《光伏电池工艺设备 低压扩散设备技术规范》征求意见稿

1光伏电池工艺设备低压扩散设备技术规范GB/T3768声学声压法测定噪声源声功率级和声能量级采用反射面上方包络测量面的简易法GB/T5226.33机械电气安全机械电气设备第33部分:半导体设备技术GB/T13277.1—2023压缩空气第1部分:污染物净化等级GB/T17626.16电磁兼容试GB/T25915.9—2018洁净室及相关受控环境第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度GB/T29845半导体制造设备的最终装配、包装、运输、拆包及安放导则GB/T30116半导体生产设施电磁兼容性SJ2065半导体器件生产用扩散设备实际运行时间和设备可用时间的比值。4缩略语BSG：硼硅玻璃层（BorosilicateGlasCDA：压缩干燥空气（CompressedDryMFC：质量流量控制器（MassFlowController）PCW：工艺冷却水（ProcessCoolingWaUPS：不间断电源（UninterruptiblePowerSupply）2b)CDA：空气质量应符合GB/Tc)冷却水：压力0.4MPa～0.6MPa，进水温度15℃~20℃。d)环境温度：20℃~26℃。e)环境湿度：2060％。f)洁净室高度不低于4.9m。c)电路走线整齐、无松脱、无线芯裸露、线号标识清楚，电线排布符合工程图纸要求，电箱洁d)设备箱门与箱体配合缝隙均匀门框及门周边无毛刺、利边、锐角，关门顺畅、无干涉、无异e)铭牌标识位置符合图纸要求，内容正确、齐全、无漏装、错装；g)五金件表面无变形、凹凸不平、撞伤、脏污、锈迹；k)设备内洁净，无脏污、无积尘、无残胶、无扎带碎头、无掉落螺钉；m)导轨、丝杆、模组推动顺畅无卡滞、异响现象；o)净化台、炉体、气柜拼接后无明显段差和缝隙。6.2.1.1石英舟除符合JC/T2065外6.2.1.2搬舟机械手应具有同步检测装置及防3从室温加热到900℃的时间应不大于45min≤0.5%6.2.4.1设备应具备报警功能，具有工艺状态声光提醒以及计算机异常、短路、水流、超温报警与欠6.2.4.2设备应配备UPS，断电后上位机应能运行至少15min。6.2.4.3设备运动部件应配置高清监控摄4≤0.01%≤0.03%≤5%≤5%≤4%BSG厚度≤5%≤5%≤4%应不大于1mm。注：不良现象包括吸盘印、划伤、崩边、脱晶、梳齿、顶齿印等。5≤0.02%≤0.03%≤0.01%a)至少在自动化与主机台相近操作位置设有急停按钮，按钮位置b)设有断电或报警触发时的安全停机功能，确保运行参数的安全存储；c)急停护罩缺口不少于2个，不准许阻碍操作人员在紧急情况下的快速操作，护罩d)在传输过程和工艺过程中应设有暂停按6.5.3.2安全门开启后，操作界面应弹出“维修中”或类似表述的提示信息；维修完后，确认提示信a)安全门打开后按钮应被激活，维修时应先确认内部按钮，再关闭安全门，确认外部按钮，内b)按钮安装位置应醒目，操作简易。6.5.3.4机台内部作业端上方应配备安全绳挂6.5.4.1人员易触及的可动零部件，应进行封闭或隔离。步进电机同步带、同步齿形轮应该加设防护6.5.4.2对操作人员在设备运行时可能触及的运动部件，应配备安全门装置。6.5.4.3搬舟侧应具备安全门开关状态提醒功能，维修通道安全门配置电子安全锁与上位机虚拟按钮6.5.4.4运动中具有的势能可能引起危险的机械手升降电机应配置防坠落装置，当机台掉电时机械手67.2.1.2通过现场模拟碰撞报警功能测试，现场模拟不平衡等报警功能 温度控制器设定某一温度，按18℃/min升温，计时器记录达到设定温度所花的时间，计算升温速7ΔP7.2.4.3设备正常运行72h，检查监控视频留存情况。1——设备实际运行时间；2——设备可用时间。8），7.2.9.2射频电磁场辐射抗扰度按GB×100%·················线对称，距离边缘20mm。9Ymax——片内最大方阻，单位为欧姆每平方(Ω/sqYmin——片内最小方阻，单位为欧姆每平方(Ω/sq取1片，每片样品按照6.3.2.2.1的规定取点，并采用四探针测量各点的方阻，按式（9）计算片间方阻（Yi，i=1...n）max——片与片间方阻平均值的最大值，单位为欧姆(Ω/sq（Yi，i=1...n）min——片与片间方阻平均值的最小值，单位为欧姆(Ω/sq）。在采用完全相同的的工艺条件和参数完成掺杂工艺若干批基片中，每批至少取9片样品，每片样品（Xi，i=1...n）max——批与批间方阻平均值的最大值，单位为欧姆每平方(Ω/sq（Xi，i=1...n）min——批与批间方阻平均值的最小值，单位为欧姆每平方(Ω/sq）。7.3.3.2片内均匀性按式（8）进行计算，片间均匀性按式（9）进行计算，批间均匀性按式（a)通过轮廓仪，将硅片自由放置于三点支撑平台（避免支撑点影响测量）；b)探针沿硅片表面移动，记录高度变化；2——硅片最高点高度,单位为毫米；7.5.2.2在扩散设备正常运行时断电，检查是否停机；在扩散设备正常运行时引发报警器，检查是否7.5.3.1目测确认是否安装联动防护开关，使用普通工具拆解确认是否可拆；启动联锁装置，查看安7.5.3.2开启安全门，检查是否弹出提示信息；在没有确认提示信息情况下关闭安全门，检查是否能b)在未确认内外部按钮时关闭安全门，记录关闭情况；f)在未确认内外部按钮时关闭安全门，记录关闭情况；7.5.3.4检查机台内部作业端上方是否配备安全绳挂钩，使用扩散设备出厂时应逐台检验。检验项目满足表9的要求时，判定为该扩散设备合格，其中任一项不8.3.1有下列情形之一时，应进行型式检a)新产品或老产品转厂生产的试制、鉴定、定型；c)检验结果与以前的型式检验结果对比存在不可允许的偏差；9标志、包装、运输和贮存9.1标志9.1.2设备上各部分的标志应符合下列规定：b)各介质有对应的标志；9.1.3包装上标志应至少包括下列内容：9.2包装9.2.2设备应分类装箱，并应遵循适于运