静电检测操作规范

防静电检测规范

目录

1、目的：......................................................错误!未定义书签。

2、合用范围:..................................................错误!未定义书签。

3、定义.........................................................错误味定义书签。

4、职责.........................................................错误!未定义书签。

5、程序.........................................................错误!未定义书签。

6、有关文献和记录..............................................错误!未定义书签。

7、附录.........................................................错误!未定义书签。

5、程序

5.1测试措施：

测试环境：

环境温度23±5℃,相对湿度40%〜70%。

测试仪器使用措施

.1静电场测试仪（TREK520）

麴电场测试仪是感应式口勺，该仪器表面有2个按键:“POWERT'RANGE/ZEROT'HOLD”,

按“POWER”键开机/关机。该仪器有两个量程：0~2KV、0~20KV,可通过按

“RANGE/ZERO”键进行切换。当显示3位小数时，量程屹围为0〜2KV；当显示2

位小数时，量程范围为0〜20KV。

每次测试时都应进行读数清零工作，措施为：将sensor对准一种已知日勺电压

为0V口勺导体上，按“RANGE/ZERO”键至少3秒钟。

为保证测试值的精确性，测试时人体必须戴静电环或穿防静电鞋。测试前，

先将待测物放置在绝缘的物体上（如干燥H勺硬纸板），手持干燥并洁净日勺棉布以每

分钟120次日勺速度，施加合适的压力（2〜4公斤力），单向摩擦待测物表面20

次，然后用仪器测量电压（senor距离被测物表面口勺距离为2.54CM及两个红灯

重叠在一起），将显示日勺读数乘以1000即得实际的电压值，例如读数为“.018”，

则实际电压为18Vo

.2表面电阻测试仪（ACL-385）

ACL-385为简易表面电阻测试仪，该仪器两个测试电极间距根据原则不变，测试时将被测物放于

绝缘的平面上，表面电阻测试仪平置在材料表面上，手指施加合适压力（2〜

4KG）于测试按钮上，使测试电极与材料表面接触良好，指示灯发亮档即为读

数。假如被测材料为软性材料，可施加4〜6kg口勺压力进行测试。

.3接地电阻测试仪（EMI-20780）

EMI-20780可以测试点对点电阻(RTT),接地电阻(RTG)、体积电阻,和表面

电阻率，配套两点测试电极可测量微小物体表面电阻.测试范围为：1x103Q-

1。12。；测试电压为：10V或100V+/-5%;测试精度为：+/・10%;测试时间为15秒;

测试时：把2条连接线分别插入测试表上端口勺“A”插口，注意白色连接线和黑色

连接线的插头不一样，不要插错.然后连接线另一端分别插入点对点重锤电极；按

下“D”测试按键15秒，这时LCD屏幕按次序显示如下：

•华氏温度

•摄氏温度

•相对湿度

•电阻值

•所采用的测试电压

电阻测试成果由“B”显示屏和“C”冥数LED指示灯共同显示，例如电阻值为175,

000,000Q,显示如下：

1.75显示在“B”显示屏上，同步“C”LED指示灯的8会亮，表达测试成果为：1.75x

108Qo假如LCD显示屏显示“1”，阐明超过该仪器测试范围。

测试电压为10V或100V,按下“F”键，采用10V电压测试，假如不按下“F”键，仪

器会根据不一样测试材料自动选择测试电压.限值在1。5Q如下时采用10V测试电压,

阻值在106Q以上时采用ioov测试电压

.4人体综合电阻测试（月宽带测试、鞋测试）

测试环节：

1.员工进入车间前应首先确认静电手腕佩戴对。勺，静电鞋鞋底洁净，穿戴对

时。左右两脚分别踏上静电测试仪的左右两个金属脚踏板，然后将防静电

手腕插入静电测试仪面板的手环插口。

2.扫描工卡后，电脑会显示你的身份资料，同步仪器的LCD面板提醒“请您

按下测试键”。手指按下测试键，（保证手指与按钮金属键口勺完全接触）

开始测试，3秒后仪器将测试完毕。

3.假如受测对象合格，仪器“嘟”长响一声，同步仪器H勺LCD面板显示“通

过“，假如测试不合格，仪器“嘟嘟嘟嘟…”短响8声，同步仪器H勺LCD面

板显示“不通过"°不通过时可持续测试4次，若还是不合格，员工立即

到IPQA处更换。

4.IPQA应维持测试秩序并监督每位员工日勺测试过程。

（3、请注意

须刷员工卡.

