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文档简介
金相分析基础扫描电子显微镜——扫描电镜样品制备一、扫描电镜样品要求不导电试样:导电性和导热性。大试样易污染。≤15mm样品尺寸样品尽量小<10mm注意:多孔样品应在烘箱中低温加热一段时间可避免抽真空时间过长。一、扫描电镜样品要求导电性:导电性差造成电子束不稳定,图像模糊、放电等。(二)特性要求导热性:导热性差造成试样低熔点组份挥发,影响定量分析。(三)平整度要求(EDS):
样品表面不平整会降低
射线测量强度。X二、扫描电镜样品制备无尘布手套导电胶带导电液高压除尘气罐洗耳球镊子剪刀二、扫描电镜样品制备研磨抛光机高真空离子喷镀仪样品镶嵌机二、扫描电镜样品制备红外烤灯超声波清洗机干燥箱二、扫描电镜样品制备保证样品清洁使用手套和镊子二、扫描电镜样品制备01.
块状或块体镶嵌样品导电胶样品台样品导电胶样品台样品导电样品不导电样品或镶嵌样品二、扫描电镜样品制备02.
粉末样品喷镀膜导电胶样品台导电胶样品台导电粉末样品不导电粉末样品二、扫描电镜样品制备导电胶03.
断口或截面样品截面台样品细致认真截面台截面台导电截面样品截面台截面台样品不导电截面样品三、小结尺寸要求:尽量小特性要求:导电导热性好样品要求平整度要求:尽可能平整常用工具:手套、无尘布、导电胶带、导电液、剪刀、镊子、洗耳球等扫描电镜常用设备:真空离子喷镀仪、样品镶嵌机、研磨抛光机、超声波清洗机、干燥箱等。导电:导电胶粘在样品台,样品再粘在导电胶上。块状不导电:样品的底面、侧面和上面都要导电胶。样品制备导电:导电胶粘在样品台上,样牙签取少量样品置于导电胶上,吹掉浮粉。不导电:比导电粉末增加一个表面镀膜喷金处理。粉末制备方法导电:导电胶粘在截面台,样品粘在导电胶上,再用导电胶固定样品。不导电:在导电样品的基础上增加2步,用细导电胶粘住断口和截面台,再在断口表面镀膜喷金处理。断口或截面T
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G蒸镀膜试样导电胶样品台×√不导电不规则块体样品T
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G颗粒导电胶样品台×√导电粉末样品谢
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