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文档简介
1、CP、 FT、 WATCP 是把坏的Die 挑出来,可以减少封装和测试的成本。可以更直接的知道Wafer 的良率。FT 是把坏的chip 挑出来;检验封装的良率。现在对于一般的wafer 工艺,很多公司多把CP给省了;减少成本。CP对整片 Wafer 的每个 Die 来测试而 FT 则对封装好的Chip 来测试。CPPass 才会去封装。然后FT,确保封装后也Pass。WAT 是 Wafer Acceptance Test,对专门的测试图形(test key)的测试,通过电参数来监控各步工艺是否正常和稳定;CP是 wafer level 的 chip probing ,是整个 wafer 工艺
2、,包括 backgrinding 和 backmetal( if need ),对一些基本器件参数的测试, 如 vt(阈值电压),Rdson(导通电阻) ,BVdss(源漏击穿电压) ,Igss(栅源漏电流) , Idss(漏源漏电流)等,一般测试机台的电压和功率不会很高;FT 是 packaged chip level 的 Final Test,主要是对于这个 ( CP passed)IC 或 Device 芯片应用方面的测试,有些甚至是待机测试;Pass FP还不够,还需要做process qual 和 product qualCP 测试对 Memory 来说还有一个非常重要的作用,那就是
3、通过MRA 计算出 chip level的Repair address,通过 Laser Repair 将 CP测试中的 Repairable die 修补回来,这样保证了yield和 reliability 两方面的提升。CP是对 wafer 进行测试,检查 fab 厂制造的工艺水平FT 是对 package 进行测试,检查封装厂制造的工艺水平对于测试项来说, 有些测试项在 CP时会进行测试, 在 FT 时就不用再次进行测试了,节省了FT 测试时间;但是有些测试项必须在FT 时才进行测试(不同的设计公司会有不同的要求)一般来说, CP 测试的项目比较多,比较全;FT 测的项目比较少,但都是关
4、键项目,条件严格。但也有很多公司只做FT 不做 CP(如果 FT 和封装 yield 高的话, CP 就失去意义了) 。在测试方面, CP 比较难的是探针卡的制作,并行测试的干扰问题。FT 相对来说简单一点。还有一点, memory 测试的 CP会更难,因为要做redundancy analysis,写程序很麻烦。CP 在整个制程中算是半成品测试,目的有2 个, 1 个是监控前道工艺良率,另一个是降低后道成本(避免封装过多的坏芯片),其能够测试的项比FT要少些。最简单的一个例子,碰到大电流测试项CP肯定是不测的(探针容许的电流有限),这项只能在封装后的FT 测。不过许多项CP测试后 FT 的时
5、候就可以免掉不测了(可以提高效率) ,所以有时会觉得FT 的测试项比 CP少很多。应该说 WAT 的测试项和CP/FT是不同的。 CP不是制造( FAB)测的!而 CP的项目是从属于 FT 的(也就是说 CP测的只会比 FT 少),项目完全一样的;不同的是卡的 SPEC而已;因为封装都会导致参数漂移, 所以 CP测试 SPEC收的要比 FT 更紧以确保最终成品 FT 良率。还有相当多的DH 把 wafer 做成几个系列通用的die ,在 CP 是通过 trimming来定向确定做成其系列中的某一款, 这是解决相似电路节省光刻版的最佳方案; 所以除非你公司的 wafer 封装成 device 是
6、唯一的,且 WAT 良率在 99%左右,才会盲封的。据我所知盲封的 DH 很少很少,风险实在太大,不容易受控。WAT: wafer level 的管芯或结构测试CP: wafer level 的电路测试含功能专业文档供参考,如有帮助请下载。FT: device level 的电路测试含功能CP=chip probingFT=Final TestCP 一般是在测试晶圆,封装之前看,封装后都要FT 的。不过bump wafer 是在装上锡球,probing 后就没有FTFT 是在封装之后,也叫“终测”。意思是说测试完这道就直接卖去做application 。CP用 prober , probe c
7、ard 。 FT 是 handler , socketCP比较常见的是room temperature=25度, FT 可能一般就是75 或 90 度CP没有 QA buy-off (质量认证、验收) , FT 有CP两方面1. 监控工艺,所以呢,觉得 probe 实际属于 FAB范畴2. 控制成本。 Financial fate。我们知道 FT 封装和测试成本是芯片成本中比较大的一部分,所以把次品在 probe 中 reject 掉或者修复,最有利于控制成本FT:终测通常是测试项最多的测试了,有些客户还要求3 温测试,成本也最大。至于测试项呢,1. 如果测试时间很长, CP 和 FT 又都可以测, 像 trim 项,加在 probe 能显著降低时间成本,当然也要看客户要求。2.关于大电流测试呢, FT 多些,但是我在probe 也测过十几安培的功率mosfet ,一个 PAD上十多个 needle。3.有些 PAD会封装到 device 内部,在 FT 是看不到的,所以有些测试项只能在CP 直接测,像功率管的 GATE端漏电流测试 IgssCP测试主要是挑坏die ,修补 die ,然后保证die 在基本的spec 内, function well 。FT 测试主要是package 完成
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