液晶显不

所刹“啃”的

屏I0下

声音说明读

一行中文

卡滞读卡成

显本的操

功,刷卡跖离

作方法提

清不要大于

50亳米

2、一定要正确带4、清播照仪器血

好手环并把插头板显小屏I•的中

楠人插扎《任意选文提出操作测试

择左右插孔）

5.125接地桩电阻测试仪（ZC29B型号）

1.沿被测接地极E'使电位探棒P'和电流探棒C'依直线彼此相距20米，且电位探棒

P'系在E'和C'之间。

2.E端钮接5m导线，P瑞钮接20m导线，C端钮接40m导线。

3.将仪表放置水平后检查检流计与否指零，否则可将零位调正器调整零位。

4.将“位率标度”置于最大倍率慢慢转动发动日勺摇把，同步旋动电位器刻度盘，

使检流计指针指“0”。

5.当检流计时指针靠近平衡时，加紧发电机摇柄转速，使其到达每分钟150转。

再转支电位器刻度盘，使检流计平衡，此时刻度盘的读数乘以倍率档即为被测

接地电阻数值。

6.当刻度盘读数不不小于1时应将倍率开关置于较小倍率，重新调整刻度盘以得

对日勺读数。

7.当测量不不小于1欧的接地电阻时，应将2个E端的联结片打开，分别用导线联

接到被测接地体上，以消除测量时联接导线电阻口勺附加误差，操作环节同上。

8.当检流计的敏捷度过高时，可将二根探棒插入土壤中浅某些，当检流计敏捷度

过低时，可沿探棒注水使其湿润。

5.1.2.6离子风机测试仪（3M-718/3M-718A）

1、打开测试仪（718）电源，将测试仪（718）金属板一端与静电产生仪（718A）金属

端相连接，同步按下静电产生仅“+”按钮和测试仪“HOLD”键，测试仪显静电值应

不小于“+1000V”0

2、在离子风机下不超过30cm处水平移动静电测试仪3秒钟（金属板向上），再看测试仪显

示值应不小于・40V不不小于+40V。

3、打开测试仪（718）电源，将测试仪（718）金属板一端与静电产生仪（718A）金属

端相连接，同步按下静电产生仪按钮和测试仪“HOLD”键，测试仪显静电值应

不不小于”・1000V”。

4、离子风机下不超过30cm处水平移动静电测试仪3秒钟（金属板向上），再看测试仪显示

值应不小于-40V不不小于+40V。

5、在检测表中记录显示值，注明检测日期，调整后时值。

注意：规定平衡电压为-40W平衡电压W40V

5.1.2.7手腕监视器电容测试仪（SAML1800）：

测试时，开关旋转至“1801FALL”档，SALM1801S-IH勺LED变成红色，蜂鸣器发

出报警声响；旋转开关至“1801PASS"档，SALM1801S-I的LED变成绿灯，蜂鸣器

停止发出报警声响。此为合格。

5.2测试项目

静电接地极电阻测试

每六个月使用ZC29B进行一次测试，规定静电接地极对地电阻不不小于1Q,将测

试成果记录在《ESD点检登记表格》中。

设备、仪器接地电阻测试

每月由ESD专人或指定人员用万用表测试设备仪器接地电阻一次（新建工位或工位调整后

要立即测试）测试成果记录在《ESD点检登记表格》中。

1.设备仪器接地电阻：设备仪器外壳与岸电接地线之间日勺阻抗要不不小于10Q。

测试频率：每月。

2.电烙铁：对使用中的电烙铁进行接地电阻测试，规定烙铁头与静电接地线之

间的阻抗要不不小于10。。测试频率：每天。

5.2.3静电接地线接地电阻：

每六个月由厂务或指定人员对静电接地线时接地电阻进行检测。规定每条线都要测。测试

措施：在每条静电接地线上任意找一种点，将万用表的一端连在这个点上，另一

端插在电源地线孔里。规定电阻值不不小于10Q。测试成果记录在《ESD点检登

记表格》中。

524防静电工服

PE工程师或指定人员，每季度对员工的工衣用EMI-20780测试仪进行测试，规定表面电阻

1x105Q<Rs<1x109Q（上衣做点对点、袖对袖、片对片测试，裤子做裤脚对裤

