半导体洁净室温度异常分析改善

组装西区洁净室温湿度异常

分析与改善组装西区温湿度异常分析与改善2目录1.事件描述2.问题分析3.纠正与改善4.纠正措施与效果确认5.水平展开6.持续追踪组装西区温湿度异常分析与改善---事件描述2厂务值班室2016年4月以来（When）接组装西区产线（Where）抱怨电话,反馈个别区域温度偏高(What)。值班人员（Who）分别作以下动作：进线调节风阀；调整AHU送风温度；调整AHU频率；检查回风等动作（How）。现对改善效果及日常洁净室温湿度控制问题分析方法及节能运行状况进行汇总分析，以提升运行值班人员处理问题效率和节约洁净室空气调节运行能耗（Why）。组装西区温湿度异常分析与改善---事件描述2实际状况1黄色和红色温湿度局部超标:影响产品品质;引起产线员工抱怨.以下相同组装西区温湿度异常分析与改善---事件描述2实际状况2组装西区温湿度异常分析与改善---事件描述2实际状况3组装西区温湿度异常分析与改善---问题分析2如上述统计可以看出位于组装西区靠近组装办公室的区域温湿度比较差一直处于超标状态，并且之前的温湿度调节改善动作有效性比较差。该问题在滁州厂区洁净室环境控制具有代表性,故作分析如下供参考:组装西区温湿度异常分析与改善---问题分析2原因分析效果确认影响责任人A外气温度偏高\低外气温湿度无剧烈变化小B热水温度热水温度35-40℃小运行值班C冷冻水温度冷冻水温度7-12℃小运行值班D高效滤网待测试风速确认是否堵塞,无风量大TXWE调节MAU湿度设定送风温度14℃，湿度94%小运行值班F调节AHU温度设定送风温度16.5℃小运行值班G温湿度传感器定期比对小运行值班H送风阀门需要通过风速测试后确认是否开启正确大运行值班IAHU/MAU组装区域AHU/MAU已经全部开启至满负荷状态，存在容量缺口大工程改造J回风滤网定期检查清洗大运行值班K回风是否通畅1.回风墙侧无堵塞2.产线中部区域远离回风口，确实有空气流通不畅状况小大运行值班维修M温湿仪量测使用厂务现有温湿仪进行量测，小运行值班N员工技能温湿度调节由值班长和能管员进行调节小运行值班组装西区温湿度异常分析与改善---问题分析组装西区温湿度异常分析与改善---纠正与改善2针对影响大的4种原因的确认和纠正措施：一.送风阀门的开启确认：经过在夹层检查确认目前送风阀门有以下几种状况：状况1．风阀开启状况不在开的位置，阀芯开启状况待确认风量。组装西区温湿度异常分析与改善---纠正与改善组装西区温湿度异常分析与改善---纠正与改善2状况2.开启过度：从外观来看阀门处于过度开启位置，阀芯状况如何需要量测风量确认组装西区温湿度异常分析与改善---纠正与改善组装西区温湿度异常分析与改善---纠正与改善2状况3.阀门表观看上去是在关闭位置，先调整到开启位置，再确认送风量。状况4.主风管送风管阀门未开启(排除)组装西区温湿度异常分析与改善---纠正与改善组装西区温湿度异常分析与改善---纠正与改善2二.高效滤网堵塞：现象:在确认风阀开启正常状况下，用风速仪测试风速比较低，或没有风速，此种状况多数为高效堵塞或吊柜机组运行异常。详细数据参考下页组装西区温湿度异常分析与改善---纠正与改善组装西区温湿度异常分析与改善---纠正与改善2针对以上四种状况纠正措施：请购风速仪对洁净室的高效出风口逐台测试风速。找出风速低的风口，通过对讲机通知夹层的人员确认风阀的开启状况。调整后做好标识，便于后续的检查操作。存在另一种状况：风阀开启调节没有效果。产生此状况原因分两种：A风阀阀芯脱落，改善措施：需要拆卸阀门维修。B高效堵塞，需要拆卸后检查更换确认。组装西区温湿度异常分析与改善---纠正与改善组装西区温湿度异常分析与改善---纠正与改善2二.高效滤网堵塞：通过高效风速检测发现西区北侧区域部分高效堵塞,部分高效无风速(吊柜),组装西区温湿度异常分析与改善---纠正与改善组装西区温湿度异常分析与改善---纠正与改善2二.高效滤网堵塞：纠正措施：通过更换高效并对比更换前后风速并做好记录保存作为资料供后续参考。三．回风是否通畅

