倒入黑色聚乙烯片架中.ppt_第1页
倒入黑色聚乙烯片架中.ppt_第2页
倒入黑色聚乙烯片架中.ppt_第3页
倒入黑色聚乙烯片架中.ppt_第4页
倒入黑色聚乙烯片架中.ppt_第5页
已阅读5页，还剩9页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

1、光刻基本操作,一、认真核对随工单，检查随工单上的工步与片子数是否与实际相符，如果正确，将其倒入黑盒中，用倒边器检查片子是否有崩边，若有则查对随工单上是否有标明，若无，退回上步工序。确定无误后，按照随工单上的要求制作。二、光刻的主要步骤：匀胶、前烘、曝光、显影、显影后检查,匀胶：,目的：在硅片表面均匀涂上一层厚度一定的光刻胶准备工作：、泡胶嘴、擦胶嘴、走陪片、检查胶瓶内光刻胶（胶液面距瓶底5厘米，及时更换新胶，并填写“换胶记录表”）、按随工单加工工步、匀胶程序确定表，选择正确的匀胶程序,注意：在匀胶过程中，如发生不明原因的报警应通知设备人员；停用5分钟以上应先匀3个陪片，方可进行正式片的匀胶,前

2、烘,目的：将涂在硅片表面的胶內溶剂充分挥发，增强抗显影能力主要步骤：、将匀完胶的硅片从黑色的片架中倒入白色的四氟片架中、将硅片放入烘箱中，负胶烘15分钟，正胶25分钟、将烘好的硅片取出，倒入黑色聚乙烯片架中注意：操作时必须带上手套操作,曝光,目的：将掩膜版上的图形复印到硅片上主要步骤：、检查光刻版：将光刻版放在UV灯下检查，照射背面检查是否有颗粒，若有用氮气吹掉，切忌不要吹正面、装版：将版盒打开，开口方向背对自己，将光刻版正面朝下，箭头朝左下方，扣上版盒，准备曝光,、上版与对版：RTLDRCHG/NFILENAME=C：MK609-RETICLENAME=M2EXECUTE？,X,Y,、曝光操

3、作：FEXPPRNT/IO。PARAMETERCHECKCOMPLETE(YORN)=_N_找到EXP.TIME=按“空格”修改曝光时间（见下页“曝光时间确定表”）HOWMANYWAFERS=_1_待片子上到载片台后，手动对准标记进行曝光，显影，检验，确认无误后，对硅片继续进行曝光,一次曝光为NEXP,曝光时间确定表,目的：将未感光部分的负性光刻胶溶除，留下感光部分的胶膜；将感光部分的正性光刻胶除，留下未感光部分的胶膜注意事项：、检查N2压力不低于22PSI，真空压力必须大于22或23Hg/cm2,显影液压力调制15PSI、检查显影液是否够，若不够，要及时添加、机器若出现故障，及时通知班长或技术员,显影,注意：氧化层光刻后带胶注入的片子一定要走热盘,目的：确定光刻胶成像情况及表面情况是否符合要求，以确定能否进行下道工序基本步骤：、UV灯下检查光刻胶是否有划伤、沾污或覆盖不完全的情况、显微镜下检查是否没有光刻胶图形、重复曝光、浮胶、图形套偏（错行，错位）、接触不良、曝光不适度、光刻胶覆盖不完全、显影不彻底、连条、沾污、缺口、毛刺等现象,显影后检查,思考题1、匀正式片之前为什么要

人人文库> 全部分类> 教育资料 > 课件下载

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论