脚、点对点测试），“每次全检，测试成果记录在《ESD点检登记表格》中。如

检测到不合格口勺状况，在此防静电服的胸口处盖上“此防静电服不合格”章，并

邮件告知该员工经理让其当日之内到库房更换。IPQA监督有无不合格静电服流

入产线。

5.2.5防静电工作台

PE工程师或指定人员负责每月使用EMI-20780测试仪测试一次，规定表面电阻在

1x1（）5~ix109欧姆和接地电阻在1x106~ix109欧姆。每块工作台面测试3个点，将

测试成果平均值记录在《ESD点检登记表格》中。

5.2.6地板

由ESD专人负责每季度使用EMI-20780测试仪测试表面电阻一次，规定地板日勺表面电阻在

之间。每100平米地面测5个点（对于面积不不小于100平方米的独

立区域如：IQC、RD试验室、来料仓，每个区域要测5个点）。测试时两个电极

距离为0.6米〜1米，测试成果记录在《ESD点检登记表格》中。

同步由厂务或指定人员每六个月测试地板时接地电阻一次，接地电阻在

1*105.1*109。之间。测试措施：将EMI-20780口勺一种电极放在地板上，另一端插

入电源地线插孔里。每100平米测试1个点。测试成果记录在《ESD点检登记表

格》中。

5.2.7物流器具（如：周转箱、周转车、货架）

由ESD专人负责每六个月使用TREK520和EMI-20780测试仪测试一次，规定摩擦电压不

不小于100V,周转箱表面电阻：1x1030.1x1090,每次每种器具抽检，每1条

线抽检10PCS,假如有1Pcs不合格则全检。测试成果记录在《ESD点检登记表格》

中。

5.2.7.2由ESD专人负责每季度使用EMI-20780测试仪测试一次，规定周转车，货

架表面电阻不不小于1x109。，接地电阻在1x103Q-1x109。之间。测试成果记录

在《ESD点检登记表格》中。

5.2.8腕带、工鞋性能检测

操作类员工每日进入车间前要进行手环、工鞋测试，测试成果由电脑自动保留，产线专门

人员进行存档管理：在车间办公的职工，每日上班进入车间前要进行工鞋测试，

对于狗也许接触产品的职工（如生产主管、工艺、设备、质控人员）每日上班也

必须使用人体综合电阻测试仪，测试记录由电脑自动保留。如有测试不合格者需

立即到IPQA处更换。测试合格后方能进入产线。

腕带系统电阻：800KQ—10MQ；工鞋系统电阻：100KQ-35MQo

529静•电场检测

由ESD专人负责每季度使用静电场测试仪（TREK520）对车间各工位H勺静电场强进行一

次测试，并将测试成果记录在《ESD点检登记表格》中。

测试规定：距工作台30cM范围内，岸电值要不不小于+/-100V

5.2.10离子风机测试

由ESD专人负责每季度使用3M-718与3M・718A对车间的离子风机性能进行测试，测试内

容包括“平衡电压”、“消电时间”，并将成果记录在《ESD点检登记表格》中

测试规定：测试仪器距离离子风扇正前方30厘米；合格原则:1000V降到100VU勺消电时间

不不小于3秒，平衡电压绝对值不不小于40V。

注：CPM要分别在正、负两种充电状态下测试

1防静电工作椅子

由ESD专人负责每月使用EMI-20780测试仪测试一次，规定表面电阻和接地电阻都在

1x105-1x109欧姆之间，。将测试成果平均值记录在《ESD点检登记表格》中。

2传送带测试

由ESD专人负责每季度使用表面阻抗测试仪测试一次，规定表面电阻在

1x105-1x109欧姆之间。每条传送带测试3个点，将测试成果平均值记录在《ESD

点检登记表格》中。

5.2.13手腕监视器测试

由ESD专人负责每六个月使用SAML1800校正仪对手腕监视器的电容进行一次。测试不

合格立即更换。

5.3防静电包装材料的测试

认证测试：首先规定供应商送样给PE确认，同步附上产品的有关参数阐明书或产品有关

性能指标认定书，经PE验证合格后方可采购。

