GB/T 25915.17-2024洁净室及相关受控环境第17部分：粒子沉积速率应用

ICS1304035

CCSC.70.

中华人民共和国国家标准

GB/T2591517—2024/ISO14644-172021

.:

洁净室及相关受控环境

第17部分粒子沉积速率应用

:

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—

Part17Particledeositionratealications

:ppp

ISO14644-172021IDT

(:,)

2024-08-23发布2025-03-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T2591517—2024/ISO14644-172021

.:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

符号

4………………………3

粒子沉积速率使用方法

5…………………3

粒子沉积速率的测量

6……………………4

粒子沉积速率水平

7………………………4

记录

8………………………5

附录资料性粒子沉积速率的测量

A()…………………7

附录资料性粒子沉积速率测量示例

B()………………9

附录资料性粒子遮蔽速率的测量

C()…………………12

附录资料性粒子沉积速率与悬浮粒子浓度之间的关系

D()…………15

附录资料性粒子沉积的评估与控制

E()………………16

参考文献

……………………19

Ⅰ

GB/T2591517—2024/ISO14644-172021

.:

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是洁净室及相关受控环境的第部分已经发布了以下

GB/T25915《》17。GB/T25915

部分

:

第部分按粒子浓度划分空气洁净度等级

———1:;

第部分洁净室空气粒子浓度的监测

———2:;

第部分检测方法

———3:;

第部分设计建造启动

———4:、、;

第部分运行

———5:;

第部分词汇

———6:;

第部分隔离装置洁净风罩手套箱隔离器微环境

———7:(、、、);

第部分按化学物浓度划分空气洁净度等级

———8:(ACC);

第部分按粒子浓度划分表面洁净度等级

———9:;

第部分按化学物浓度划分表面洁净度等级

———10:;

第部分监测空气中纳米粒子浓度的技术要求

———12:;

第部分达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁

———13:;

第部分按粒子浓度评估设备适用性

———14:;

第部分按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性

———15:;

第部分提升洁净室和空气净化装置的能效

———16:;

第部分粒子沉积速率应用

———17:。

本文件等同采用洁净室及相关受控环境第部分粒子沉积速率应用

ISO14644-17:2021《17:》。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC319)。

本文件起草单位中国工程物理研究院激光聚变研究中心苏州安泰空气技术有限公司苏州苏信

:、、

环境科技有限公司中国电子系统工程第二建设有限公司吴江市华宇净化设备有限公司中国标准化

、、、

协会上海尚远建设工程有限公司中国电子工程设计院股份有限公司中国科学院大气物理研究所烟

、、、、

台宝源净化有限公司北京戴纳实验科技有限公司广州保瑞医疗技术有限公司谱尼测试集团股份有

、、、

限公司上海市室内环境净化行业协会仲恺农业工程学院科锐特厦门净化科技有限公司杭州捷瑞

、、、()、

智能装备股份有限公司惠特科学技术有限公司朗恒科技集团有限公司新拓洋生物工程有限公司

、、、。

本文件主要起草人苗心向袁晓东王天羿孙扬郝胤博吴志坚惠旅锋陆晶丁禹龙高怡婷

:、、、、、、、、、、

奚晓鹏杨云涛王芳贺乐凯丁力行高正魏兰山香菊张长安胡思伟黄狄文张建国李华新

、、、、、、、、、、、、、

危勇华奚光明

、。

Ⅲ

GB/T2591517—2024/ISO14644-172021

.:

引言

采用系列标准各部分设置与国际标准保持一致拟由个部分构成

GB/T25915ISO14644,,18。

第部分按粒子浓度划分空气洁净度等级目的是区分粒子污染程度

———1:。。

第部分洁净室空气粒子浓度的监测目的是指导监测粒子污染以避免可能产生的污染

———2:。,

风险

。

第部分检测方法目的是指导对洁净室内各种污染和相关环境要素的检测

———3:。。

第部分设计建造启动目的是指导洁净室的设计建造启动

———4:、、。、、。

第部分运行目的是指导洁净室的运行

———5:。。

第部分词汇目的是统一规范技术术语

———6:。。

第部分隔离装置洁净风罩手套箱隔离器微环境目的是提出洁净室用隔离装置的基

———7:(、、、)。

本要求

。

第部分按化学物浓度划分空气洁净度等级目的是区分空气化学污染程度

———8:(ACC)。。

第部分按粒子浓度划分表面洁净度等级目的是区分表面粒子污染程度

———9:。。

第部分按化学物浓度划分表面洁净度等级目的是区分表面化学污染程度

———10:。。

第部分监测空气中纳米粒子浓度的技术要求目的是提出纳米级别的粒子污染的检测

———12:。

要求

。

第部分达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁目的是提出洁净室内表面的清洁要求以

———13:。

避免可能产生的粒子和化学污染的风险

。

第部分按粒子浓度评估设备适用性目的是通过对相关设备可能在洁净室产生粒子污染

———14:。

的测试确定设备的适合性

,。

第部分按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性目的是通过对相关设备及材料可能

———15:。

在洁净室产生气态化学污染的测试确定设备及材料的适用性

,。

第部分提升洁净室和空气净化装置的能效目的是减少洁净室能耗和带来的全球影响

———16:。。

第部分粒子沉积速率应用目的是提供评价产品敏感表面颗粒洁净度的方法同时给出

———17:。,

表面大颗粒沉降污染相关的分级标准

。

第部分耗材适用性评估目的是评估耗材在洁净室清洁区或控制区的适当使用

———18:。、。

第部分悬浮粒子取样技术目的是针对洁净是中的悬浮粒子采样减少采样误差和粒子

———21:。,

损失

。

洁净室及相关受控环境用于将污染控制到适合完成污染敏感活动的水平从污染控制中获益的产

。

品和工艺包括航空航天微电子光学核能食品医疗保健制药和医疗设备等行业的产品和工艺

、、、、、、。

考虑了洁净室中的空气粒子并通过最大允许浓度对洁净室的洁净度进行分

GB/T25915.1—2021,

类同时和考虑了表面粒子的浓度本文件基于荷兰

,GB/T25915.9—2018IEST-STD-CC1246E:2013。

洁净控制协会指南考虑了洁净室中表面的粒子沉积速率粒子沉积速率的重要性

(VCCN)9,。(PDR)

