。,图片欣赏,FFU,风淋室,1.2米方通,立柱,托框,初效,高效,自己找找看？ 1、盲板？ 2、PVC帘？ 3、垂帘？