防静电性能测试环境规定：温度23±5℃,湿度15±5%

测试项目

材料表面摩擦屏蔽泄高温环境模拟测ESD标志

电阻电压漏电压试

PE袋777

吸塑盒、物777

料盒

汽珠袋、泡77

棉

有机保护屏7qq

缓冲材料Tq

屏蔽袋7qqq

防静电胶带7qq

防静电防尘7q

布

打“寸’为必测项目

高温测试：在温度为60℃,湿度为15%。勺干燥箱内烘烤12天或在温度为70℃,湿

度为15%

日勺干燥箱内烘烤8天，然后放于室温寄存24小时再进行表面电阻、摩擦电压测试

5.3.2接受测试

PE部门对所有无物料代码的ESD辅料进行来料检查。不定期全检。检查规定如下:

防静电性能测试环境规定：温＜23±5℃,湿度40〜70%

测试项目

材料表面电阻摩擦电压屏蔽泄漏电压高温环境ESD标志

模拟测试

PE袋qqq

吸塑盒、物7q7

料盒

汽珠袋、泡q-J

棉

有机保护屏qO

缓冲材料Y0

防静电胶带JqV7

屏蔽袋7q7

防静电防尘q7

布

5.3.3点检测试

由ESD小组人员每月使用表面阻抗测试仪对各条线的防静电袋、自制容器、防营争

电胶、有机玻璃屏进行抽检。规定表面电阻在1x104-1x1011欧姆之间，摩擦电压

不不小于100V。每条线测试5PCS,若有3PCS不合格则整条线全检并更换对应物

料。以上这些物料必须有防静电标识才可投入产线使用，一经IPQA发现将没收，

找替代品或者做防静电加工。

5.4各类防静电物品、设施检测指标

测试项目摩擦电压表面电阻系统电阻

防爵电工服、工1x105Q<Rs<

帽1x109。

工鞋1x105Q^Rs<1x0.1x106Q^R<3.5

109Qx107Q

腕带内面V1X105Q0.8x106Q^R<3.5

外面>1x107。x107Q

防静也地板0.1x106Q<Rs<0.1x106Q<R<

1x109Q1x109。

工作台1x106Q^Rs<0.75x106Q^R<

1x109Q1x109Q

周转箱、周转<100V1x103Q<Rs<

盒、托盘、料1x109Q

盒、防静电刷

子、防静电镀

子、防静电推

车

传送带1x106Q^Rs<

1x109Q

防静电工作椅1x105。1x106D<

<Rs<1x109QR<1x109Q

PE袋<100V1x104Q<Rs<

1x1011D

吸塑盒<100V1x104Q<Rs<

1x1011Q

汽珠袋、泡棉<100V1x104Q<Rs<

1x1011O

缓冲材料<100V1x104Q^Rs<1x

1011Q

屏蔽型防静电<100V1x104Q<Rs<

袋1x1011Q

防静电胶带<100V1x104Q^Rs<

1x1011Q

防静电有机玻<100V1x104Q<Rs<

埔板1x1011Q

防静电防尘<100V1x104Q<Rs<

布、手套、指1x1O110

套

注：1.屏蔽袋要加测“屏蔽泄漏电压”，规定不不小于100V；

2.为便于包装材料口勺接受检查，选择包材时可根据实际状况选择表面电阻及体电

阻在1x105Q~1x101°Q日勺材料。

3.对产线自制物料盒需要通过PE认证检查后并贴上防静电标志才能使用。

4.胶带要加测剥离电压不不小于100V才能接受。

6、

7、附录一各类点检项目明细

摩擦电

点检项目频率表面电阻接地电阻备注

压

烙铁头每天—10Q

设备仪器每月—10Q—

1x1O6S2-1x109

工作台面每月1x1O5£2-1x109a—

2

1x105Q-1x109

防静电椅每月1x105^-1x1092—

Q

每次月度稽核时

防静电袋、胶ESD组员负责检

1x104Q-1x1011

带、自制器查。条线抽检

每月—<100V

具、有机玻璃5Pcs,3Pcs不合

Q

屏格则整条线全检