在于悬浮粒子对易损表面如制成品的污染概率与直接相关

()PDR。

描述了测定大于或等于粒子沉积的方法在本文件中重点关注的

GB/T25915.3—20240.1μm。,

是大于的大粒子在表面的沉积速率以及其在洁净室污染控制中的应用

5μm,。

在洁净室中人员机械工具和工艺活动会产生各种粒径的粒子并通过气流在洁净室中扩散分

,、、,

布根据在洁净度为级或更优的洁净室及相关受控环境中粒径大于

。GB/T25915.1—2021,ISO5,

的粒子浓度为零或极低值然而由于行业工艺活动不同在洁净室动态运行中会在表面上发

5μm。,、,,

Ⅳ

GB/T2591517—2024/ISO14644-172021

.:

现粒径为甚至更大的粒子超出了中洁净度分级的粒径限值虽

5μm~500μm,GB/T25915.1—2021。

然这是偶然现象但采样入口处采样管中粒子计数器内存在沉降损失所以无法检测到空气中的大粒

,、、,

子大粒子会导致污染问题最好通过测量表面上的来确定易损表面上大粒子存在和沉积的可

。,PDR

能性

。

当粒子粒径小于时通过洁净室通风系统去除但对于粒径大于的粒子超过的

5μm,。10μm,50%

粒子会沉积到表面粒径大于时沉积率达到以上该粒径粒子的主要沉积机制是重力作

。40μm,90%。

用但空气湍流和静电吸附也会导致沉积这些沉积粒子不会因洁净室气流重新分布但能通过人员走

,。,

动和清洁动作等产生再悬浮因此有必要通过清洁去除这些粒子

。。

洁净室中存在的粒径大于的粒子及其再悬浮主要与人员或机械活动有关在洁净室处于静

5μm。

态时几乎没有活动粒径大于的粒子很少扩散其浓度接近零不发生显著沉积因此只有在动

,5μm,,。,

态情况下才需考虑

,PDR。

是洁净室或洁净区的一种属性它决定了空气中悬浮粒子沉积到洁净室中的表面如产品或

PDR,(

工艺区域的表面的概率通过风险评估确定易损表面的可接受污染量并获取以确保沉积粒

)。,,PDR,

子不超过该污染量

。

本文件给出了在洁净室或洁净区测量的方法在洁净室运行期间使用该方法获取所需的

PDR。,

并通过监测洁净室和洁净区证明空气污染得到持续控制监测还能使峰值与活动关

PDR,,。PDRPDR

联以便确定污染源对工作流程提出改进措施以降低污染风险

,,。

是指当表面暴露在污染空气中时粒子沉积到表面的速率见公式

PDR,,(1):

CfDCiD

RD-

=tfti…………(1)

-

式中

:

D粒径单位为微米

———,(μm);

RD粒径大于或等于D的粒子沉积速率单位为个每平方米小时个2

———,[/(m·h)];

Cf粒径大于或等于D的表面粒子最终浓度单位为个每平方米个2

D———,(/m);

Ci粒径大于或等于D的表面粒子初始浓度单位为个每平方米个2

D———,(/m);

tf最终暴露时间单位为小时

———,(h);

ti初始暴露时间单位为小时

———,(h)。

如果是在易损表面如产品表面的某个位置或附近确定的则用公式估算出空气中粒子

PDR(),(2)

沉积在表面的数量

:

NDRDta

=··…………(2)

式中

:

ND粒径大于或等于D的表面粒子沉积数量单位为个

———,;

t暴露时间单位为小时

———,(h);

a暴露在污染空气中的面积单位为平方米2

———,(m)。

一些行业使用洁净室制造光学仪器和组件如用于航空航天的反射镜透镜和太阳能电池板这些

,、。

产品的质量与表面粒子吸收或反射光的总量有关因此本文件在附录中还考虑了洁净室中暴露的

。,C

测试表面的粒子遮蔽速率使用不同粒径的计算和遮光量并采取类似的方

(POR)。PDRPOR,PDR

式以降低表面污染的风险

,。

Ⅴ

GB/T2591517—2024/ISO14644-172021

.:

洁净室及相关受控环境

第17部分粒子沉积速率应用

:

1范围

作为污染控制计划的一部分本文件对洁净室易损表面上粒子沉积速率测量结果的解释和

,(PDR)

应用提供了指导提供了的影响因素和降低易损表面上粒子污染风险的说明

。PDR。

本文件提供了洁净室测量来确定易损表面上大粒子的可接受浓度限值和风险评估方法能确

PDR,

定粒子沉积到易损表面的可接受风险当风险不可接受时则需要采取洁净控制措施来降低

。,PDR。

粒子遮蔽速率是一种替代的方法其定义为粒子在表面上随时间增加的覆盖率

(POR)PDR,。

的使用方式与类似也用于计算指定表面所需的以降低沉积粒子的风险

PORPDR,POR,