JJF(京) 3012-2021 触针式电动轮廓仪校准规范_第1页
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文档简介

1JJF4I III 1 1 1 1 13.3轮廓台阶高度示值重复性 1 1 2 2 2 2 25.5轮廓台阶高度示值重复性 2 3 3 3 3 3 3 4 47.5轮廓台阶高度示值重复性 5 5 5 6 9本规范参照GB/T19600-200家计量校准规范编写规则》、JJF1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF13.3轮廓台阶高度示值重复性repeatabilityofcontourstepheightindication2起伏变化产生位移,传感器将测针感受到的被测表面几何5计量特性5.2轮廓水平分量(X轴)示值误差5.3轮廓垂直分量(Z轴)示值误差5.4轮廓台阶高度示值误差 3序号校准用主要计12-6L345轮廓台阶高度示值重复性4法。将1mm、3mm和5mm量块按尺寸由小到大研合在平面平晶上,5图2标准器摆放示意图同一倾斜位置下重复7.4中的方法测量4次,取最大值与最小值之差除以2,按极8校准结果表达经校准的轮廓仪出具校准证书,测量结果不确定度评定示例见附录A,校准证最长一般不超过1年。6仪示值重复性;在多个倾斜角度下进行测量,获得Li——轮廓台阶高度示值,mmLs——量块实际值,mm(1)轮廓仪在量块固定倾斜角度下测量重复性引起 7(2)轮廓仪在量块倾斜位置不同而造成测量结果不同引入的位置标准不确定度分将量块倾斜放置多个倾斜角度进行测量,测量结果和量123校准方法里注明尽量在45±15°范围内进行测量,所以在位置标准不确定度计算 8 表A2考虑量块不同倾斜角度下的轮廓仪测量台阶高度的测量结果不标准不确定度(μm)u1(Li)u2(Li)u1(Ls)u2(Ls)u3(Ls)

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