光学分式干涉扫描仪考核试卷

光学分式干涉扫描仪考核试卷考生姓名：________________答题日期：________________得分：_________________判卷人：_________________

一、单项选择题（本题共20小题，每小题1分，共20分，在每小题给出的四个选项中，只有一项是符合题目要求的）

1.光学分式干涉扫描仪的主要原理是利用光的（）。

A.干涉

B.散射

C.反射

D.折射

2.下列哪种光学元件是光学分式干涉扫描仪中必须的？（）

A.反射镜

B.分光镜

C.透镜

D.滤光片

3.在光学分式干涉扫描仪中，干涉条纹的间距与下列哪个因素有关？（）

A.光源波长

B.扫描速度

C.目镜倍率

D.光栅常数

4.光学分式干涉扫描仪中，分光镜的主要作用是（）。

A.分离光束

B.调整光束方向

C.聚焦光束

D.消除杂散光

5.下列哪种光源适合用于光学分式干涉扫描仪？（）

A.太阳光

B.白炽灯

C.氦氖激光

D.红外线

6.在光学分式干涉扫描仪中，为了获得清晰的干涉条纹，需要保证两束光的（）。

A.频率相同

B.相位相反

C.光程差为零

D.波前形状相同

7.下列哪个部件不是光学分式干涉扫描仪的光学系统组成部分？（）

A.分光镜

B.反射镜

C.透镜

D.光栅

8.光学分式干涉扫描仪在测量物体表面形貌时，通常以（）作为参考面。

A.分光镜表面

B.反射镜表面

C.物体表面

D.透镜表面

9.下列哪种情况下，光学分式干涉扫描仪不能正常工作？（）

A.光源不稳定

B.分光镜损坏

C.反射镜角度调整不当

D.扫描速度过快

10.光学分式干涉扫描仪的分辨率取决于（）。

A.光源波长

B.分光镜质量

C.扫描速度

D.目镜倍率

11.在光学分式干涉扫描仪中，如何调整干涉条纹的对比度？（）

A.改变光源强度

B.调整反射镜角度

C.更换分光镜

D.调整透镜位置

12.下列哪种因素会影响光学分式干涉扫描仪的测量精度？（）

A.环境温度

B.光源波长

C.扫描速度

D.反射镜质量

13.光学分式干涉扫描仪在测量过程中，如何判断物体表面的凹凸情况？（）

A.观察干涉条纹的方向

B.观察干涉条纹的间距

C.观察干涉条纹的对比度

D.观察干涉条纹的亮度

14.下列哪种情况下，光学分式干涉扫描仪的测量误差会增大？（）

A.光源稳定性提高

B.分光镜反射率提高

C.环境振动减小

D.物体表面反射率降低

15.在光学分式干涉扫描仪中，如何消除系统误差？（）

A.选用高质量的光学元件

B.提高光源稳定性

C.进行系统标定

D.减小扫描速度

16.下列哪种方法不适合用于提高光学分式干涉扫描仪的测量精度？（）

A.选用高分辨率探测器

B.提高光源稳定性

C.增加扫描速度

D.减小环境振动

17.光学分式干涉扫描仪在测量过程中，若物体表面出现缺陷，会对干涉条纹产生（）。

A.位置偏移

B.间距变化

C.对比度降低

D.亮度变化

18.下列哪种光学元件在光学分式干涉扫描仪中起到消除杂散光的作用？（）

A.分光镜

B.反射镜

C.透镜

D.滤光片

19.光学分式干涉扫描仪在测量过程中，若干涉条纹出现模糊现象，可能是由于（）。

A.光源不稳定

B.分光镜损坏

C.透镜污染

D.扫描速度过快

20.下列哪种因素会影响光学分式干涉扫描仪的测量范围？（）

A.光源波长

B.分光镜角度

C.扫描速度

D.目镜倍率

二、多选题（本题共20小题，每小题1.5分，共30分，在每小题给出的四个选项中，至少有一项是符合题目要求的）

1.光学分式干涉扫描仪可以用于以下哪些方面的测量？（）

A.表面形貌

B.光学元件质量

C.材料厚度

D.光源强度

2.以下哪些因素会影响光学分式干涉扫描仪的干涉条纹质量？（）

A.光源稳定性

B.环境振动

C.分光镜质量

D.扫描速度

3.在光学分式干涉扫描仪中，以下哪些措施可以减少测量误差？（）

A.系统标定

B.使用高质量光学元件

C.提高扫描速度

D.减小环境温度变化

4.以下哪些情况可能导致光学分式干涉扫描仪无法获得清晰的干涉条纹？（）

A.光源波长变化

B.分光镜损坏

C.反射镜角度不当

D.目镜倍率不合适

5.光学分式干涉扫描仪中，哪些部件需要定期清洁和维护？（）

A.分光镜

B.反射镜

C.透镜

D.光源

6.以下哪些技术可以用于提高光学分式干涉扫描仪的测量分辨率？（）

A.增加光源波长

B.使用高分辨率探测器

C.减小扫描速度

D.调整分光镜角度

7.在使用光学分式干涉扫描仪时，以下哪些做法是正确的？（）

