《硅多晶还原炉用氮化硅制品》

2YS/TXXXX-XXXX硅多晶还原炉用氮化硅制品本文件规定了硅多晶还原炉用氮化硅制品的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。本文件适用于气压烧结、无压烧结工艺制备的氮化硅制品的测试、检验和评价。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划GB/T5593电子元器件结构陶瓷材料GB/T5594.5电子元器件结构陶瓷材料性能测试方法体积电阻率测试方法GB/T6569精细陶瓷弯曲强度试验方法GB/T10610产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法评定表面结构的规则和方法GB/T10623金属材料力学性能试验术语GB/T14264半导体材料术语GB/T15463静电安全术语GB/T16534精细陶瓷室温硬度试验方法GB/T16535精细陶瓷线热膨胀系数试验方法顶杆法GB/T17991精细陶瓷术语GB/T23806精细陶瓷断裂韧性试验方法单边预裂纹梁(SEPB)法GB/T24582多晶硅表金属杂质含量的测定酸浸取-电感耦合等离子体质谱法GB/T25995精细陶瓷密度和显气孔率试验方法GB/T31838.2固体绝缘材料介电和电阻特性第2部分：电阻特性(DC方法)体积电阻和体积电阻率3术语和定义GB/T10623、GB/T14264、GB/T15463和GB/T17991界定的术语和定义适用于本文件。4分类硅多晶还原炉用氮化硅制品按用途分为氮化硅绝缘环、氮化硅尾气罩和氮化硅喷嘴。5技术要求3YS/TXXXX—XXXX5.1理化性能硅多晶还原炉用氮化硅制品的理化性能要求见表1。表1理化性能>10>10%5.2尺寸硅多晶还原炉用氮化硅制品应按图纸要求加工，典型的氮化硅绝缘环见图1，典型的氮化硅尾气罩见图2，典型的氮化硅喷嘴见图3。4YS/TXXXX-XXXX图1氮化硅陶瓷绝缘环图2氮化硅陶瓷尾气罩5YS/TXXXX—XXXX图3氮化硅喷嘴5.3外观质量硅多晶还原炉用氮化硅制品为色泽均匀的黑色或深灰色结构件，无肉眼可见裂纹，无尺寸大于5mm的斑点，每平方厘米上小于5mm的斑点数量应不大于2个，崩缺尺寸应不大于2mm。6试验方法6.1硅多晶还原炉用氮化硅制品密度的检验按GB/T25995规定的方法进行。6.2硅多晶还原炉用氮化硅制品三点抗弯强度的检验按GB/T6569规定的方法进行。6.3硅多晶还原炉用氮化硅制品体积电阻率的检验按GB/T5594.5规定的方法进行。6.4硅多晶还原炉用氮化硅制品击穿强度的检验按GB/T5593规定的方法进行。6.5硅多晶还原炉用氮化硅制品线膨胀系数的检验按GB/T16535规定的方法进行。6.6硅多晶还原炉用氮化硅制品维氏硬度法的检验按GB/T16534规定的方法进行。6.7硅多晶还原炉用氮化硅制品断裂韧性的检验按GB/T23806规定的方法进行。6.8硅多晶还原炉用氮化硅制品表面粗糙度的检验按GB/T10610规定的方法进行。6.9硅多晶还原炉用氮化硅制品的尺寸采用精度为0.01mm的游标卡尺进行检验。6.10硅多晶还原炉用氮化硅制品表面杂质含量的检验按GB/T24582规定的方法进行。6YS/TXXXX-XXXX6.11硅多晶还原炉用氮化硅制品的色泽、裂纹和斑点在光线良好的环境下目视检验，崩缺尺寸采用精度为0.01mm的游标卡尺进行检验。7检验规则7.1检查和验收7.1.1产品由供方或第三方进行检验，保证产品质量符合本标准及订货单的规定，并填写随行文件。7.1.2需方可对收到的产品按本文件或订货单的规定进行检验，如检验结果与本文件或订货单的规定不符时，应在收到产品之日起3个月内向供方提出，由供需双方协商确定。7.2组批产品应成批提交验收，每批应由同一原料、同一工艺、同一用途的产品组成。7.3检验项目每批产品应对理化性能、外观质量进行检验。7.4取样每批产品项目检测按GB/T2828.1—2012一般检查水平Ⅱ,正常检查一次抽样方案进行，或按供需双方协商的抽样方案进行。7.5检验结果的判定产品检验项目的接收质量限（AQL）应符合表2的规定。表2检验项目及接收质量限123458标志、包装、运输、贮存和随行文件8.1标志包装箱外应至少注明以下内容：a)供方名称；b)产品名称；c)批号、规格型号；d)数量；e)“小心轻放”、“易碎品”、“勿摔勿压”、“防潮”、“向上”等字样。8.2包装7YS/TXXXX—XXXX产品装入洁净的聚乙烯气泡包装袋内，双层包裹后再将包装袋装入包装箱内。包装时应防止聚乙烯包装袋破损，以避免产品外来沾污。8.3运输产品运输时应防止雨淋潮湿，不允许剧烈碰撞。8.4贮存产品应存放于干燥、洁净环境中，堆放高度应避免产品的外包装变形和垮塌。8.5随行文件每批产品应附有随行文件，其中除应包括供方信息、产品信息、本文件编号、出厂日期或包装日期外，还宜包括：a）产品质量证明书，包括以下内容：——检验项目及其结果；——批量或批号；——检验日期；——检验员签名及印章。b)产品质量控制过程中的检验报告及成品检验报告；c)产品使用