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文档简介
1、,PN 结是构成各种半导体器件的基本单元。,第 2 章 PN 结,P 区 NA,N 区 ND,平衡状态:PN 结内部的温度均匀稳定,不存在外加电压、光照、磁场、辐射等外作用。,2.1 PN 结的平衡状态,2.1.1 空间电荷区的形成,空穴扩散:P 区 N 区 电子扩散:P 区 N 区,扩散电流方向为,P 区 N 区,P 区,N 区,NA-,pp0,ND+,nn0,内建电场,空间电荷区,P 区,N 区,NA-,ND+,NA-,pp0,ND+,nn0,2.1.2 内建电场、内建电势与耗尽区宽度,P,N,以上的 E(x) 就是 PN 结的 内建电场。,1.N区 P区的电场为,Vbi 与掺杂浓度、温度
2、及半导体的材料种类有关。在常用的掺杂浓度范围和室温下,硅的 Vbi 约为 0.75V 。,(2-13),对内建电场作积分可得 内建电势Vbi,2、内建电势,可求出 N 区与 P 区的耗尽区宽度 :,3、耗尽区宽度,总的耗尽区宽度 :,2.1.3 能带图,N区,P区,由图可见,电子从 N 区到 P 区必须克服一个高度为 qVbi 的势垒,空穴从 P 区到 N 区也必须克服一个同样高度的势垒,所以耗尽区也被称为“势垒区”。,P,N,2.2 PN 结的直流电流电压方程,PN 结二极管的直流电流电压特性曲线,面积为 Vbi,2.2.1 外加电压时载流子的运动情况 外加正向电压 V 后,PN 结势垒高度
3、由 qVbi 降为 q(Vbi -V) , 使扩散电流大于漂移电流,形成正向电流。,由于正向电流的电荷来源是 N 区电子和 P 区空穴,它们都是多子,所以正向电流很大。,P,N,x,0,平衡时,外加正向电压时,外加电场,内建电场,面积为 Vbi-V,V,P区,N区,0,正向电流密度由三部分组成: 1、空穴扩散电流密度 Jdp ( 在 N 区中推导 ) 2、电子扩散电流密度 Jdn ( 在 P 区中推导 ) 3、势垒区复合电流密度 Jr ( 在势垒区中推导 ),外加反向电压 V (V 0) 后, PN 结的势垒高度由 qVbi 增高到 q(Vbi -V), xd 与 都增大。,P,N,x,0,平
4、衡时,外加反向电压时,外加电场,内建电场,面积为 Vbi -V,面积为 Vbi,多子面临的势垒提高了,难以扩散到对方区域中去了,但少子更容易被反向电场拉入对方区域,从而形成反向电流。 由于反向电流的电荷来源是少子,所以反向电流很小。,V,P区,N区,0,反向电流密度也由三部分组成: 1、空穴扩散电流密度 Jdp 2、电子扩散电流密度 Jdn 3、势垒区产生电流密度 Jg( Jg 与 Jr 可统称为 Jgr ),以上两式常被称为“结定律”,对正、反向电压均适用。但在正向时只适用于小注入。,2.2.2结定律 在 N 型区与耗尽区的边界处,,在 P 型区与耗尽区的边界处,,2.2.3 扩散电流,外加
5、正向电压时 PN 结中的少子分布图为,P区,N区,注入 N 区的非平衡空穴,在 N 区中 一边扩散一边复合 ,其浓度随距离作指数式衰减。衰减的特征长度就是空穴的扩散长度 Lp 。每经过一个 Lp 的长度,非平衡空穴浓度降为 1/e 。,P区,N区,外加反向电压时 PN 结中的少子分布图为,N 区中势垒区附近的少子空穴全部被势垒区中的强大电场拉向 P 区, 所以空穴浓度在势垒区边界处最低,随距离作指数式增加,在足够远处恢复为平衡少子浓度。减少的空穴由 N 区内部通过热激发产生并扩散过来补充。,PN 结总的扩散电流密度( N 区内的空穴扩散电流+P 区内的电子扩散电流 ) Jd 为,当 V = 0
6、 时,Jd = 0 ,,当 V kT/q 时,,当 V kT/q 时,Jd = -J0,室温下硅 PN 结的 J0 值约为 10-10A/cm2 的数量级。,I,V,I0,0,J0 乘以 PN 结的结面积 A ,得:,反向饱和电流,2.2.4 势垒区产生复合电流,请同学自己看书复习,2.2.5 薄基区二极管 本小节的结果在第 3 章中有重要用途。,薄基区二极管 是指, PN 结的某一个或两个 中性区的长度小于少子扩散长度 。,P,N,WB,0,这时其扩散电流 Jd 会因为少子浓度的边界条件不同而有所不同。但势垒区产生复合电流 Jgr 的表达式无任何变化。,解扩散方程得到的 N 区中的非平衡少子