现象1：

建厂初期设计的回风通道因设备布局和房间的布局调整，已经影响或堵塞导致回

风不顺畅。导致局部区域温度调节能力减弱。影响环境温度和洁净度。组装西区温湿度异常分析与改善---纠正与改善2三．回风是否通畅

现象2：回风滤网堵塞,回风不畅导致区域温湿度异常.现场测试发现组装西北侧回风堵塞严重,正常回风风速:>2.5m/s;详细测试数据参考下页组装西区温湿度异常分析与改善---纠正与改善2三．回风是否通畅回风滤网堵塞,回风不畅导致区域温湿度异常.现场测试发现组装西北侧回风堵塞严重,正常回风风速:>2.3m/s;组装西区温湿度异常分析与改善---纠正与改善2三.回风是否通畅纠正措施：A定期检查清洗回风滤网B不影响生产情况下移开挡塞物或设备C确认是否有预留回风地道，安装调整回风地板D必要时改建安装回风道四.AHU/MAU现象：组装西区空调箱由AHU-2-28；AHU-2-29；AHU-2-30；AHU-2-31；AHU-2-32；AHU-2-34；AHU-2-38及新风机组MAU-2-15组成，风机频率已经全部开启到满频。系统容量已经满负荷运转对洁净室环境温度调节只能依靠调整冷冻水温度维持，增加了冷冻机运行能耗。为此组装西区安装了吊柜式空调箱弥补AHU/MAU容量不足。从实际效果来看略有改善没有彻底解决组装西区冷负荷容量不足问题。组装西区温湿度异常分析与改善---纠正与改善2改善措施：AHU/MAU调节检查确认内容如下：A冷冻水阀门开启状况,冷冻水阀门开启不足将导致冷盘温度调节能力下降.B冷冻水过滤器是否堵塞C冷盘是否结垢,结构影响制冷量D初中效是否堵塞,堵塞影响送风量,导致空调箱体静压过高,增加风机负荷浪费电力E空调箱进回风阀门开启确认FMAU表冷、加热、预热、再热温度设定是否合理（在后面另单独分析），如设定有冲突将导致加湿效果差，同时增加电力、蒸汽能耗。G吊柜式空调箱风阀开启状况；冷冻水阀门开启装开启状况；冷冻水Y过滤器是否堵塞。组装西区温湿度异常分析与改善---纠正与改善2五：洁净室温湿度调节原理及MAU湿度调节与节能A组装西区洁净室温度调节是：AHU循环机组将洁净室的空气通过回风通道回收至总管进入AHU混合U处理过的新风，通过表冷器翅片和经过表冷器的冷冻水进行冷热交换，通过风机加压后经送风管、高效过滤器（HEPA）送入洁净室。组装西区温湿度异常分析与改善---纠正与改善2五：洁净室温湿度调节原理及MAU湿度调节与节能B组装西区湿度调节：依靠MAU-2-15对外气加湿（喷淋）、除湿处理（表冷器）后经过中效过滤器、新风管分配至AHU循环空调箱与回风混合后经过处理送入洁净室。组装西区温湿度异常分析与改善---纠正与改善2五：洁净室温湿度调节原理及MAU湿度调节与节能系统建厂设计如下:组装西区温湿度异常分析与改善---纠正与改善2五：洁净室温湿度调节原理及MAU湿度调节与节能系统建厂设计如下:组装西区温湿度异常分析与改善---纠正与改善2五：洁净室温湿度调节原理及MAU湿度调节与节能系统建厂设计如下:组装西区温湿度异常分析与改善---纠正与改善2五：洁净室温湿度调节原理及MAU湿度调节与节能组装西区温湿度异常分析与改善---纠正与改善2五：洁净室温湿度调节原理及MAU湿度调节与节能组装西区温湿度异常分析与改善---纠正与改善2五：洁净室温湿度调节原理及MAU湿度调节与节能组装西区温湿度异常分析与改善---纠正与改善2五：洁净室温湿度调节原理及MAU湿度调节与节能组装西区温湿度异常分析与改善---纠正与改善确认2序号纠正措施改善前改善后完成日期责任人确认结果1高效滤网风量测试部分风速无或<0.4m/s待更换2016/5/10陶晓伟杨劲松2送风阀门开启状况确认部分故障或未开启已开启2016/5/10杨劲松3回风是否通畅部分堵塞回风风速<2.5m/s回风风速>2.5m/s2016/5/10杨劲松4AHU/MAU状况检查待进行2