A.确保光源稳定

B.定期进行系统标定

C.随意调整反射镜角度

D.忽视环境振动的影响

8.光学分式干涉扫描仪的测量结果可能受到以下哪些因素的影响？（）

A.物体表面的反射率

B.环境温度

C.光源波长

D.分光镜的反射率

9.以下哪些情况下，光学分式干涉扫描仪的测量范围可能受限？（）

A.光源波长固定

B.分光镜角度有限

C.扫描速度过快

D.目镜倍率低

10.在光学分式干涉扫描仪中，以下哪些部件对于保证光束的平行性至关重要？（）

A.分光镜

B.反射镜

C.透镜

D.光栅

11.以下哪些因素可能导致光学分式干涉扫描仪的测量数据出现偏差？（）

A.光源的不稳定性

B.分光镜的污染

C.反射镜的磨损

D.扫描速度的波动

12.光学分式干涉扫描仪在测量透明材料时，以下哪些措施有助于提高测量精度？（）

A.使用滤光片去除杂散光

B.适当调整光源强度

C.增加透镜数量以聚焦光束

D.减小分光镜角度

13.以下哪些条件有助于获得更宽测量范围的光学分式干涉扫描仪？（）

A.较宽的光源波长范围

B.可调节的分光镜角度

C.较高的扫描速度

D.较低的光学系统分辨率

14.在光学分式干涉扫描仪中，以下哪些部件可能会引起光束的偏折或失真？（）

A.分光镜

B.反射镜

C.透镜

D.光栅

15.以下哪些方法可以用于检测光学分式干涉扫描仪的系统误差？（）

A.使用标准样品进行校准

B.进行重复测量

C.分析干涉条纹的形状

D.观察光源的稳定性

16.在光学分式干涉扫描仪的维护中，以下哪些做法是必要的？（）

A.定期清洁光学元件

B.检查光源的稳定性

C.更换损坏的光学元件

D.忽视环境条件的变化

17.以下哪些因素会影响光学分式干涉扫描仪的测量重复性？（）

A.光源的稳定性

B.分光镜的反射率

C.环境温度的变化

D.扫描头的机械稳定性

18.光学分式干涉扫描仪在测量过程中，以下哪些现象可能是由于物体表面污染引起的？（）

A.干涉条纹对比度降低

B.干涉条纹位置偏移

C.干涉条纹间距变化

D.干涉条纹亮度降低

19.以下哪些技术可以用于光学分式干涉扫描仪的数据处理和分析？（）

A.数字图像处理

B.三维重建

C.傅里叶变换

D.光谱分析

20.在光学分式干涉扫描仪的日常操作中，以下哪些做法有助于保证测量结果的准确性？（）

A.保持光学元件清洁

B.遵守操作规程

C.定期进行系统校准

D.避免在强振动环境下操作

三、填空题（本题共10小题，每小题2分，共20分，请将正确答案填到题目空白处）

1.光学分式干涉扫描仪中，两束光发生干涉时，光程差应为______的整数倍。

2.在光学分式干涉扫描仪中，常用的光源是______。

3.光学分式干涉扫描仪的干涉条纹间距与光源的______成反比。

4.为了获得清晰的干涉条纹，光学分式干涉扫描仪中分光镜的反射率一般应控制在______左右。

5.光学分式干涉扫描仪在测量时，若物体表面有缺陷，会导致干涉条纹的______发生变化。

6.光学分式干涉扫描仪的测量精度受到______、______和______等因素的影响。

7.在光学分式干涉扫描仪中，系统误差可以通过______来消除或减小。

8.透镜在光学分式干涉扫描仪中的作用是______光束。

9.光学分式干涉扫描仪的测量范围受到______和______的限制。

10.光学分式干涉扫描仪的数据处理通常包括______和______等步骤。

四、判断题（本题共10小题，每题1分，共10分，正确的请在答题括号中画√，错误的画×）

1.光学分式干涉扫描仪可以用于非透明物体的表面形貌测量。（）

2.光源波长的稳定性对光学分式干涉扫描仪的测量结果没有影响。（）

3.在光学分式干涉扫描仪中，分光镜的反射率和透射率必须相等。（）

4.光学分式干涉扫描仪的干涉条纹间距与物体表面的高低起伏成正比。（）

5.环境温度的变化不会影响光学分式干涉扫描仪的测量精度。（）

6.在光学分式干涉扫描仪中，透镜的污染会导致干涉条纹对比度降低。（）

7.光学分式干涉扫描仪的系统误差可以通过多次测量取平均值来消除。（）

8.提高扫描速度可以增加光学分式干涉扫描仪的测量范围。（）

9.光学分式干涉扫描仪在测量过程中，若出现干涉条纹模糊，可能是由于光源强度不足。（）

10.光学分式干涉扫描仪的所有光学元件都不需要定期清洁和维护。（）

五、主观题（本题共4小题，每题10分，共40分）

1.请简述光学分式干涉扫描仪的工作原理，并说明其在工业检测中的应用。

2.描述光学分式干涉扫描仪在测量物体表面形貌时的主要步骤，并分析可能影响测量