7、分布 为,对于薄基区二极管,WB Lp ,利用近似公式 N 区中的非平衡少子:,上式对正、反向电压都适用。类似地可得 P 区中的非平衡少子分布 np(x) 的表达式。薄基区二极管中的少子分布图为,2.3 大注入效应,大注入条件:注入某区边界附近的非平衡少子浓度远大于该区的平衡多子浓度。,在 N 区中 xn 附近, 或在 P 区中(- xp)附近,,N 区,当发生大注入时,PN 结的电流电压关系为,这时,PN 结的 lnI V 特性曲线的斜率,将会从 小注入时的 ( q/kT ) 过渡到 大注入时的 ( q/2kT ) 。,2.4 PN 结的击穿,雪崩倍增 隧道效应 热击穿,击穿现象,击穿机理:
8、,电击穿,2.4.1 雪崩击穿,反向电压 可使被碰撞的价带电子跃迁到导带,从而产生一对新的电子空穴对,这就是 碰撞电离。碰撞电离主要发生在反偏 PN 结的耗尽区中。,之后,新的载流子再被加速,再与原子碰撞,又继续产生一对新的电子空穴对. ,这种现象称为雪崩倍增 。,对于突变结,,可见,禁带宽度 EG 越大,则击穿电压 VB 越高;约化杂质浓度 N0 越低,VB 越高。对于单边突变结,N0 就是低掺杂一侧的杂质浓度,因此 击穿电压也取决于低掺杂一侧,该侧的杂质浓度越低,则 VB 越高。,对于线性缓变结,,结面曲率半径的影响 由扩散工艺所形成的 PN 结,在结面的四周和四角会形成柱面与球面。,结深
9、 xj 越小,曲率半径就越小,电场就越集中,击穿电压VB 也就越低,且多发生在表面而不是体内。,2.4.2 齐纳击穿 隧道效应:由于电子具有波动性,可以有一定的几率穿过势垒。势垒越薄,隧道效应就越明显。,由于存在隧道效应,使价带中不具有 EG 能量的A点电子可有一定的几率穿过隧道到达导带中的 B 点,从而进入 N 区形成反向电流。,电子能量,电子动能,x,随着反向电压的提高 , 增大,隧道长度 d 缩短, 使反向电流增大。当反向电压增大到使 达到临界值时,d 变的足够小,使反向电流急剧增大,这种现象就称为 齐纳击穿 ,或 隧道击穿。,硅和锗 PN 结的齐纳击穿临界电场分别为 1200 kV/c
10、m 和200 kV/cm 。,反向电压 V功率 PC = V I0 结温 Tj I0,当 Tj 不受控制的不断上升时,将导致 PN 结的烧毁,这就是 热击穿。热击穿是破坏性的,不可逆的。,2.4.3 热击穿,式中 V 为反向电压,Tj 为 PN 结的结温。,半导体材料的禁带宽度 EG 越大,则 I0 越小,热稳定性就越好,因此硅 PN 结的热稳定性优于锗 PN 结。,由于 PN 结的反向电流 I0 极小,所以功率损耗 PC 也极小,一般并不容易发生热击穿。实际上热击穿往往发生在已经出现电击穿,因而反向电流比较大的情况下。或者发生在正向时 ,因为正向电流不但很大,而且也有正的温度系数。,势垒电容
11、 CT,2.5 PN 结的势垒电容,PN 结电容,扩散电容 CD,2.5.1 势垒电容的定义 当外加电压有 ( - V ) 的变化时,势垒区宽度发生变化 ,使势垒区中的空间电荷也发生相应的 Q 的变化 ,如下图。,P区,N区,PN 结势垒微分电容 CT 的定义为,简称为 势垒电容。,(2-126),势垒电容 CT 可以表示为,(2-127),2.5.2 突变结的势垒电容,于是可得:,式中,,(2-130),根据势垒电容的定义,,2.5.3 线性缓变结的势垒电容,当外加较大反向电压时,,2.6 扩散电容,对于 P+N 单边突变结, 可见 CD也是取决于低掺杂一侧的杂质浓度。,N 区:(同时产生),扩散电容的物理意义,P 区:(同时产生 ),P区,N区,势垒电容与扩散电容的比较,势垒区中电离杂质电荷随外加电压的变化率; 正
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